一种用于半导体器件的快速测试系统

本实用新型属于半导体测试技术领域，具体涉及一种用于半导体器件的快速测试系统。

背景技术：

随着电子产品的快速更新，半导体器件的需求量也越来越大，大规模半导体器件的制备也在快速发展，而对半导体器件进行测试是其中一个重要的环节。

在现有技术中，如在忆阻器、光电探测器等半导体器件的测试阶段，通常是逐个器件进行测试，每次测试的器件数目有限，大部分半导体器件体积较小，操作困难，会很大程度上降低测试的效率。

技术实现要素：

为了克服上述技术缺陷，本实用新型提供了一种用于半导体器件的快速测试系统，其能提到半导体器件测试的效率。

为了解决上述问题，本实用新型按以下技术方案予以实现的：

一种用于半导体器件的快速测试系统，包括：

放置平台，用于放置待测半导体器件；

半导体器件测试仪，用于对所述待测半导体器件进行测试；

控制电路，用于发出开关选通信号；

模拟开关电路，与所述待测半导体器件、所述控制电路以及所述半导体器件测试仪连接，用于获取所述开关选通信号并闭合，以使所述待测半导体器件与所述半导体器件测试仪连通。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：将多个待测半导体器件放置在放置平台上，待测的半导体器件与模拟开关电路连接，模拟开关电路与半导体器件测试仪连接，通过开关选通信号使待测半导体器件与半导体器件测试仪连接，选通信号能实现多个半导体器件之间的快速切换，实现了对多个半导体器件的测试，从而提高了半导体器件测试的效率。

作为本实用新型的进一步改进，所述控制电路包括：控制芯片，其与所述模拟开关电路连接，用于发出开关选通信号。

作为本实用新型的进一步改进，所述模拟开关电路包括：第一模拟开关和第二模拟开关，所述第一模拟开关与所述待测半导体器件以及所述控制电路连接，所述第二模拟开关与所述第一模拟开关、所述控制芯片以及所述半导体器件测试仪连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述控制电路还包括：用于指示模拟开关电处于工作状态的工作指示灯，其阴极接地，阳极通过电阻与单片机连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述控制芯片为fpga系列可编辑逻辑芯片、stm32系列单片机、stm8系列单片机、msp430系列单片机或51系列单片机的一种。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一模拟开关和所述第二模拟开关为型号为max4638的模拟开关芯片。

作为本实用新型的进一步改进，所述半导体测试仪为keithley4200半导体测试仪、agilent4155b半导体测试仪、示波器或信号发生器的一种。

作为本实用新型的进一步改进，放置平台上设置有2ⁿ个用于容纳所述半导体器件的容纳位。

作为本实用新型的进一步改进，本快速测试系统还包括：用于为所述模拟开关电路提供电源的电源电路，所述电源电路与所述模拟开关电路连接。

作为本实用新型的进一步改进，本快速测试系统还包括：用于指示所述电源电路工作的电源指示灯，其与所述电源电路连接。

附图说明

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明，其中：

图1为实施例中所述快速测试系统的整体结构示意图；

图2为实施例中所述模拟开关电路与所述待测半导体器件的连接示意图；

图3为实施例中所述模拟开关电路与所述半导体器件测试仪的连接示意图；

图4为实施例中所述工作指示灯的连接示意图；

图5为实施例中所述电源电路的示意图。

标记说明：1-放置平台；11-待测半导体器件；2-半导体器件测试仪；3-控制电路；4-模拟开关电路；5-电源电路；6-sma接口。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例

本实施例提供了一种用于半导体器件的快速测试系统，如图1所示，包括：放置平台1、半导体器件测试仪2、控制电路3和模拟开关电路4，其中，放置平台1用于放置待测半导体器件11，半导体器件测试仪2用于对待测半导体器件11进行测试，控制电路3用于发出开关选通信号；模拟开关电路3与待测半导体器件11、控制电路3以及半导体器件测试仪2连接，用于获取开关选通信号并闭合，以使待测半导体器件11与半导体器件测试仪2连通。

具体的，控制电路3包括：控制芯片mcu，其与模拟开关电路连接，用于发出开关选通信号，控制芯片mcu中内置有计时电路。

如图2和图3所示，模拟开关电路包括：第一模拟开关和第二模拟开关，第一模拟开关与待测半导体器件11以及控制电路连接，第二模拟开关与第一模拟开关、控制芯片mcu以及半导体器件测试仪2连接。第一模拟开关和第二模拟开关为型号为max4638的模拟开关芯片，该芯片为单路8:1、3.5ω低电压模拟多路复用器，开关闭合速度可达18ns，切断速度可达7ns，可以在实现快速测量的同时，避免引入电阻、电容等影响，在使用过程中，模拟开关看看作导线，对测试回路影响较小。

在本实施例中，需要对32个半导体器件进行测试，所以，放置平台上设置有32个用于容纳半导体器件的容纳位，且采用了4个第一模拟开关u1、u2、u3、u4和1个第二模拟开关u5，每一个第一模拟开关与8个待测半导体器件连接，且4个第一模拟开关的输出端与第二模拟开关连接，第二模拟开关的输出端通过sma接口连接至半导体测试设备。

进一步的，如图4所示，控制电路3还包括：用于指示模拟开关电处于工作状态的工作指示灯，其阴极接地，阳极通过电阻与单片机连接。在本实施例中设置了5个电阻r1、r2、r3、r4、r5，5个工作指示灯d1、d2、d3、d4、d5，在第一模拟开关u1-u4或第二模拟开关u5工作时，对应的工作指示灯点亮。

优选的，控制芯片mcu为fpga系列可编辑逻辑芯片、stm32系列单片机、stm8系列单片机、msp430系列单片机或51系列单片机的一种。

优选的，半导体测试仪2为keithley4200半导体测试仪、agilent4155b半导体测试仪、示波器，信号发生器的一种。

除外，如图5所示，本实施例还包括：用于为模拟开关电路4提供电源的电源电路5，电源电路5与模拟开关电路4连接。

如图5所示，本实施例还包括：用于指示电源电路5工作的电源指示灯d6和d7，其与电源电路5连接，在模拟开关电路4与电源电路5连通时，电源指示灯d6和d7点亮。

接下来结合具体实施过程对本实施例做进一步解释，如下：

选通信号包括：使能信号和选择信号，单片机mcu向第一模拟开关u1、u2、u3、u4、第二模拟开关u5发送使能信号en1、en2、en3、en4、en5，使第一模拟开关u1-u4、第二模拟开关u5进入工作状态，单片机mcu发出选择信号a0、a1、a2至第一模拟开关，发送a3、a4信号至第二模拟开关。

如：当第一模拟开关u1获取到单片机mcu发出的使能信号en1时，进入工作状态，u5获取到单片机mcu发出的使能信号en5时，进入工作状态，选择信号由单片机mcu内的时钟电路产生，a0a1a2＝000时，第一个待测半导体器件11与第一模拟开关u1连通，a3a4＝00时，第一模拟开关u1的输出端与第二模拟开关u5的输入端连通，从而使得第一个待测半导体器件11与半导体器件测试仪2连通，由半导体器件测试仪2对第一个待测半导体器件11进行测试。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，故凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何修改、等同变化与修饰,均仍属于本实用新型技术方案的范围内。