一种卧式扩散炉恒温区温度检测装置的制作方法

本实用新型涉及一种卧式扩散炉恒温区温度检测装置，属于芯片制造技术领域。

背景技术：

在半导体芯片制造领域，扩散炉是必须使用的基本设备，恒温区温度分布均匀性则是对扩散炉的基本要求。

目前，扩散炉本身只有口、中、尾三个点有热电偶可以检测、监控温度，但是扩散炉炉口到炉中、炉中到炉尾之间均无热电偶监控，无法得知温度分布情况，若炉口、炉中到炉尾的热电偶之间温度分布存在波峰或波谷，则将影响产品参数均匀性，进而影响产品的质量。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种卧式扩散炉恒温区温度检测装置，对扩散炉恒温区的温度进行有效检测，提高检测效率和准确性。

本实用新型解决上述问题所采用的技术方案为：一种卧式扩散炉恒温区温度检测装置，包括工作台、固定架、输送机构、profile热电偶和温度表，所述固定架固定于工作台上，所述输送机构固定于固定架上，所述profile热电偶设于输送机构上，输送机构将profile热电偶输送至扩散炉内，所述固定架上固定有支座，所述温度表设于支座上，所述温度表与profile热电偶电性连接，所述工作台底部固定设有万向轮。

所述输送机构包括电机、第一皮带输送线、第二皮带输送线和设置profile热电偶的连接架，所述工作台上固定有电机安装座、第一安装座和第二安装座，所述电机水平固定于电机安装座内，所述电机的一侧依次设有与电机输出轴平行的第一转轴和第二转轴，所述第一转轴设于第一安装座上，所述电机输出轴和第一转轴的一端分别固定有第一皮带轮，所述第一皮带输送线张紧在一对第一皮带轮上，所述第二转轴设于第二安装座上，所述第一转轴的另一端与第二转轴上分别固定有第二皮带轮，所述第二皮带输送线张紧在一对第二皮带轮上，所述连接架固定于第二皮带输送线上；电机工作时，带动第一皮带输送线、第一转轴转动，第一转轴转动带动第二皮带轮和第二皮带输送线转动，实现连接架将profile热电偶输送至扩散炉内。

所述温度表为fluke温度表。

所述工作台上还设有触摸屏，用于设定参数。

所述固定架上固定有限位开关，实现第二皮带输送线在一定范围内往复移动。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：一种卧式扩散炉恒温区温度检测装置，通过plc控制系统profile热电偶输送至扩散炉内，并对扩散炉恒温区的温度进行间隔性采集，不仅能够自动检测恒温区温度，提高检测的准确性和效率，而且便于发现恒温区分布异常，进而指导工程师解决异常，最终保证扩散炉恒温区温度分布均匀，提高产品的稳定性。

附图说明

图1为本实用新型实施例一种卧式扩散炉恒温区温度检测装置的示意图(图中省略输送机构)；

图2为本实用新型实施例一种卧式扩散炉恒温区温度检测装置中输送机构的示意图；

图中1profile热电偶、2fluke温度表、3支座、4触摸屏、5工作台、6固定架、7万向轮、8输送机构、8.1电机、8.2电机安装座、8.3第一皮带轮、8.4第一皮带输送线、8.5第一安装座、8.6第一转轴、8.7第二皮带轮、8.8第二皮带输送线、8.9第二转轴、8.10第二安装座、9连接架。

具体实施方式

以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。

如图1所示，本实施例中的一种卧式扩散炉恒温区温度检测装置，包括工作台5、固定架6、输送机构8、profile热电偶1和fluke温度表2，固定架6固定于工作台5上，输送机构8固定在固定架6上，profile热电偶1设于输送机构8上，固定架6上固定有用于设置fluke温度表2的支座3，fluke温度表2与profile热电偶1电性连接，fluke温度表2能够实时采集profile热电偶1检测的数据，工作台5底部还固定有4个万向轮7，便于整个装置的移动。

上述输送机构8包括电机8.1、第一皮带输送线8.4、第二皮带输送线8.8、用于设置profile热电偶1的连接架9，工作台5上固定有电机安装座8.2、第一安装座8.5和第二安装座8.10，电机8.1水平固定于电机安装座8.2内，电机8.1的一侧依次设有与电机8.1输出轴平行的第一转轴8.6和第二转轴8.9，第一转轴8.6设于第一安装座8.5上，电机8.1输出轴和第一转轴8.6的一端分别固定有第一皮带轮8.3，第一皮带输送线8.4张紧在一对第一皮带轮8.3上，plc控制系统控制电机8.1工作，带动电机8.1上的第一皮带轮8.3和第一皮带输送线8.4转动，从而带动第一转轴8.6上的第一皮带轮8.3和第一转轴8.6同时转动。第二转轴8.9设于第二安装座8.10上，第一转轴8.6的另一端与第二转轴8.9上分别固定有第二皮带轮8.7，第二皮带输送线8.8张紧在一对第二皮带轮8.7上，第一转轴8.6的转动带动安装在第一转轴8.6上的第二皮带轮8.7转动，实现第二皮带输送线8.8、第二转轴8.9和第二转轴8.9上的第二皮带轮8.7转动。连接架9固定在第二皮带输送线8.8上，连接架9通过第二皮带输送线8.8的转动将profile热电偶1输送至扩散炉内。

另外，固定架6上固定有2个限位开关，2个限位开关分别安装在一对第二皮带轮8.7处，这样第二皮带输送线8.8不会绕着第二皮带轮8.7整圈转动，而只是在一定范围内往复移动。

工作台5上还设有触摸屏4，用于设定恒温区测试距离、测试间隔和测试时间等参数。

在触摸屏4中设定的关键参数如下：

1、profile热电偶1在扩散炉内每次移动的距离为2cm；

2、每次移动后稳定5min再次向扩散炉内部移动；

3、fluke温度表2每隔5min采样当前移动至扩散炉位置的温度。

通过plc控制系统自动完成输送机构8将profile热电偶1向扩散炉移动，并用fluke温度表2自动采集扩散炉恒温区的温度，识别出扩散炉炉管恒温区温度分布是否存在异常，提高了检测的准确性和检测的效率；如发现异常后可以再分析原因，针对性采取措施，解决扩散炉恒温区温度异常情况，从而保证产品质量的稳定。

除上述实施例外，本实用新型还包括有其他实施方式，凡采用等同变换或者等效替换方式形成的技术方案，均应落入本实用新型权利要求的保护范围之内。