一种半导体化学气相沉淀装置金属面板测孔治具的制作方法

本实用新型属于气相沉淀装置测孔技术领域，具体涉及一种半导体化学气相沉淀装置金属面板测孔治具。

背景技术：

目前在对半导体化学气相沉积金属面板洗净过程中，需要对金属面板的孔径值进行测量，测量结果用来衡量是否报废，在此工序中需要用专用的孔径测量仪进行测量，现有测孔工序为人工手动找定位点，再通过孔径测量仪进行测量，此做法无法保证每次测量的孔径都是同一位置的孔径，使的测量结果没有对比性，且人工找孔准确性低，耗时长。

技术实现要素：

为解决现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种半导体化学气相沉淀装置金属面板测孔治具，节省测量时间，测孔位置固定，测量结果准确且有对比性。

本实用新型为解决其技术问题所采用的技术方案是：一种半导体化学气相沉淀装置金属面板测孔治具，包括治具本体，所述治具本体为一具有厚度的矩形板结构，所述治具本体上一侧设有对称设置的找正孔，所述治具本体中部开设有定位槽，所述定位槽为贯穿于治具本体的圆形通孔；所述定位槽的侧壁连接有定位环，所述定位环为一具有厚度和高度的圆环状结构，所述定位环上端面为阶梯状的台阶卡槽；所述治具本体的一角处连接有定位块，治具本体上定位块所在位置开设有底部定位孔。

进一步的，所述定位块包括衔接块和固定块，所述衔接块的一侧为与定位环相连接配合的弧形，所述衔接块另一侧与固定块连接；所述固定块为一具有厚度的三角块状结构，其与衔接块连接的一侧开设有金属面板卡槽，所述金属面板卡槽为两面开口的半封闭结构。

进一步的，所述固定块顶部开设有金属面板定位孔，所述金属面板定位孔与金属面板卡槽相通，且所述金属面板定位孔内螺纹连接有金属面板定位螺栓。

进一步的，所述治具本体底部开设有多个底部凹槽，所述的底部凹槽分别位于治具本体底部相对的两侧。

进一步的，所述底部定位孔内螺纹连接有底部定位螺栓。

进一步的，所述治具本体、定位环、定位块的材质均为聚四氟乙烯。

本实用新型的有益效果是：治具本体、定位环、定位块选用聚四氟乙烯材质，尺寸稳定，耐候性好，对金属面板的伤害极小，质量轻盈，可重复使用，本实用新型与现有人工找孔测孔相比，提高了孔径测量的速度，节省了测量时间，测孔位置固定，测量结果准确且有对比性；治具结构简单，便于操作。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的俯视图；

图3为本实用新型的底部结构示意图；

图4为本实用新型的侧视图；

图5为本实用新型与金属面板装配结构爆炸视图。

图中附图标记如下：1、治具本体，2、找正孔，3、定位槽，4、定位环，5、台阶卡槽，6、底部定位孔，7、衔接块，8、固定块，9、金属面板卡槽，10、金属面板定位孔，11、金属面板定位螺栓，12、底部凹槽，13、突出卡扣。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述。

实施例1

本实施例提供一种半导体化学气相沉淀装置金属面板测孔治具，包括治具本体1，所述治具本体1为一具有厚度的矩形板结构，所述治具本体1上一侧设有对称设置的找正孔2，所述治具本体1中部开设有定位槽3，所述定位槽3为贯穿于治具本体1的圆形通孔；所述定位槽3的侧壁连接有定位环4，所述定位环4为一具有厚度和高度的圆环状结构，所述定位环4上端面为阶梯状的台阶卡槽5；所述治具本体1的一角处连接有定位块，治具本体1上定位块所在位置开设有底部定位孔6。

所述定位块包括衔接块7和固定块8，所述衔接块7的一侧为与定位环4相连接配合的弧形，所述衔接块7另一侧与固定块8连接；所述固定块8为一具有厚度的三角块状结构，其与衔接块7连接的一侧开设有金属面板卡槽9，所述金属面板卡槽9为两面开口的半封闭结构。

所述固定块8顶部开设有金属面板定位孔10，所述金属面板定位孔10与金属面板卡槽9相通，且所述金属面板定位孔10内螺纹连接有金属面板定位螺栓11。

所述治具本体1底部开设有多个底部凹槽12，所述的底部凹槽12分别位于治具本体1底部相对的两侧。

所述底部定位孔6内螺纹连接有底部定位螺栓。

所述治具本体1、定位环4、定位块的材质均为聚四氟乙烯。

本实用新型的工作方法：将手伸入底部凹槽12后将治具本体1平放在孔径测量仪的工作平台上，安装定位块，在治具本体1底部将定位螺栓拧入底部定位孔6中将其定位在孔径测量仪的工作平台，将金属面板对准治具本体1的定位槽3后放置在定位环4上，此时与金属面板接触的只有台阶卡槽5，由于台阶卡槽5与金属面板的接触面积很小，不易造成金属面板的划伤及磨损，将金属面板的突出卡扣13旋转至固定块8的金属面板卡槽9内，用金属面板定位螺栓11同时穿过突出卡扣13和金属面板定位孔10，将金属面板固定于定位块，使孔径测量仪始终与找正孔2相对准，进行测量，测量完毕后，松开金属面板定位螺栓11，将金属面板取出。本治具可以重复使用，由于孔径测量仪始终与找正孔2相对准，所以只需更换金属面板，使用方便，操作简单。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型披露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。