导气垫圈的制作方法

文档序号:20407552发布日期:2020-04-14 21:32阅读:来源:国知局

技术特征:

1.导气垫圈,其特征在于,包括:

垫圈本体(1),为环形结构,具有上、下两个结合面;

导气凹槽(2),设置在所述垫圈本体(1)的至少一个所述结合面上,所述导气凹槽(2)连通所述垫圈本体(1)的内外两侧。

2.根据权利要求1所述的导气垫圈,其特征在于,所述垫圈本体(1)的上、下两个结合面上均设置有所述导气凹槽(2)。

3.根据权利要求1所述的导气垫圈,其特征在于,所述导气凹槽(2)为正弦曲线形。

4.根据权利要求3所述的导气垫圈,其特征在于,所述导气凹槽(2)在所述结合面上具有相互交叉的两条。

5.根据权利要求1所述的导气垫圈,其特征在于,还包括:

导气缝隙(4),设置在所述垫圈本体(1)的被所述导气凹槽(2)围绕的支撑台阶(3)的端面上,所述导气缝隙(4)的两端分别连通所述导气凹槽(2)。

6.根据权利要求5所述的导气垫圈,其特征在于,所述导气缝隙(4)在所述支撑台阶(3)的端面上具有两条,两条所述导气缝隙(4)以十字交叉形式连接。

7.根据权利要求5所述的导气垫圈,其特征在于,所述导气缝隙(4)的宽度为0.1~1mm。

8.根据权利要求1所述的导气垫圈,其特征在于,所述垫圈本体(1)的厚度为0.05~0.35mm。

9.根据权利要求8所述的导气垫圈,其特征在于,所述导气凹槽(2)的深度为0.01~0.1mm。


技术总结
本实用新型提供一种导气垫圈,属于专用于制造传感器的设备技术领域,其中,导气垫圈为环形结构,包括:垫圈本体,为环形结构,具有上、下两个结合面;导气凹槽,设置在所述垫圈本体的至少一个所述结合面上,所述导气凹槽连通所述垫圈本体的内外两侧;本实用新型的导气垫圈,在使用时,通过导气凹槽将垫圈本体的内外两侧连通,在不改变垫圈本体原来厚度的前提下,使垫圈本体内圈的空气在抽真空时,能够快速高效的排出,从而避免气体陷入在环形垫圈的内部,提高传感器在超高真空排气时的排气效率和排气效果。

技术研发人员:张心强;靳毅;陈林;郜晨希;王迪;林琳;郑旭;远雁;刘瑞琪;李超波
受保护的技术使用者:川北真空科技(北京)有限公司;中国科学院微电子研究所
技术研发日:2019.09.04
技术公布日:2020.04.14
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1