技术特征:
技术总结
本申请涉及一种MEMS气体传感器、提高MEMS气体传感器稳定性的方法和装置,属于传感器技术领域,所述MEMS气体传感器包括:基于N型掺杂半导体材料的敏感单元和基于P型掺杂半导体材料的敏感单元中的至少一种,以及,基于P型本征半导体材料的敏感单元;所述基于N型掺杂半导体材料的敏感单元用于检测氧化性气体;所述基于P型掺杂半导体材料的敏感单元用于检测还原性气体;所述基于P型本征半导体材料的敏感单元的电气特性稳定,用于修正所述基于N型掺杂半导体材料的敏感单元和/或所述基于P型掺杂半导体材料的敏感单元的电性漂移。有效提高长期稳定性,延长传感器的使用寿命。
技术研发人员:刘宇航;刘秀洁;许诺;汪晓军
受保护的技术使用者:北京机械设备研究所
技术研发日:2019.07.12
技术公布日:2019.10.22