一种同心度的检测方法及检测装置与流程

本申请涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种同心度的检测方法及检测装置。

背景技术：

炉管机台是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，炉管机台具有真空配管，所述真空配管里包括配管本体、第一套筒和第二套筒，所述第一套筒一端从所述配管本体一端插入所述配管本体内，所述第二套筒的一端从所述配管本体另一端插入所述配管本体内，并且所述第二套筒套设在所述第一套筒外周，所述第二套筒与所述第一套筒之间具有间隙.对于化学气相沉积工艺制程，诸如采用六氯乙硅烷(hcd)与氨气(nh3)反应生成氮化硅(该反应简称hcdnitride)的制程来说，若第一套筒和第二套筒的安装位置发生偏差，则容易造成工艺时生成物堆积，回流的杂质会导致产品报废，这样，就需要在所述炉管机台投入使用前，对第一套筒和第二套筒安装的同心度是否符合要求进行检测。

技术实现要素：

本申请的目的在于提供一种同心度的检测方法及检测装置，以检测第一套筒和第二套筒的同心度是否符合要求。

本申请提供了一种同心度的检测方法，包括以下步骤：

提供被检测组件和检测装置，所述被检测组件包括第一套筒和第二套筒，所述第二套筒套设在所述第一套筒外周，所述第二套筒与所述第一套筒之间具有间隙，所述检测装置包括检测件，所述检测件的厚度大于所述间隙的宽度的一半，并小于所述间隙的宽度；

将所述检测件插入所述间隙中；

判断所述检测件是否到达预定深度位置，若是，则所述第二套筒与所述第一套筒符合同心度要求，若否，则所述第二套筒与所述第一套筒不符合同心度要求。

可选的，在所述同心度的检测方法中，在所述检测件距离其插入端预定深度值的位置上设有限位件；判断所述检测件是否到达预定深度位置的方法包括以下步骤：

观察所述限位件与所述第二套筒或所述第一套筒的端部的位置关系；

判断所述限位件是否与所述第二套筒或所述第一套筒的端部接触，若是，则所述检测件到达预定深度位置，若否，所述检测件未到达预定深度位置。

可选的，在所述同心度的检测方法中，在所述检测件以其插入端为起点向远离插入端的方向上设有刻度标识；判断所述检测件是否到达预定深度位置的方法包括以下步骤：

记录所述检测件上与所述第二套筒或所述第一套筒的端部平齐的刻度标识上的标识值；

将所述标识值与所述预定深度值进行对比，并判断所述标识值是否不小于预定深度值，若是，则所述检测件到达预定深度位置，若否，则所述检测件未到达预定深度位置。

可选的，在所述同心度的检测方法中，所述检测件沿所述第一套筒轴向的长度值等于预定深度值；判断所述检测件是否到达预定深度位置的方法包括以下步骤：

观察所述检测件与所述间隙的位置关系；

判断所述检测件是完全没入所述间隙中，若是，则所述检测件到达预定深度位置，若否，则所述检测件未到达预定深度位置。

可选的，在所述同心度的检测方法中，以所述第一套筒或所述第二套筒的长度值为预定深度值。

另一方面，本申请还提供了一种同心度的检测装置，用于检测一被检测组件，所述被检测组件包括第一套筒和第二套筒，所述第二套筒套设在所述第一套筒外周，所述第二套筒与所述第一套筒之间具有间隙，其特征在于，所述检测装置包括用于插入所述间隙中的检测件，所述检测件的厚度大于所述间隙的宽度的一半，并小于所述间隙的宽度，通过判断所述检测件是否到达预定深度位置来检测所述第二套筒与所述第一套筒是否符合同心度要求。

可选的，在所述的同心度的检测装置中，所述检测装置还包括限位件，所述限位件与所述检测件连接，在所述检测件插入所述间隙时，相对于所述第二套筒或所述第一套筒凸出。

可选的，在所述的同心度的检测装置中，所述检测件与所述限位板可拆卸连接。

可选的，在所述的同心度的检测装置中，在所述检测件以插入端为起点向远离插入端的方向上设有刻度标识。

可选的，在所述的同心度的检测装置中，所述检测件沿所述第一套筒轴向的长度值与所述间隙沿所述第一套筒轴向的长度值相等。

相比于现有技术，本申请提供的同心度的检测方法，将检测件插入被检测组件中的第二套筒与第一套筒之间的间隙中，并观察所述检测件能够插入所述间隙中的深度，以判断所述检测件是否到达预定深度位置，从而检测出第二套筒与第一套筒是否符合同心度的要求，该方法的步骤简洁，操作方便，同时还能够比较精确的检测出所述第二套筒与第一套筒是否符合同心度的要求，避免了不符合同心度要求的所述第二套筒与所述第一套筒投入使用时带来的不利后果，进一步的，所述检测件的厚度大于所述间隙的宽度的一半，并小于所述间隙的宽度，这样可以保证所述检测装置检测的精度符合要求。

附图说明

图1是本申请实施例提供的同心度的检测方法的流程图；

图2是本申请实施例提供的一判断所述检测件是否到达预定深度位置的方法流程图；

图3是本申请实施例提供的另一判断所述检测件是否到达预定深度位置的方法的流程图；

图4是本申请实施例提供的又一判断所述检测件是否到达预定深度位置的方法的流程图；

图5是本申请实施例提供的待检测件的剖视图；

图6是本申请实施例提供的同心度的检测装置对待检测件检测时的剖视图；

图7是本申请实施例提供的同心度的检测装置的结构示意图；

图8是本申请实施例提供的另一同心度的检测装置的结构示意图；

图9是本申请实施例提供的又一同心度的检测装置的结构示意图。

附图5-6的附图标记说明如下：

10-真空配管；11-真空配管本体；12-第一套筒；12a-第一凸缘；13-第二套筒；13a-第二凸缘；14-间隙；20-检测装置，21-检测件；21a-插入端；21b-通孔；21c-刻度标识；22-限位件；22a-第三凸缘；22b-第四凸缘。

具体实施方式

为使本申请的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图1-9对本申请提出的同心度的检测方法及检测装置作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本申请实施例的目的。

图1为本申请实施例提供的同心度的检测方法的流程图，图5是本申请实施例提供的待检测件的剖视图，图6是本申请实施例提供的同心度的检测装置对待检测件检测时的剖视图，图7是本申请实施例提供的同心度的检测装置的结构示意图，图8是本申请实施例提供的另一同心度的检测装置的结构示意图，

图9是本申请实施例提供的又一同心度的检测装置的结构示意图。

参阅图1，并结合图5-9，本实施例提供了一种同心度的检测方法，包括以下步骤：

步骤110：提供被检测组件和检测装置20，所述被检测组件包括第一套筒12和第二套筒13，所述第二套筒13套设在所述第一套筒11外周，且所述第二套筒与所述第一套筒之间具有间隙，具体的，参照图5，以所述被检测组件为炉管机台中装有第一套筒12和第二套筒13的真空配管10为例对所述同心度的检测方法100进行阐述，所述真空配管10还包括配管本体11，在所述第一套筒12一端的周向位置上具有第一凸缘12a，所述第一套筒12另一端从所述配管本体11一端插入所述配管本体11内，所述第一凸缘12a卡在所述配管本体11一端，以限定所述第一套筒12在所述配管本体11内的位置，在所述第二套筒13一端的周向位置上具有第二凸缘13a，所述第二套筒13的另一端从所述配管本体11另一端插入所述配管本体11内，所述第二凸缘13a卡在所述配管本体11另一端，以限定所述第二套筒13在所述配管本体11内的位置，并且所述第二套筒13套设在所述第一套筒12外周，所述第二套筒13与所述第一套筒12之间具有间隙14，所述检测装置20，用于检测所述被检测组件中的所述第二套筒13和所述第一套筒12的套设是否满足同心度的要求，所述检测装置20包括检测件21，所述检测件21的厚度大于所述间隙14的宽度的一半，并小于所述间隙14的宽度，这样可以保证所述检测装置20检测的精度符合要求。

步骤120：将所述检测件21插入所述间隙14中。具体的，参照图7-9，并结合图6，所述检测件21为中空圆柱体，将所述中空圆柱体插入所述间隙14中的一端为插入端21a，在所述中空圆柱体远离所述插入端21a的方向设有限位件22。如图7所示，所述限位件22可以是在所述中空圆柱体远离所述插入端21a的方向的周向位置上设置的第三凸缘22a，该第三凸缘22a设置在中空圆柱体远离所述插入端21a的端面上。如图8所示，所述限位件22还可以是设置在中空圆柱体上的第四凸缘22b，可以在所述中空圆柱体轴向的任意位置上设置通孔，以安装第四凸缘22b。如图9所示，也可以在所述中空圆柱体上设置刻度标识21c，该刻度标识21c以所述插入端21a为起点。所述限位件22和所述刻度标识21c方便观察所述检测件21插入所述间隙14的长度。

步骤130：判断所述检测件21是否到达预定深度位置，若是，则所述第二套筒13与所述第一套筒12符合同心度要求，若否，则所述第二套筒13与所述第一套筒12不符合同心度要求。具体的，当所述检测件21插入所述间隙14中直到无法再插入时，可以观察所述检测件21上的刻度标识21c，或者观察所述第三凸缘21a相对第一凸缘12a或第二凸缘13a的位置关系，或者观察安装在所述通孔中的第四凸缘22b相对第一凸缘12a或第二凸缘13a的位置关系来判断所述检测件21是否到达预定深度位置。

上述的同心度的检测方法100，将检测件21插入被检测组件中的第二套筒13与第一套筒12之间的间隙14中，并观察所述检测件21能够插入所述间隙14中的深度，以判断所述检测件21是否到达预定深度位置，从而检测出第二套筒13与第一套筒12是否符合同心度的要求，该方法的步骤简洁，操作方便，同时还能够比较快速且精确的检测出所述第二套筒13与第一套筒12是否符合同心度的要求，避免了不符合同心度要求的所述第二套筒13与所述第一套筒12投入使用时带来的不利后果。

图2是本申请实施例提供的判断所述检测件是否到达预定深度位置的方法流程图。

参阅图2，结合图6-7，在所述检测件21距离插入端21a预定深度值的位置上设有限位件22，在所述检测件21插入所述间隙时，所述限位件22相对于所述第二套筒13或所述第一套筒12径向凸出于所述第二套筒13或所述第一套筒12，由此，步骤130：判断所述检测件21是否到达预定深度位置的方法可以包括以下步骤：

步骤131：观察所述限位件22与所述第二套筒13或所述第一套筒12的端部的位置关系；

步骤132：判断所述限位件22是否与所述第二套筒13或所述第一套筒12的端部接触，其中，所述第二套筒端部是上述的第二凸缘13a，所述第一套筒12的端部是上述的第一凸缘12a，若是，则所述检测件21到达预定深度位置，若否，所述检测件21未到达预定深度位置，需要说明的是，判断所述限位件22是否与所述第二套筒13或所述第一套筒12的端部接触，是指所述检测件21从第二套筒13端插入的话则只需要判断所述限位件22是否与所述第二凸缘13a接触，同理，所述检测件21从第一套筒12端插入的话则只需要判断所述限位件22是否与所述第一凸缘12a接触。

在其中的一个实施例中，所述限位件22为上述的第三凸缘22a，具体的，当所述检测件21插入所述间隙中，并且是由于所述第三凸缘22a与所述第一凸缘12a或所述第二凸缘13a接触，导致所述检测件21无法再插入所述间隙14中时，则所述第二套筒13与所述第一套筒12符合同心度要求，或者当所述检测件21插入所述间隙14中直到无法再插入时，观察所述第三凸缘22a与所述第一凸缘12a或所述第二凸缘13a接触，若所述第三凸缘22a与所述第一凸缘12a接触或与所述第二凸缘13a接触，则所述第二套筒13与所述第一套筒12符合同心度要求，若所述第三凸缘22a与所述第一凸缘12a接触或与所述第二凸缘13a之间没有接触，若是，则所述检测件21到达预定深度位置，若否，所述检测件21未到达预定深度位置。这样不仅操作方便，还可以直观且快速的判断所述检测件21是否到达预定深度位置。

在其他实施例中，参阅图8，所述限位件22也可以是上述的插入检测件21上的通孔21b中的第四凸缘22b，具体的，所述第四凸缘22b是杆件，所述杆件插入所述检测件21上的一对距离插入端预定深度值的位置上的通孔21b，并沿所述检测件21的径向贯穿所述检测件21，且凸出于所述检测件21，当所述检测件21插入所述间隙14中，并且是由于所述第四凸缘22b与所述第一凸缘12a或所述第二凸缘13a接触，导致所述检测件21无法再插入所述间隙中时，则所述检测件21到达预定深度位置，或者当所述检测件21插入所述间隙14中直到无法再插入时，观察所述第四凸缘22b与所述第一凸缘12a或所述第二凸缘12b接触，若所述第四凸缘22b与所述第一凸缘12a接触或与所述第二凸缘13b接触，则所述检测件21到达预定深度位置，若所述第四凸缘22b与所述第一凸缘12a接触或与所述第二凸缘13a之间没有接触，所述检测件21未到达预定深度位置。这样不仅操作方便，还可以直观且快速的判断所述检测件21是否到达预定深度位置，并且所述第四凸缘22b与所述通孔21b为可拆卸连接，可以将所述第四凸缘22b插入不同位置的通孔21b中，以使所述检测件21能够适应需要达到不同的预定深度位置的检测，扩大了所述检测装置10的适用范围。

图3是本申请实施例提供的另一判断所述检测件是否到达预定深度位置的方法的流程图。

参阅图3，结合图9，优选的，可以在所述检测件21以插入端21a为起点向远离插入端21a的方向上设有刻度标识21c；由此，步骤130：判断所述检测件21是否到达预定深度位置的方法可以包括以下步骤：

步骤133：记录所述检测件21上与所述第二套筒13或所述第一套筒12的端部平齐的刻度标识21c上的标识值；其中，所述第二套筒13端部是上述的第二凸缘13a，所述第一套筒12的端部是上述的第一凸缘12a，需要说明的是，记录所述检测件21上与所述第二套筒13或所述第一套筒12的端部平齐的刻度标识21c上的标识值，是指所述检测件21从第二套筒13端插入的话则只需要记录与所述第二凸缘13a平齐的刻度标识21c上的标识值，同理，所述检测件21从第一套筒12端插入的话则只需要记录与所述第一凸缘12a平齐的刻度标识21c上的标识值。

步骤134：将所述标识值与所述预定深度值进行对比，并判断所述标识值是否不小于预定深度值，若是，则所述检测件到达预定深度位置，若否，则所述检测件未到达预定深度位置。

即，当所述检测件21插入所述间隙中并直到无法再插入时，记录此时所述检测件21上与所述第二套筒13或所述第一套筒12的端部平齐的刻度标识21c上的标识值，若所述标识值不小于预定深度，则所述检测件21到达预定深度位置，若所述标识值小于预定深度值相等，则所述检测件未到达预定深度位置。

图4是本申请实施例提供的又一判断所述检测件是否到达预定深度位置的方法的流程图。

参阅图4，进一步的，所述检测件21沿所述第一套筒12轴向的长度值等于预定深度值；步骤130：判断所述检测件21是否到达预定深度位置的方法包括以下步骤：

步骤135：观察所述检测件21与所述间隙14的位置关系；

步骤136：判断所述检测件21是完全没入所述间隙14中，若是，则所述检测件21到达预定深度位置，若否，则所述检测件21未到达预定深度位置。

即，当所述检测件21插入所述间隙14中并直到无法再插入时，观察此时的检测件21远离所述插入端21a的一端的端面是否不高于所述第二套筒13或所述第一套筒12的端面，若是，则所述检测件21到达预定深度位置，若此时的检测件21远离所述插入端21a的一端的端面高于所述第二套筒13或所述第一套筒12的端面，则所述检测件21未到达预定深度位置。其中，可以在所述检测件21远离所述插入端21a的一端的端面上设置把手(图中未示出)，以方便所述检测件插拔。

其中，以所述第一套筒12或所述第二套筒13的长度值为预定深度值，具体的，预定深度值是与所述第一套筒12相等还是与所述第二套筒13的长度值相等，是根据所述检测件21是从所述第一凸缘12a端插入还是从第二凸缘13a端插入来确定的，即，若所述检测件21是从所述第一凸缘12a端插入，则预定深度值与所述第一套筒12的长度值相等，若所述检测件21是从所述第二凸缘13a端插入，则预定深度值与所述第二套筒13的长度值相等。

图5是本申请实施例提供的待检测件的剖视图，图6是本申请实施例提供的同心度的检测装置对待检测件检测时的剖视图，图7是本申请实施例提供的同心度的检测装置的结构示意图，图8是本申请实施例提供的另一同心度的检测装置的结构示意图，图9是本申请实施例提供的又一同心度的检测装置的结构示意图。

参阅图5-9，另一方面，本申请还提供了一种同心度的检测装置10，用于检测一被检测组件，所述被检测组件包括第一套筒12和第二套筒13，所述第二套筒13套设在所述第一套筒12外周，所述第二套筒13与所述第一套筒12之间具有间隙14，具体的，参照图5，以所述被检测组件为炉管机台中装有第一套筒12和第二套筒13的真空配管10为例，所述真空配管10包括配管本体11，在所述第一套筒12一端的周向位置上具有第一凸缘12a，所述第一套筒12另一端从所述配管本体11一端插入所述配管本体11内，所述第一凸缘12a卡在所述配管本体11一端，以限定所述第一套筒12在所述配管本体11内的位置，在所述第二套筒13一端的周向位置上具有第二凸缘13a，所述第二套筒13的另一端从所述配管本体11另一端插入所述配管本体11内，所述第二凸缘13b卡在所述配管本体11另一端，以限定所述第二套筒13在所述配管本体11内的位置，并且所述第二套筒套13设在所述第一套筒12外周，所述第二套筒13与所述第一套筒12之间具有间隙14，所述检测装置20包括检测件21，所述检测件21插入所述间隙14中，以检测所述第二套筒13与所述第一套筒14是否符合同心度要求，并且，所述检测件21的厚度大于所述间隙14的宽度的一半，并小于所述间隙14的宽度，这样可以保证所述检测装置20检测的精度符合要求。

优选的，所述同心度的检测装置10的材料为聚四氟乙烯，这样既可以保证所述同心度的检测装置10对进行检测时不会对炉管机台造成污染。

其中，所述检测装置20还包括限位件22，所述限位件22与所述检测件连接，在所述检测件21插入所述间隙14时，相对于所述第二套筒13或所述第一套筒12凸出，所述限位件22可以限制所述检测件21插入所述间隙14中的长度，这样可以简化检测过程中的判断步骤。具体的，所述检测件21为中空圆柱体，将所述中空圆柱体插入所述间隙中的一端为插入端21a，可以在所述中空圆柱体远离所述插入端21a的方向上的周向上并距离所述插入端21a预定距离的位置上设置第三凸缘22a作为所述限位件22，或者在所述中空圆柱体沿其轴向上设置有多对通孔21b，以安装第四凸缘22b，以所述第四凸缘22b作为限位件22，具体的，所述第四凸缘22b是杆件，所述杆件插入所述检测件21上的一对距离插入端预定距离的位置上的通孔21b，并沿所述检测件21的径向贯穿所述检测件21，且凸出于所述检测件21，所述第四凸缘22b与所述通孔21b为可拆卸连接，可以将所述第四凸缘22b插入不同位置的通孔21b中，以改变所述检测件21能够插入所述间隙14中的长度，扩大了所述检测装置的适用范围。

优选的，也可以在所述检测件21以插入端为起点向远离插入端的方向上设有刻度标识21c，当所述检测件21插入所述间隙14中并直到无法再插入时，可以直观的看到所述检测件21插入到所述间隙14的长度。

优选的，所述检测件21沿所述第一套筒12轴向的长度值与所述间隙14沿所述第一套筒轴12向的长度值相等，其中，所述间隙14的长度值与所述第一套筒12或所述第二套筒13的长度值相同，具体的，所述间隙14的长度值是与所述第一套筒12相等还是与所述第二套筒13的长度值相等，是根据所述检测件21是从所述第一凸缘12a端插入还是从第二凸缘13a端插入来确定的，即，若所述检测件21是从所述第一凸缘12a端插入，则所述间隙14的长度值与所述第一套筒12的长度值相等，若所述检测件21是从所述第二凸13a缘端插入，则所述间隙14的长度值与所述第二套筒13的长度值相等。这样只要观察到所述检测件完全没入所述间隙14中，便可知道所述第二套筒13与所述第一套筒12符合同心度的要求，只要观察到所述检测件21没有完全没入所述间隙14中，便可知道所述第二套筒13与所述第一套筒12不符合同心度要求，其中，可以在所述检测件21远离所述插入端21a的一端的端面上设置把手(图中未示出)，以方便所述检测件21插拔。所述同心度的检测装置的结构简单，易于操作。

上述描述仅是对本申请较佳实施例的描述，并非对本申请范围的任何限定，本申请领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。