多分量mems加速度计的制作方法

本实用新型涉及一种多分量mems加速度计。

背景技术：

传统的加速度计抗过载能力差，且其与高精度陀螺仪配合使用体积大结构复杂，容易引起故障，使用效率低。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种多分量mems加速度计，多个mems加速度计相互配合使用，使用更广泛，结构稳定。

上述的目的通过以下的技术方案实现：

一种多分量mems加速度计，其组成包括：空心长方体转轴1转轴，所述的空心长方体转轴1转轴的上端开有方形凹槽转轴2转轴，所述的方形凹槽转轴2转轴内设置转轴转轴3转轴，所述的转轴转轴3转轴上开有环形缺转轴4转轴，所述的环形缺转轴4转轴上套接第一加速度计转轴6转轴、第二加速度计转轴7转轴与第三加速度计转轴8转轴，所述的转轴转轴3转轴内开有走线槽转轴5转轴，所述的走线槽转轴5转轴连通第一加速度计转轴6转轴、第二加速度计转轴7转轴与第三加速度计转轴8转轴，

所述的第一加速度计转轴6转轴上设置插口Ⅰ转轴9转轴，所述的插口Ⅰ转轴9转轴的下方设置开关Ⅰ转轴10转轴，所述的第二加速度计转轴7转轴上设置插口Ⅱ转轴13转轴，所述的插口Ⅱ转轴13转轴的下方设置开关Ⅱ转轴11转轴，所述的第三加速度计转轴8转轴上设置插口Ⅲ转轴14转轴，所述的插口Ⅲ转轴14转轴的下方设置开关Ⅲ转轴12转轴；

所述的转轴转轴3转轴插入空心长方体转轴1转轴，所述的空心长方体转轴1转轴内装入微处理器U1，所述的微处理器U1连接第一加速度计转轴6转轴、第二加速度计转轴7转轴与第三加速度计转轴8转轴。

进一步的，所述的内部装入芯片U2，所述的芯片U2的3号端连接芯片U2的5号端、芯片U2的6号端、芯片U2的8号端、电容C5的一端与接地端，所述的芯片U2的4号端连接电容C5的另一端与工作电压VDD端，

所述的芯片U2的11号端连接芯片U2的14号端、电容C3的一端、电容C4的一端与工作电压VDD端，所述的电容C4的另一端接地，所述的芯片U2的12号端连接Vy轴向，所述的芯片U2的13号端连接Vx轴向，

所述的芯片U2的2号端连接Vz轴向，所述的芯片U2的15号端连接芯片U2的16号端、电容C3的另一端与接地端。

进一步的，所述的微处理器U1的10号端串联电阻R4后接地，所述的微处理器U1的1号端串联电阻R5后连接工作电压VCC3.3，

所述的微处理器U1的24号端连接晶振Y1的一端与电容C11的一端，所述的微处理器U1的23号端连接晶振Y1的另一端与电容C12的一端，所述的电容C11的另一端连接电容C12的另一端后接地，

所述的微处理器U1的22号端连接微处理器U1的53号端、微处理器U1的63号端后接地，

所述的微处理器U1的57号端连接电阻R6的一端，所述的微处理器U1的56号端连接电阻R6的一端，所述的微处理器U1的55号端连接电阻R7的一端，所述的微处理器U1的54号端连接电阻R9的一端，

所述的电阻R6的另一端连接电阻R7的另一端、电阻R8的另一端、电阻R9的另一端后连接工作电压VCC3.3，

所述的微处理器U1的64号端连接电阻R1的一端与电容C1的一端，所述的微处理器U1的62号端连接电阻R2的一端与电容C2的一端，所述的电阻R1的另一端连接电阻R2的另一端后连接工作电压VCC3.3，

所述的电容C1的另一端接地，所述的电容C2的另一端接地，

所述的微处理器U1的21号端连接微处理器U1的52号端、电容C3的一端、电容C4的一端与工作电压VCC3.3，所述的电容C3的另一端连接电容C4的另一端后接地；

微处理器U1的型号是ATMEGA128L。

有益效果：

1.本实用新型的集成多个mems加速度计，可同时作用在不同的部位，通过一个微处理器控制，使用方便，操作简单。

2.本实用新型的微处理器U1可同时连接多个mems加速度计，扩展需求，满足特定条件。

3.本实用新型具有X、Y、Z三轴，空间测量定位更准确，测量更精准，适用范围广。

附图说明：

附图1是本实用新型的结构示意图。

附图2是附图1的俯视图。

附图3是本实用新型的mems加速度计的结构剖视图。

附图4是本实用新型的第一加速度计的俯视图。

附图5是本实用新型的mems加速度计的外围电路图。

附图6是本实用新型的微处理器电路图。

具体实施方式：

实施例1

一种多分量mems加速度计，其组成包括：空心长方体转轴1转轴，所述的空心长方体转轴1转轴的上端开有方形凹槽转轴2转轴，所述的方形凹槽转轴2转轴内设置转轴转轴3转轴，所述的转轴转轴3转轴上开有环形缺转轴4转轴，所述的环形缺转轴4转轴上套接第一加速度计转轴6转轴、第二加速度计转轴7转轴与第三加速度计转轴8转轴，所述的转轴转轴3转轴内开有走线槽转轴5转轴，所述的走线槽转轴5转轴连通第一加速度计转轴6转轴、第二加速度计转轴7转轴与第三加速度计转轴8转轴，

所述的第一加速度计转轴6转轴上设置插口Ⅰ转轴9转轴，所述的插口Ⅰ转轴9转轴的下方设置开关Ⅰ转轴10转轴，所述的第二加速度计转轴7转轴上设置插口Ⅱ转轴13转轴，所述的插口Ⅱ转轴13转轴的下方设置开关Ⅱ转轴11转轴，所述的第三加速度计转轴8转轴上设置插口Ⅲ转轴14转轴，所述的插口Ⅲ转轴14转轴的下方设置开关Ⅲ转轴12转轴；

所述的转轴转轴3转轴插入空心长方体转轴1转轴，所述的空心长方体转轴1转轴内装入微处理器U1，所述的微处理器U1连接第一加速度计转轴6转轴、第二加速度计转轴7转轴与第三加速度计转轴8转轴。

进一步的，所述的内部装入芯片U2，所述的芯片U2的3号端连接芯片U2的5号端、芯片U2的6号端、芯片U2的8号端、电容C5的一端与接地端，所述的芯片U2的4号端连接电容C5的另一端与工作电压VDD端，

所述的芯片U2的11号端连接芯片U2的14号端、电容C3的一端、电容C4的一端与工作电压VDD端，所述的电容C4的另一端接地，所述的芯片U2的12号端连接Vy轴向，所述的芯片U2的13号端连接Vx轴向，

所述的芯片U2的2号端连接Vz轴向，所述的芯片U2的15号端连接芯片U2的16号端、电容C3的另一端与接地端。

MXR9500M具有-1.5g到+1.5g的量程，其灵敏度典型值为500mV/g，抗冲击能力为50000g，由于采用了MEMS技术，其使用相当简单，电路如图5所示，可以看出外围仅需要3个电容，用于电源去耦，且无需外部滤波电路。

进一步的，所述的微处理器U1的10号端串联电阻R4后接地，所述的微处理器U1的1号端串联电阻R5后连接工作电压VCC3.3，

所述的微处理器U1的24号端连接晶振Y1的一端与电容C11的一端，所述的微处理器U1的23号端连接晶振Y1的另一端与电容C12的一端，所述的电容C11的另一端连接电容C12的另一端后接地，

所述的微处理器U1的22号端连接微处理器U1的53号端、微处理器U1的63号端后接地，

所述的微处理器U1的57号端连接电阻R6的一端，所述的微处理器U1的56号端连接电阻R6的一端，所述的微处理器U1的55号端连接电阻R7的一端，所述的微处理器U1的54号端连接电阻R9的一端，

所述的电阻R6的另一端连接电阻R7的另一端、电阻R8的另一端、电阻R9的另一端后连接工作电压VCC3.3，

所述的微处理器U1的64号端连接电阻R1的一端与电容C1的一端，所述的微处理器U1的62号端连接电阻R2的一端与电容C2的一端，所述的电阻R1的另一端连接电阻R2的另一端后连接工作电压VCC3.3，

所述的电容C1的另一端接地，所述的电容C2的另一端接地，

所述的微处理器U1的21号端连接微处理器U1的52号端、电容C3的一端、电容C4的一端与工作电压VCC3.3，所述的电容C3的另一端连接电容C4的另一端后接地；

微处理器U1的型号是ATMEGA128L。

ATMEGA128L满足外形小，处理能力强，低功耗，容易开发，片上资源丰富。U1上共设置六个中端口，其中INT0、INT1、INT5、INT6、INT7引脚用于对多个加速度计X轴的PWM信号进行采集，INT4用于一个加速度计Y轴的PWM信号的采集。

在通过ATMEGA128L上的35-42引脚或44-51引脚任意引脚连接上位机或存储器进行数据导出。

当然，上述说明并非是对本实用新型的限制，本实用新型也并不仅限于上述举例，本技术领域的技术人员在本实用新型的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也应属于本实用新型的保护范围。