一种伸缩式检测镀膜厚度的装置的制作方法

本实用新型具体涉及一种伸缩式检测镀膜厚度的装置。

背景技术：

现有的检测镀膜厚度的装置，简易的结构是将晶振片支撑起来送入腔体进行镀膜，将传感器引线引出腔体外进行厚度监测，该结构弊端在于某一时段无论是否需要做膜厚监测，只要设备在进行镀膜工艺，那么晶振片上就会被镀膜，晶振片损耗太快；

现有的检测镀膜厚度的装置，也有为延长晶振片使用寿命对晶振片进行了加盖保护的，该结构的晶振片保护盖通过气动装置驱动打开或关闭，其弊端在于气动装置在腔体内部，而腔体内部在做工艺时是真空状态，如果气动装置出现漏气，会影响腔体内部工艺环境，甚至导致工艺过程失败。

技术实现要素：

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种新型的检测镀膜厚度的装置，目的在于在提供晶振片检测镀膜厚度功能的同时，在晶振片工作时伸出包裹盒，在晶振片不工作时收回包裹盒，延长晶振片使用寿命。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种伸缩式检测镀膜厚度的装置，包括包括气缸、连接杆、晶振片撑杆和基座；

所述晶振片撑杆的一端设有晶振片，所述晶振片撑杆通过自身伸缩控制晶振片的伸缩，所述晶振片置于晶振片包裹盒内，当晶振片伸出时，晶振片露出包裹盒，当晶振片收缩时，晶振片收回包裹盒；

所述晶振片撑杆的另一端与连接杆固定相连，所述连接杆由安装在基座上的气缸控制，可带动晶振片撑杆伸缩运动。

进一步的，本装置还包括第一真空法兰、第二真空法兰，所述第一真空法兰与连接杆固定连接并可随连接杆运动而运动，所述晶振片撑杆固定连接在第一真空法兰的另一侧，所述第二真空法兰固定不动。

进一步的，本装置还包括波纹管；所述晶振片撑杆位于第一真空法兰和第二真空法兰之间的部分设置在波纹管内部，所述波纹管的内部为真空。

进一步的，所述第一真空法兰与连接杆之间设有滑轴，所述滑轴可依连接杆的推动而运动，进而推动第一真空法兰的运动。

进一步的，所述晶振片撑杆位于第二真空法兰的一侧的外部还设有真空套，所述真空套与所述第二真空法兰固定连接，所述真空套的内部为真空。

本实用新型的有益效果如下：

1、通过晶振片支撑杆控制晶振片的运动，使得晶振片不工作时收入包裹盒内，延长晶振片的使用寿命。

2、通过将装置主体部分设置在真空环境中，并通过波纹管动态密封，避免了气体进入装置中，影响膜厚度的检测。

3、通过第一真空法兰的设置，使得信号引线可从真空中引至大气中，使得工作信号可安全传输，驱使装置正常工作。

4、本装置第二真空法兰的一侧与真空套管相连，通过在晶振片撑杆的外部设置真空套，进一步提升真空效果。

附图说明

图1为本实用新型一种伸缩式检测镀膜厚度的装置整体结构示意图；

图中所示：1-气缸；2-连接杆；3-第一真空法兰；4-第二真空法兰；5-晶振片撑杆；6-波纹管；7-基座；8-晶振片；9-真空套；10-滑轴。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对实用新型进行进一步详细说明；应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

本实用新型一种伸缩式检测镀膜厚度的装置，旨在在晶振片不工作时将晶振片收纳，在晶振片工作时移出，同时为镀膜厚度检测提供良好的真空环境。

为了实现上述目的，如图1所示，本装置通过设置一根晶振片撑杆5，将晶振片8置于晶振片撑杆5的一端，并由晶振片撑杆5的伸缩控制晶振片8的伸缩。所述晶振片8置于晶振片包裹盒内，当晶振片8伸出时，晶振片8露出包裹盒，当晶振片8收缩时，晶振片8收回包裹盒，在晶振片8不工作时将晶振片8收纳，从而延长晶振片8的使用寿命。

晶振片撑杆5的另一端与连接杆2固定相连，连接杆2由设置在基座7上的气缸1控制，从而控制晶振片撑杆5的伸缩工作。

本装置还为镀膜厚度的检测提供了良好的真空环境，为实现本目的，本装置还包括第一真空法兰3、第二真空法兰4和波纹管6，所述第一真空法兰3与连接杆2固定连接并可随连接杆2运动而运动，所述连接杆2穿过第一真空法兰3并于晶振片撑杆5固定连接；

所述晶振片撑杆5的外部还设有真空套9，所述真空套9与所述第二真空法兰4固定连接；

所述第一真空法兰3与第二真空法兰4通过波纹管6连接；

所述晶振片撑杆5与连接杆2位于第一真空法兰3和第二真空法兰4之间的部分设置在波纹管6内部。

所述波纹管6内部和真空套9内部为真空。通过第一真空法兰3、第二真空法兰4和波纹管6的真空设置，将装置的主体部分均置于真空中，避免了外部气体进入影响镀膜厚度检测环境。

所述第一真空法兰3和第二真空法兰4之间设有滑轴10，所述滑轴10的一端与第二真空法兰4固定连接，所述第一真空法兰3套接在滑轴10的另一端并可沿滑轴10滑动。设置滑轴10的目的是方便第一真空法兰3的更加良好地运动，使整个装置更加稳定。

所述第一真空法兰3上设有信号引线，所述信号引线穿过第一真空法兰3与气缸1连接，并控制气缸1的工作。

技术特征：

1.一种伸缩式检测镀膜厚度的装置，其特征在于，包括气缸(1)、连接杆(2)、晶振片撑杆(5)和基座(7)；

所述晶振片撑杆(5)的一端设有晶振片(8)，所述晶振片撑杆(5)通过自身伸缩控制晶振片(8)的伸缩，所述晶振片(8)置于晶振片包裹盒内，当晶振片(8)伸出时，晶振片(8)露出包裹盒，当晶振片(8)收缩时，晶振片(8)收回包裹盒；

所述晶振片撑杆(5)的另一端与连接杆(2)固定相连，所述连接杆(2)由安装在基座(7)上的气缸(1)控制，可带动晶振片撑杆(5)伸缩运动。

2.根据权利要求1所述一种伸缩式检测镀膜厚度的装置，其特征在于，还包括第一真空法兰(3)、第二真空法兰(4)，所述第一真空法兰(3)与连接杆(2)固定连接并可随连接杆(2)运动而运动，所述晶振片撑杆(5)固定连接在第一真空法兰(3)的另一侧，所述第二真空法兰(4)固定不动。

3.根据权利要求2所述一种伸缩式检测镀膜厚度的装置，其特征在于，还包括波纹管(6)；

所述晶振片撑杆(5)位于第一真空法兰(3)和第二真空法兰(4)之间的部分设置在波纹管(6)内部，所述波纹管(6)的内部为真空。

4.根据权利要求2所述一种伸缩式检测镀膜厚度的装置，其特征在于，所述第一真空法兰(3)与连接杆(2)之间设有滑轴(10)，所述滑轴(10)可依连接杆(2)的推动而运动，进而推动第一真空法兰(3)的运动。

5.根据权利要求2所述一种伸缩式检测镀膜厚度的装置，其特征在于，所述晶振片撑杆(5)位于第二真空法兰(4)的一侧的外部还设有真空套(9)，所述真空套(9)与所述第二真空法兰(4)固定连接，所述真空套(9)的内部为真空。

技术总结
本实用新型公开了一种伸缩式检测镀膜厚度的装置，包括气缸、连接杆、晶振片撑杆和基座；所述晶振片撑杆的一端设有晶振片，所述晶振片撑杆通过自身伸缩控制晶振片的伸缩，所述晶振片置于晶振片包裹盒内，当晶振片伸出时，晶振片露出包裹盒，当晶振片收缩时，晶振片收回包裹盒；所述晶振片撑杆的另一端与连接杆固定相连，所述连接杆由安装在基座上的气缸控制，可带动晶振片撑杆伸缩运动；本装置的优点在于在晶振片不工作时将晶振片收纳，在晶振片工作时移出，同时为镀膜厚度检测提供良好的真空环境。

技术研发人员：马树全;黎微明;左敏
受保护的技术使用者：江苏微导纳米科技股份有限公司
技术研发日：2019.11.07
技术公布日：2020.08.25