技术总结
本发明提供一种利用由X射线CT装置获得的投影像的尺寸测定方法。在测定单一材质的测定对象物W的尺寸时，在使用X射线CT装置(1)获取测定对象物(W)的多个透射像之后，分别生成投影像，将该投影像与在测定对象物(W)的设计中使用的CAD数据的位置对准，使用完成位置对准的CAD数据与投影像之间的关系来计算测定对象物(W)的尺寸。由此，使用设计信息和几十张左右的投影像，以不进行CT重建的方式实现高精度的尺寸测定。
技术研发人员：大竹丰;伊藤翼;后藤智德;今正人
受保护的技术使用者：国立大学法人东京大学;株式会社三丰
技术研发日：2019.07.04
技术公布日：2020.01.14