1.一种对应力不敏感的mems电容式z轴加速度计，其特征是，敏感单元包含衬底、可动质量块、固定梳齿、定齿锚点、支撑梁和中心锚点；
可动质量块经两支撑梁悬挂于中心锚点，中心锚点固定于衬底上；
可动质量块以支撑梁为扭转轴，分布在支撑梁两侧的可动质量块具有质量差；
中心锚点两侧的衬底上设置有以支撑梁为对称的定齿锚点，固定梳齿设置在定齿锚点上；
可动质量块朝向定齿锚点的方向设有可动梳齿，可动梳齿配合地插设在固定梳齿之间，在中心锚点两侧各形成一组梳齿电容。
2.根据权利要求1所述的对应力不敏感的mems电容式z轴加速度计，其特征是，所有定齿锚点和中心锚点集中布置于以中心锚点为几何中心的设定的锚区内，锚区的面积<<可动质量块所占芯片面积。
3.根据权利要求1所述的对应力不敏感的mems电容式z轴加速度计，其特征是，两组梳齿电容组成一对差分电容，梳齿电容为不等高梳齿结构。
4.根据权利要求3所述的对应力不敏感的mems电容式z轴加速度计，其特征是，可动梳齿的顶部与固定梳齿的顶部之间具有第一高度差。
5.根据权利要求3所述的对应力不敏感的mems电容式z轴加速度计，其特征是，可动梳齿的底部与固定梳齿的底部之间具有第二高度差。
6.根据权利要求1所述的对应力不敏感的mems电容式z轴加速度计，其特征是，由多个所述敏感单元组成阵列，各敏感单元之间由耦合梁连接实现同频同向转动。
7.根据权利要求6所述的对应力不敏感的mems电容式z轴加速度计，其特征是，阵列中包含的敏感单元的数量为三个、四个、五个或六个。
8.根据权利要求6所述的对应力不敏感的mems电容式z轴加速度计，其特征是，所述耦合梁采用可翻转扭动的铰链式结构。
9.根据权利要求6所述的对应力不敏感的mems电容式z轴加速度计，其特征是，所述耦合梁为折叠梁。
10.根据权利要求6所述的对应力不敏感的mems电容式z轴加速度计，其特征是，所述耦合梁的平面外刚度大于平面内刚度。