一种可换气、耐高温的石英挠性加速度传感器的制作方法

本实用新型一般涉及高精度测量仪器技术领域，具体涉及一种可换气、耐高温的石英挠性加速度传感器。

背景技术：

石英挠性加速度传感器作为惯性导航仪表或遥控遥测仪表，在石油钻井、铁路、航海、船舶等技术领域占有非常重要的地位。

现有技术中，石英挠性加速度传感器的应用领域愈来愈广，工作环境愈来愈恶略，高温工作下传统高温环境中使用的加速度传感器内部极易发生氧化，长期工作于高温高氧化的环境中，使石英挠性加速度传感器极易出现故障；而且石英挠性加速度传感器工作时本身会发热，使传感器本身的温度高于传感器外部环境的温度，空气中的水和氧气会造成伺服电路和引线在高温高热环境下发生氧化。

因此，越来越需要石英挠性加速度传感器有较好耐热性，能适应高温环境。

技术实现要素：

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种可换气、耐高温的石英挠性加速度传感器。

一种可换气、耐高温的石英挠性加速度传感器，包括表头、伺服电路和换气组件，表头与伺服电路通过导线电气连接在一起，所述表头和伺服电路壳体通过激光焊接在一起形成整机；所述伺服电路壳体上端面留有开口，且所述伺服电路包括数根从上端伸出的接线柱；所述换气组件包括：与所述伺服电路壳体上端激光焊接的电路盖，且所述电路盖上端面设有一换气孔；还包括一个大小与所述换气孔对应的电路盖盖板，所述电路盖和所述电路盖盖板固接；所述接线柱贯穿所述电路盖。

根据

本技术：
实施例提供的技术方案，所述伺服电路壳体、电路盖和所述电路盖盖板均采用不锈钢。

综上所述，本申请的上述技术方案给出了一种可换气、耐高温的石英挠性加速度传感器，通过换气孔将石英挠性加速度传感器内部的空气抽走，再换成惰性气体来完成对其内部的换气，从而可以保护伺服电路和石英挠性加速度传感器内部引线，防止在高温下空气中的氧气和水导致的氧化现象，达到了耐高温、耐氧化的目的。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为一种可换气、耐高温的石英挠性加速度传感器的结构示意图(正视图)。

图2为一种可换气、耐高温的石英挠性加速度传感器的结构示意图(俯视图)。

图中标号：1、表头；2、伺服电路壳体；3、接线柱；4、电路盖；5、换气孔；6、电路盖盖板。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关实用新型，而非对该实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与实用新型相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

请参考图1所公开的一种可换气、耐高温的石英挠性加速度传感器：

一种可换气、耐高温的石英挠性加速度传感器，包括表头1、伺服电路和换气组件，表头1与伺服电路通过导线电气连接在一起，所述表头1和伺服电路壳体2通过激光焊接在一起形成整机；所述伺服电路壳体2上端面留有开口，且所述伺服电路包括数根从上端伸出的接线柱3；所述换气组件包括：与所述伺服电路壳体2上端激光焊接的电路盖4，且所述电路盖4上端面设有一换气孔5；还包括一个大小与所述换气孔5对应的电路盖盖板6，所述电路盖4和所述电路盖盖板6固接；所述接线柱3贯穿所述电路盖4。

其中，电路盖和电路盖盖板的连接方式如下：先将电路盖盖板用耐高温硅胶固定在换气孔上，待胶体固化之后再将电路盖盖板与电路盖激光焊接。

为进一步地优化上述技术方案，本技术方案还优选地提供有以下改进之处：所述伺服电路壳体2、电路盖4和所述电路盖盖板6均采用304不锈钢。

其中：

石英挠性加速度传感器的工作原理为，外界加速度沿加速度传感器的输入轴作用，由此产生的惯性力作用于检测质量摆组件，导致其位置发生变化，从而引起差动电容传感器的电容值变化。利用伺服电路中的差动电容检测器检测这一变化，将其变换成相应的电流反馈至电磁力矩器，从而产生电磁力矩，使得检测质量摆组件重新回到平衡状态。在力平衡状态下，作用于检测质量摆组件上的惯性力与电磁力矩器的电磁力平衡，通过测量流过采样电阻的电流即可得到外界加速度的大小。

在使用本装置之前，需要先对本装置进行整表换气，在换气之前电路盖盖板6不与电路盖4连接。首先将整个石英挠性加速度传感器放入密封的手套箱内，然后进行真空处理，用真空机把整个手套箱内的大气抽走，再向手套箱内充入氦气惰性气体，即完成了换气；再由操作人员将电路盖盖板6用耐高温硅胶固定在电路盖4的换气孔上，在硅胶固化之后从手套箱内取出石英挠性加速度传感器，再将电路盖盖板6与电路盖4进行激光焊接，做进一步的密封，保护表头，并形成屏蔽系统，防止外界环境干扰。

惰性气体作为保护气体，在高温高热环境下隔绝空气，因为空气中的水和氧气在高温高热环境下极易发生氧化，换气处理可保护伺服电路和内部引线；选用活跃度低的氦气作为换气的气体，氦气具有无色、无味、不可燃、稳定性能高等优点，最终保证产品的密封性能。

同时，伺服电路壳体2、电路盖4和电路盖盖板6采用304不锈钢材料，此种材料具有抗腐蚀、耐热、耐高温等优点；并且本装置的体积较小、重量较轻，外形尺寸为φ18.2mm×16.3mm，重量为40mg，比常用的石英挠性加速度传感器应用更广泛。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的实用新型范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述实用新型构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

技术特征：

1.一种可换气、耐高温的石英挠性加速度传感器，其特征在于：包括表头(1)、伺服电路和换气组件，表头(1)与伺服电路通过导线电气连接在一起，所述表头(1)和伺服电路壳体(2)通过激光焊接在一起形成整机；所述伺服电路壳体(2)上端面留有开口，且所述伺服电路包括数根从上端伸出的接线柱(3)；

所述换气组件包括：与所述伺服电路壳体(2)上端激光焊接的电路盖(4)，且所述电路盖(4)上端面设有一换气孔(5)；还包括一个大小与所述换气孔(5)对应的电路盖盖板(6)，所述电路盖(4)和所述电路盖盖板(6)固接；所述接线柱(3)贯穿所述电路盖(4)。

2.如权利要求1所述的一种可换气、耐高温的石英挠性加速度传感器，其特征在于：所述伺服电路壳体(2)、电路盖(4)和所述电路盖盖板(6)均采用304不锈钢。

技术总结
本申请公开了一种可换气、耐高温的石英挠性加速度传感器，包括表头、伺服电路和换气组件，表头与伺服电路通过导线电气连接在一起，所述表头和伺服电路壳体通过激光焊接在一起形成整机；所述伺服电路壳体上端面留有开口，且所述伺服电路包括数根从上端伸出的接线柱；所述换气组件包括：与所述伺服电路壳体上端激光焊接的电路盖，且所述电路盖上端面设有一换气孔；还包括一个大小与所述换气孔对应的电路盖盖板，所述电路盖和所述电路盖盖板固接；所述接线柱贯穿所述电路盖。所述伺服电路壳体、电路盖和所述电路盖盖板均采用不锈钢。

技术研发人员：杜琨
受保护的技术使用者：廊坊市北斗神舟测控仪器有限公司
技术研发日：2019.08.30
技术公布日：2020.04.24