技术特征：
技术总结
本发明实施例公开了一种气体传感器、传感器制备方法及传感器阵列，能够减少引线损伤。所述气体传感器包括：第一衬底、设置在所述第一衬底上的气体检测组件、所述气体传感器的多个第一引脚以及封装盖帽，其中：所述气体检测组件直接或间接与所述第一引脚电连接，所述气体检测组件和所述第一引脚设置在所述第一衬底的同一面；所述封装盖帽键合在所述第一衬底上用于保护所述气体检测组件，所述第一引脚裸露在所述封装盖帽之外。采用本发明实施例可以减少电极引线的弯折，使制成的传感器信号稳定、噪声小，同时简化加工工艺，降低制造周期和成本。
技术研发人员：许磊;彭书峰;陈栋梁;荣钱;周睿颖
受保护的技术使用者：合肥微纳传感技术有限公司
技术研发日：2019.05.31
技术公布日：2019.08.09