一种真空镀膜用尺寸测量装置的制作方法

文档序号:20172184发布日期:2020-03-27 12:50阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种真空镀膜用尺寸测量装置,包括观察窗,其特征在于,所述观察窗上设置有测量机构,所述测量机构包括横跨所述观察窗的支撑机构,所述支撑机构两端于所述观察窗上设置有安装座,且其中一端安装有驱动电机,所述支撑机构与观察窗之间设置有尺,所述支撑机构上还设置有滑轨及套接在滑轨上的皮带,所述滑轨上滑动安装有测量头,所述测量头上设置有激光头;

还包括控制箱,所述控制箱与所述测量头电连接。

2.根据权利要求1所述的尺寸测量装置,其特征在于,所述测量头包括滑动底座,所述滑动底座上设置有微调装置和调节板,所述微调装置包括微调螺母和与微调螺母配合使用的丝杆,所述丝杆贯穿调节板设置,所述激光头设置在调节板上。

3.根据权利要求2所述的尺寸测量装置,其特征在于,所述滑动底座相对于微调螺母的一侧向外延伸构成定位板,所述定位板上具有通孔,所述通孔上安装有锁紧螺母。

4.根据权利要求1所述的尺寸测量装置,其特征在于,所述测量机构上还设置有拖链。

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