一种平面度检测仪的检测装置的制作方法

本实用新型涉及一种检测装置，尤其是一种平面度检测仪的检测装置。

背景技术：

平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差，平面度测量是指被测实际表面对其理想平面的变动量。对平面度测量一般用平面度测量仪，现有技术中的平面度测量仪结构较为简单，不能灵活地对探针的位置进行调节。现有技术中也有一些设有可调节探针的平面度检测装置，但对探针的调节灵活度和精准度不够，无法达到探针的快速精准定位。

技术实现要素：

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种利用直线导轨对平面度检测仪的探针进行自动横向调节和利用微调手柄对探针进行手动竖向调节的平面度检测仪检测装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种平面度检测仪的检测装置，包括用于支撑的支撑立柱、设有探针的检测块以及用于驱动检测块的驱动电机，所述检测块与驱动电机之间设有自动调节的横向进给装置和手动调节的竖向进给装置。

作为上述技术方案的改进，所述横向进给装置包括滚珠丝杠、直线滑轨和滑块，所述滚珠丝杠与驱动电机连接，通过驱动电机驱动滑块在直线滑轨上运动。

作为上述技术方案的进一步改进，所述直线滑轨包括两个，分别设置在滚珠丝杠两端的支撑立柱上，两个直线滑轨平行设置。

作为上述技术方案的进一步改进，所述竖向进给装置固定安装在滑块上，随滑块做横向运动。

作为上述技术方案的进一步改进，所述竖向进给装置包括微调手柄和进给块，所述微调手柄用于调节进给块的竖向运动。

作为上述技术方案的进一步改进，所述检测块固定安装在进给块上，随进给块做竖向运动。

作为上述技术方案的进一步改进，所述支撑立柱上还设有用于检测滑块位置的光电开关，所述光电开关包括两个，分别位于支撑立柱上靠近直线滑轨两端部的位置。

作为上述技术方案的进一步改进，所述滑块上还设有感应片，所述感应片从滑块的顶部延伸至光电开关的检测路线上。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的平面度检测仪的检测装置通过设置在支撑立柱上的直线导轨带动探针横向运动，并且通过设置在滑块上的微调手柄与进给块带动探针竖向运动，探针在横向竖向灵活运动，能够快速定位至待检工件的合适位置，同时手动调节的微调手柄在竖直方向实现微进给，使探针的定位精度更高，检测结果更加准确。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型后视轴测装配示意图；

图2是本实用新型前视轴测装配示意图；

图3是本实用新型横向进给部分结构示意图。

1、横向进给装置；11、滚珠丝杠；12、直线滑轨；13、滑块；14、感应片；2、竖向进给装置；21、微调手柄；22、进给块；3、驱动电机；4、支撑立柱；5、检测块；6、光电开关。

具体实施方式

以下将结合实施例和附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本实用新型的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本实用新型的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本实用新型保护的范围。另外，专利中涉及到的所有联接/连接关系，并非单指构件直接相接，而是指可根据具体实施情况，通过添加或减少联接辅件，来组成更优的联接结构。本实用新型创造中的各个技术特征，在不互相矛盾冲突的前提下可以交互组合。

参照图1、图2，一种平面度检测仪的检测装置，包括用于支撑的支撑立柱4、设有探针的检测块5以及用于驱动检测块5的驱动电机3，检测块5上的探针接触工件的待检测面进行检测。所述检测块5与驱动电机3之间设有自动调节的横向进给装置1和手动调节的竖向进给装置2。横向进给装置1带动检测块5在横向上移动，竖向进给装置2带动检测块5在竖向上移动，横向竖向同时调整，对检测块5的调节灵活方便。

支撑立柱4上还设有用于检测滑块13位置的光电开关6，所述光电开关6包括两个，分别位于支撑立柱4上靠近直线滑轨12两端部的位置。所述滑块13上还设有感应片14，所述感应片14从滑块13的顶部延伸至光电开关6的检测路线上。采用两个分别在靠近直线滑轨12两端的位置的光电开关6对直线滑轨12上的滑块13的滑动位置进行检测，监测反应灵敏，监测数据准确，使滑块13的滑动位置限制在合适的活动范围内。

参照图3，横向进给装置1包括滚珠丝杠11、直线滑轨12和滑块13，所述滚珠丝杠11与驱动电机3连接，通过驱动电机3驱动滑块13在直线滑轨12上运动。所述直线滑轨12包括两个，分别设置在滚珠丝杠11两端的支撑立柱4上，两个直线滑轨12平行设置。所述滚珠丝杠11通过双膜片联轴器与驱动电机3连接，驱动电机3通过滚珠丝杠11带动设置在滚珠丝杠上的滑块13运动，滚珠丝杠11将驱动电机3的转动转化为滑块13的直线运动。采用滚珠丝杠11传动，摩擦损失小、传动效率高，且能够实现可逆转的高速微进给双向运动，极高的提升了检测的精度与效率。

竖向进给装置2固定安装在滑块13上，随滑块13做横向运动。所述竖向进给装置2包括微调手柄21和进给块22，所述微调手柄21用于调节进给块22的竖向运动。所述检测块5固定安装在进给块22上，随进给块22做竖向运动。竖向进给装置2采用手动调节的微进给，调节过程可控，调节方式简单。且微调手柄21能够在竖直方向形成微进给，不会因为运动行程过大造成工件表面的划伤，使检测块5在待检测工件上的定位更加安全准确。

以上是对本实用新型的较佳实施进行了具体说明，但本实用新型创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可做出种种的等同变形或替换，这些等同的变形或替换均包含在

本技术：
权利要求所限定的范围内。

技术特征：

1.一种平面度检测仪的检测装置，其特征在于：包括用于支撑的支撑立柱(4)、设有探针的检测块(5)以及用于驱动检测块(5)的驱动电机(3)，所述检测块(5)与驱动电机(3)之间设有自动调节的横向进给装置(1)和手动调节的竖向进给装置(2)。

2.根据权利要求1所述一种平面度检测仪的检测装置，其特征在于：所述横向进给装置(1)包括滚珠丝杠(11)、直线滑轨(12)和滑块(13)，所述滚珠丝杠(11)与驱动电机(3)连接，通过驱动电机(3)驱动滑块(13)在直线滑轨(12)上运动。

3.根据权利要求2所述一种平面度检测仪的检测装置，其特征在于：所述直线滑轨(12)包括两个，分别设置在滚珠丝杠(11)两端的支撑立柱(4)上，两个直线滑轨(12)平行设置。

4.根据权利要求3所述一种平面度检测仪的检测装置，其特征在于：所述竖向进给装置(2)固定安装在滑块(13)上，随滑块(13)做横向运动。

5.根据权利要求1所述一种平面度检测仪的检测装置，其特征在于：所述竖向进给装置(2)包括微调手柄(21)和进给块(22)，所述微调手柄(21)用于调节进给块(22)的竖向运动。

6.根据权利要求5所述一种平面度检测仪的检测装置，其特征在于：所述检测块(5)固定安装在进给块(22)上，随进给块(22)做竖向运动。

7.根据权利要求2所述一种平面度检测仪的检测装置，其特征在于：所述支撑立柱(4)上还设有用于检测滑块(13)位置的光电开关(6)，所述光电开关(6)包括两个，分别位于支撑立柱(4)上靠近直线滑轨(12)两端部的位置。

8.根据权利要求7所述一种平面度检测仪的检测装置，其特征在于：所述滑块(13)上还设有感应片(14)，所述感应片(14)从滑块(13)的顶部延伸至光电开关(6)的检测路线上。

技术总结
本实用新型公开了一种平面度检测仪的检测装置，包括用于支撑的支撑立柱、设有探针的检测块以及用于驱动检测块的驱动电机，所述检测块与驱动电机之间设有自动调节的横向进给装置和手动调节的竖向进给装置。通过设置在支撑立柱上的直线导轨带动探针横向运动，并且通过设置在滑块上的微调手柄与进给块带动探针竖向运动，探针在横向竖向灵活运动，能够快速定位至待检工件的合适位置，同时手动调节的微调手柄在竖直方向实现微进给，使探针的定位精度更高，检测结果更加准确。

技术研发人员：袁光荣
受保护的技术使用者：智龙自动化设备(深圳)有限公司
技术研发日：2019.08.30
技术公布日：2020.05.22