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一种气体传感器的制备方法和装置与流程
文档序号:18949575
发布日期:2019-10-23 01:59
阅读:
来源:国知局
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一种气体传感器的制备方法和装置与流程
技术特征:
技术总结
本申请涉及一种气体传感器的制备方法及装置,属于人工传感器术领域,该方法包括:配置第一种溶液;将所述第一种溶液滴至气体传感器芯片表面;获取所述气体传感器芯片的电阻值;在所述电阻值与期望电阻值的偏差在预设范围内时,结束制备。提高了气体检测的灵敏度,并且上述方法效率高成本低。达到了可以在常温低功耗的条件下提高气体传感器的灵敏度的效果。
技术研发人员:
刘宇航;刘秀洁;许诺
受保护的技术使用者:
北京机械设备研究所
技术研发日:
2019.07.12
技术公布日:
2019.10.22
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