玻璃板的制造方法以及玻璃板的制造装置与流程

本发明涉及玻璃板的制造方法以及玻璃板的制造装置，特别地，涉及检测以及识别玻璃板的缺陷的技术。

背景技术：

在例如液晶显示器用的玻璃基板等玻璃板的制造方法中，具备加工玻璃板的加工工序、清洗在加工工序中被加工了的玻璃板的清洗工序、和检查在清洗工序中被清洗了的玻璃板的缺陷的检查工序(例如参照专利文献1)。对于检查工序中检测的玻璃板的缺陷，例如包括白金等异物、裂纹等损伤、气泡等。这之中裂纹等损伤被分类为表面缺陷。此外，气泡、异物根据其位置而被分类为表面缺陷或内部缺陷。

然而，在检查工序中，有要求不仅要确定缺陷的有无，连缺陷的种类也要确定的情况。然而，如果单纯地想要连缺陷的种类也确定，有检查工序所需要的时间变长，从而导致生产效率的下降之类的问题。

因此，例如在专利文献2中，提出了玻璃板的制造方法，该制造方法具备检查玻璃板的缺陷的检查工序，检查工序具有确定缺陷的坐标的缺陷坐标确定工序、和确定缺陷坐标确定工序中确定的坐标的缺陷的内容的缺陷内容确定工序。具体地，提出了如下的玻璃板的检查方法：在缺陷坐标确定工序中，使用光源和相对于光源隔着玻璃板的搬运路径而对置配置的摄像头，在检测玻璃板的缺陷的同时确定其坐标，在缺陷内容确定工序中，基于该坐标数据，用显微镜对玻璃板的缺陷进行拍摄，并确定缺陷的种类。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-141096号公报

专利文献2：日本特开2017-111033号公报

技术实现要素：

发明要解决的课题

然而，如果是专利文献2所述的检查工序，则需要在缺陷的检测工序之外，通过显微镜观察来再观察一次缺陷以确定种类的工序，因而产生流水线(line)长度增大，导致成本上升之类的问题。

鉴于以上的事情，将提供生产效率优异且能够在削减设备成本的同时正确地确定玻璃板的缺陷的种类的检查手法作为要解决的技术课题。

用于解决课题的手段

所述课题的解决通过本发明涉及的玻璃板的制造方法而达成。即，该制造方法的特征在于，是具备用检查装置来检查玻璃板的缺陷的检查工序的玻璃板的制造方法，该检查装置具备：拍摄装置，对玻璃板进行拍摄；反射光照射装置，配置为照射第一光，并且第一光在玻璃板的第一表面反射，从而到达拍摄装置的受光部；和透射光照射装置，配置为照射第二光，并且第二光透射经过玻璃板，从而到达被拍摄装置拍摄的区域，透射光照射装置配置为第二光的照射方向相对于与拍摄装置的受光部正对的朝向而倾斜。

像这样，在本发明涉及的玻璃板的制造方法中，将透射光照射装置配置为从透射光照射装置朝向对玻璃板进行拍摄的区域而照射第二光，并且相对于与拍摄装置的受光部正对的朝向而倾斜。根据该结构，例如与透射光反射装置被配置为隔着玻璃板而与拍摄装置的受光部正对的朝向的情况相比，能够避免缺陷整体上发白光的情形，从而变得容易对缺陷的形态进行视认。特别地，如上述那样将反射光照射装置配置为反射光到达拍摄装置的受光部，并且将透射光照射装置配置为相对于与拍摄装置的受光部正对的朝向而倾斜，由此能够根据缺陷的种类，在缺陷或其周围形成阴影。由于使得只要阴影能够视认，就能够立体地识别缺陷，因而与以往相比能够正确地识别缺陷的种类。此外，使得能够根据缺陷的白光程度、阴影的有无，正确地识别缺陷是表面缺陷和内部缺陷中的哪种。当然，由于通过反射光照射装置和透射光照射装置对拍摄区域进行照射，因而能够确保缺陷的检测所需要的最低限度的光量，从而不遗漏且可靠地检测存在于玻璃板的缺陷。

此外，如上述那样根据本发明涉及的检查工序，由于能够基于在一个部位处拍摄而得到图像来确定缺陷的种类，因而不需要如以往那样在用于确定缺陷的坐标的工序之外设置用显微镜再次观察缺陷以确定其种类的工序。因此，能够削减检查工序所需要的时间，从而使生产效率提高。此外，能够实现流水线长度的缩短，并进一步实现设备成本的削减。

此外，在本发明涉及的玻璃板的制造方法中，透射光照射装置也可以配置为第二光相对于玻璃板的位于第一表面的背侧的第二表面而垂直地入射。

像这样，通过将透射光照射装置配置为成为透射光的第二光相对于成为玻璃板的背面的第二表面而垂直地入射，从而能够有效地供给对于拍摄来说充分的量的透射光。由此，能够使拍摄得到的图像变亮并提高缺陷的检测能力，此外能够容易地识别阴影。

此外，在本发明涉及的玻璃板的制造方法中，反射光照射装置也可以配置为第一光相对于玻璃板的第一表面的入射角、与玻璃板的第一表面的法线方向和拍摄装置的拍摄方向所成的角度相等。

如上述那样，将反射光照射装置配置为使透射光照射装置的朝向相对于与拍摄方向正对的朝向而倾斜，并且成为反射光的第一光的入射角、与玻璃板的第一表面的法线方向和拍摄方向所成的角度相等，由此能够使表面缺陷的阴影更深，或进一步提高内部缺陷的白光程度。因此，变得更容易区分表面缺陷和内部缺陷。

此外，在本发明涉及的玻璃板的制造方法中，检查装置也可以还具备：辅助光照射装置，配置在玻璃板的第一表面侧，朝向玻璃板的被拍摄的区域而照射第三光。

像这样，通过除反射光照射装置和透射光照射装置以外，还在与反射光照射装置相同侧设置辅助光照射装置，能够特别地提高内部缺陷的白光程度。由此，能够避免内部缺陷的检测精度下降的情形，从而不遗漏且可靠地检测内部缺陷。

此外，在本发明涉及的玻璃板的制造方法中，也可以构成为在给定搬运路径上搬运玻璃板，并且搬运路径通过检查工序。

如以上描述的那样，根据本发明涉及的检查工序，能够通过仅在一个部位的拍摄而不遗漏且可靠地检测玻璃板的缺陷，并且正确地识别检测到的缺陷的种类。由此，能够在线且低成本地实施伴随高精度的缺陷种类的识别的检查工序。

此外，所述课题的解决还通过本发明涉及的玻璃板的制造装置而达成。即，该制造装置的特征在于，是具备用于检查玻璃板的缺陷的检查装置的玻璃板的制造装置，检查装置具备：拍摄装置，对玻璃板进行拍摄；反射光照射装置，配置为照射第一光，并且第一光在玻璃板的第一表面反射，从而到达拍摄装置的受光部；和透射光照射装置，配置为照射第二光，并且第二光透射经过玻璃板，从而到达由拍摄装置拍摄的区域，透射光照射装置配置为第二光的照射方向相对于与拍摄装置的受光部正对的朝向而倾斜。

像这样，通过本发明涉及的玻璃板的制造装置，将透射光照射装置配置为朝向玻璃板的被拍摄的区域而照射成为透射光的第二光，并且第二光的照射方向相对于与拍摄装置的受光部正对的朝向而倾斜，因而也能够避免缺陷整体上发白光的情形，并且能够使缺陷的详细的形态容易视认。特别地，如上述那样将反射光照射装置配置为反射光到达拍摄装置的受光部，并且将透射光照射装置配置为相对于与拍摄装置的受光部正对的朝向而倾斜，由此能够在缺陷或其周围形成阴影。由此，与以往相比，能够立体地识别缺陷，并且正确地识别缺陷的种类。此外，使得能够根据缺陷的白光程度、阴影的有无，正确地识别缺陷是表面缺陷和内部缺陷的哪一种。此外，如上述那样根据本发明涉及的检查装置，能够基于在一个部位拍摄得到的图像来确定缺陷的种类，因而不需要如以往那样在用于确定缺陷的坐标的工序之外设置用于用显微镜再次观察缺陷以确定其种类的工序。因此，能够削减检查工序所需要的时间，从而使生产效率提高。此外，能够实现流水线长度的缩短，并进一步实现成本上升的抑制。

发明效果

如以上描述的那样，根据本发明涉及的玻璃板的制造方法以及制造装置，能够使生产效率优异，并且在削减设备成本的同时正确地确定玻璃板的缺陷的种类。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式涉及的玻璃板的制造流水线的概略俯视图。

图2是图1所示的检查工序所使用的检查装置的侧视图。

图3a是示意性地绘制了使用图2所示的检查装置而得到的图像中的各种缺陷的一个例子的图。

图3b是示意性地绘制了使用图2所示的检查装置而得到的图像中的各种缺陷的一个例子的图。

图3c是示意性地绘制了使用图2所示的检查装置而得到的图像中的各种缺陷的一个例子的图。

图4是本发明的第二实施方式涉及的检查装置的侧视图。

具体实施方式

以下，说明本发明的第一实施方式。

例如如图1所示，本实施方式涉及的玻璃板的制造流水线1具备：对玻璃板实施切断、研磨等给定加工的加工工序s1、清洗实施了给定加工的玻璃板的清洗工序s2、检查清洗了的玻璃板的缺陷的检查工序s3、和将在检查工序s3中实施了缺陷的检查的玻璃板打包的打包工序s4。

此外，用图1所示的制造流水线1制造的玻璃板的尺寸例如是300×300mm～3500×3500mm，其厚度尺寸例如是0.1～1.1mm。

图2是示出图1所示的制造流水线1所使用的玻璃板g的制造装置中、检查工序s3所使用的检查装置10的整体结构的侧视图。如图2所示，该检查装置10具备拍摄装置11、反射光照射装置12和透射光照射装置13。此外，在拍摄装置11以及反射光照射装置12与透射光照射装置13之间，设置玻璃板g的搬运路径14。在此，搬运路径14用未图示的搬运装置构成，例如从加工工序s1跨越清洗工序s2、检查工序s3、然后打包工序s4而配设(参照图1)。此外，搬运装置的结构是任意的，例如用通过气体的喷出使玻璃板g从下方浮起的气托等浮起部、和与玻璃板g的宽度方向(在本实施方式中，指与玻璃板g的搬运方向f正交的方向。以下相同。)两侧接触从而搬运玻璃板g的辊等输送部构成。

拍摄装置11例如是流水线摄像头，构成为对玻璃板g的宽度方向整个区域进行拍摄。此外，反射光照射装置12和透射光照射装置13均构成为对玻璃板g的宽度方向整个区域进行照射。由此，针对在搬运路径14上沿着给定搬运方向f搬运的玻璃板g的整个区域，进行由检查装置10进行的缺陷的检查。当然，在玻璃板g的宽度方向两端部不被包括在最终的产品的情况下，只要针对除这些宽度方向两端部之外的区域进行缺陷的检查即可。在该情况下，只要通过拍摄装置11在宽度方向上仅对成为检查对象的区域进行拍摄即可，此外，只要通过反射光照射装置12以及透射光照射装置13在宽度方向上仅对成为检查对象的区域进行照射即可。

另外，虽然省略了图示，但既可以构成为通过让拍摄装置11一边在玻璃板g的宽度方向上移动一边对玻璃板g进行拍摄来对玻璃板g的宽度方向整个区域或一部分区域进行拍摄，也可以构成为能够在拍摄装置11被固定在给定位置的状态下，对玻璃板g的宽度方向整个区域或一部分区域进行拍摄。同样地，既可以构成为通过让反射光照射装置12一边在玻璃板g的宽度方向上移动一边向玻璃板g照射第一光l1，从而照射玻璃板g的宽度方向整个区域或一部分区域，也可以构成为能够在反射光照射装置12被固定在给定位置的状态下，向玻璃板g的宽度方向整个区域或一部分区域照射第一光l1。在此，在采用前者的结构的情况下，反射光照射装置12能够用能够照射激光的激光照射装置构成，在采用后者的结构的情况下，反射光照射装置12能够用将在玻璃板g的宽度方向上延伸的狭缝配置在前方而成的照明装置构成。对于透射光照射装置13也同样地，既可以构成为通过一边在玻璃板g的宽度方向上移动一边向玻璃板g照射第二光l2，也可以构成为能够在透射光照射装置13被固定在给定位置的状态下，向玻璃板g照射第二光l2。该情况下，也是：在采用能够移动的结构的情况下，透射光照射装置13能够用能够照射激光的激光照射装置构成，在采用固定的结构的情况下，透射光照射装置13能够用将在玻璃板g的宽度方向上延伸的狭缝配置在前方而成的照明装置构成。

拍摄装置11配置在玻璃板g的第一表面ga侧。在本实施方式中，第一表面ga指向上方。此外，基于拍摄装置11的拍摄方向、准确来说是拍摄装置11的受光部11a(透镜等)的光轴方向，相对于玻璃板g的第一表面ga的法线方向(在图2中上下方向)而向其搬运方向f的下游侧倾斜。具体地，拍摄装置11的拍摄方向与第一表面ga的法线方向所成的角度(拍摄角度θ1)例如设定为5°以上且30°以下的范围，优选设定为10°以上且25°以下的范围。

反射光照射装置12与拍摄装置11同样，配置在玻璃板g的第一表面ga侧。此外，在本实施方式中，反射光照射装置12相对于拍摄装置11而配置在玻璃板g的搬运方向f的上游侧(如果用图2说明则是右侧)。在此，反射光照射装置12朝向玻璃板g的第一表面ga中的由拍摄装置11拍摄的区域g1照射第一光l1。此外，第一光l1的照射方向与玻璃板g的第一表面ga的法线方向所成的角度(入射角θ2)设定为拍摄角度θ1正负5°以内，优选设定为正负3°以内，更优选设定为正负1°以内，最优选设定为0°、即与拍摄角度θ1相等。在该情况下，第一光l1的反射角与拍摄角度θ1一致。

透射光照射装置13，配置在与拍摄装置11和反射光照射装置12相反一侧、即相对于玻璃板g的第一表面ga而成为背面侧的第二表面gb一侧。在此，透射光照射装置13直接朝向玻璃板g的第二表面gb中由拍摄装置11拍摄的区域g1的背面侧而照射第二光l2。即，构成为照射的第二光l2透射经过玻璃板g而到达第一表面ga中被拍摄的区域g1。

此外，可以配置透射光照射装置13，使得第二光l2的照射方向与拍摄装置11的拍摄方向(光轴方向)不一致，换言之，使得第二光l2的照射方向相对于与拍摄装置的拍摄方向一致的朝向而倾斜。具体地，第二光l2的照射方向被设定为相对于拍摄装置11的拍摄方向所成的倾斜角θ3超过5°，优选设定为10°以上。另一方面，从确保由照射第二光l2带来的缺陷的检测能力的观点出发，倾斜角θ3设定为25°以下，优选设定为20°以下。在本实施方式中，透射光照射装置13配置为第二光l2的照射方向相对于第二表面gb而成为垂直的朝向。该情况下的倾斜角θ3与拍摄角度θ1相等。

此外，在拍摄装置11连接有显示装置(省略图示)，并使得由拍摄装置11拍摄的区域g1的图像被显示在显示装置。此时，例如也可以是，连接针对拍摄到的区域g1的图像而实施给定处理的处理装置(省略图示)，并通过处理装置对拍摄得到的区域g1的图像自动地进行缺陷的检测处理。在该情况下，仅将检测到的缺陷的图像显示在显示装置。当然，也将以将由拍摄装置11拍摄到的区域g1的所有图像显示在显示装置。此外，也可以通过不仅实施缺陷的检测处理，还针对检测到的缺陷实施给定图像处理，从而自动地识别后述的缺陷的种类。

接下来，以检查工序s3为中心说明上述结构的制造流水线1中的玻璃板g的制造工序的一个例子。

首先，如图1所示，将投入到搬运路径14上的玻璃板g(图1中省略)朝向加工工序s1搬运。然后，在加工工序s1中针对玻璃板g实施例如端面加工(倒角加工等)等加工。接下来，在清洗工序s2中，例如通过清洗液、辊刷而清洗在加工工序s1中被加工了的玻璃板g。此时，也可以伴随有清洗后的干燥(除水)。

通过清洗工序s2的玻璃板g，被接下来朝向检查工序s3搬运。在检查工序s3中，如图2所示，在搬运路径14的上方配设有拍摄装置11和反射光照射装置12，在搬运路径14的下方配设有透射光照射装置13。然后，如果玻璃板g被搬入到检查工序s3，则开始由拍摄装置11进行的玻璃板g的拍摄，并且开始由反射光照射装置12以及透射光照射装置13进行的向玻璃板g的第一以及第二光l1、l2的照射。具体地，一边搬运玻璃板g，一边朝向玻璃板g的第一表面ga中由拍摄装置11拍摄的区域g1而照射第一以及第二光l1、l2。在被拍摄的区域g1在玻璃板g的宽度方向上移动的情况下，一边使反射光照射装置12以及透射光照射装置13在玻璃板g的宽度方向上移动，一边跟随被拍摄的区域g1而照射第一以及第二光l1、l2。

此时，从反射光照射装置12照射的第一光l1在玻璃板g的第一表面ga反射，从而到达拍摄装置11的受光部11a。此外，从透射光照射装置13照射的第二光l2从第二表面gb侧透射经过玻璃板g，从而到达由拍摄装置11拍摄的区域g1。此外，该第二光l2在透射光照射装置13被配置为相对于与拍摄装置11的受光部11a正对的朝向而倾斜的状态下被照射。由此，在存在用拍摄装置11拍摄得到的图像中的玻璃板g的缺陷的情况下，根据该缺陷的种类，产生图像中的缺陷的明暗状态(根据图像的种类的深浅状态)不同的现象。

具体地，在图像中的缺陷是玻璃板g的表面成为突起状的突起状缺陷的情况下，如图3a所示，图像p中的突起状缺陷p1成为在其整体以及其周围形成有阴影s的状态。另外，图3a所示的突起状缺陷p1是存在于玻璃板g的表层的异物(白金)所导致的突起状缺陷。此外，在图像中的缺陷是存在于玻璃板g的表面的损伤的情况下，如图3b所示，图像p中的损伤p2成为在其整体形成有影s的状态。此外，在图像中的缺陷是气泡等存在于玻璃板g的内部的缺陷的情况下，如图3c所示，图像p中的内部缺陷p3成为整体上发白光的状态。

作业者观察显示在显示装置(省略图示)的拍摄区域g1的图像p以判定各种缺陷p1～p3的有无，并且识别该缺陷p1～p3的种类。针对玻璃板g的整个区域而进行该作业，并基于检测到的缺陷的内容(例如种类以及尺寸和其数量等)来进行已进行了检查的玻璃板g是否是良品的判定。

然后，被判定为良品的玻璃板g，被朝向位于检查工序s3的下游侧的打包工序s4搬运，在打包工序s4作为良品而被打包并出货。另一方面，被判定为不良品的玻璃板g，在被判定为良品的玻璃板g之外，在打包工序s4中作为不良品而被打包。或者，通过未图示的废弃用的搬运路径而向制造流水线1外排出。

像这样，在本发明涉及的玻璃板的制造方法以及制造装置中，通过透射光照射装置13朝向玻璃板g的拍摄的区域g1照射成为透射光的第二光l2，并且将透射光照射装置13配置为相对于与拍摄装置11的受光部11a正对的朝向而倾斜。根据该结构，能够避免缺陷p1～p3与其种类无关地整体上发白光的情形，从而使缺陷p1～p3的形态容易视认。特别地，如图2所示，将反射光照射装置12配置为成为反射光的第一光l1到达拍摄装置11的受光部11a，并且将透射光照射装置13配置为从根据拍摄装置11的受光部11a正对的朝向偏移了的朝向，由此能够在突起状缺陷p1、损伤p2之类的表面缺陷自身或其周围形成阴影s。由于使得只要阴影s能够视认，就能够立体地识别缺陷(p1、p2)，因而与以往相比，能够根据阴影s的有无或其形状，正确地识别缺陷p1～p3的种类。此外，使得能够根据缺陷p1～p3的白光程度、阴影s的有无，正确地识别缺陷p1～p3是突起状缺陷、损伤之类的表面缺陷和内部缺陷中的哪种。当然，由于通过反射光照射装置12和透射光照射装置13来照射拍摄区域g1，因而能够确保缺陷p1～p3的检测所需要的最低限度的光量，从而不遗漏且可靠地检测存在于玻璃板g的缺陷p1～p3。

此外，如上述那样根据本发明涉及的检查工序s3，由于能够基于在一个部位拍摄得到的图像p来确定缺陷p1～p3的种类，因而不需要如以往那样在用于确定缺陷p1～p3的坐标的工序之外设置用于用显微镜再次观察缺陷p1～p3以确定其种类的工序。因此，能够削减检查工序s3所需要的时间，并使生产效率提高。此外，由此，能够实现制造流水线1的流水线长度的缩短，并进一步实现成本上升的抑制。

此外，在本实施方式中，关于透射光照射装置13，将透射光照射装置13配置为第二光l2相对于玻璃板g的第二表面gb而垂直地入射。根据该结构，能够有效地供给对拍摄来说充分的量的透射光(第二光l2)。由此，能够使拍摄得到的图像p整体上变亮，从而提高缺陷p1～p3的检测能力。此外，阴影s的识别也变得容易。

此外，在本实施方式中，将反射光照射装置12配置为第一光l1相对于玻璃板g的第一表面ga的入射角θ2与拍摄装置相对于玻璃板g的第一表面ga的拍摄角度θ1(一起参照图2)相等。根据该结构，能够使表面缺陷(p1、p2)的阴影s更深，并进一步提高内部缺陷p3的白光程度。因此，变得更容易区分表面缺陷(p1、p2)和内部缺陷p3。

以上，说明了本发明的第一实施方式，但本发明涉及的玻璃板的制造方法以及玻璃板的制造装置不限定于上述例示的方式。该制造方法以及制造装置在本发明的范围内能够采用各种方式。

图4示出了本发明的第二实施方式涉及的检查装置20的侧视图。该检查装置20与图2所示的检查装置10同样地，具备拍摄装置11、反射光照射装置12和透射光照射装置13，并且还具备照射第三光l3的辅助光照射装置21。

辅助光照射装置21与反射光照射装置12同样地配置在玻璃板g的第一表面ga一侧。该辅助光照射装置21朝向玻璃板g的第一表面ga中由拍摄装置11拍摄的区域g1而照射第三光l3。此外，第三光l3的照射方向与玻璃板g的第一表面ga的法线方向所成的角度(入射角θ4)设定为大于第二光l2相对于第一表面ga的入射角θ2。具体地，第三光l3的入射角θ4设定为第二光l2的入射角θ2+10°以上，优选设定为入射角θ2+15°以上，更优选设定为入射角θ2+20°以上。此外，在本实施方式中，第三光l3的入射角θ4设定为大于拍摄角度θ1。该情况下，具体地，第三光l3的入射角θ4设定为拍摄角度θ1+10°以上，优选设定为拍摄角度θ1+15°以上，更优选设定为拍摄角度θ1+20°以上。另一方面，从针对拍摄的区域g1确保需要的光量的观点出发，第三光l3的入射角θ4可以设定为拍摄角度θ1+40°以下，优选可以设定为拍摄角度θ1+30°以下。

此外，在该情况下，也可以通过让辅助光照射装置21一边在玻璃板g的宽度方向上移动一边向玻璃板g照射第三光l3，从而照射玻璃板g的宽度方向整个区域或一部分区域，也可以构成为能够在辅助光照射装置21被固定在给定位置的状态下，向玻璃板g的宽度方向整个区域或一部分区域照射第三光l3。在此，在采用前者的结构的情况下，辅助光照射装置21与反射光照射装置12同样地，能够用能够照射激光的激光照射装置构成，在采用后者的结构的情况下，辅助光照射装置21能够用将沿着玻璃板g的宽度方向延伸的狭缝配置在前方而成的照明装置来构成。

在使用上述结构的检查装置20的检查工序s3中，如果玻璃板g被搬入检查工序s3，则开始由拍摄装置11进行的玻璃板g的拍摄，并且开始由反射光照射装置12和透射光照射装置13以及辅助光照射装置21进行的向玻璃板g的第一～第三光l1～l3的照射。具体地，一边搬运玻璃板g，一边朝向玻璃板g的第一表面ga中由拍摄装置11拍摄的区域g1而照射第一～第三光l1～l3。在被拍摄的区域g1在玻璃板g的宽度方向上移动的情况下，一边使反射光照射装置12和透射光照射装置13以及辅助光照射装置21在玻璃板g的宽度方向上移动，一边跟随被拍摄的区域g1而照射第一～第三光l1～l3。

此时，从反射光照射装置12照射的第一光l1在玻璃板g的第一表面ga反射，从而到达拍摄装置11的受光部11a。此外，从透射光照射装置13照射的第二光l2从第二表面gb侧透射经过玻璃板g，从而到达由拍摄装置11拍摄的区域g1，从辅助光照射装置21照射的第三光l3到达由拍摄装置11拍摄的区域g1。由此，根据用拍摄装置11拍摄得到的图像p中的缺陷p1～p3的种类，产生图像p中的缺陷p1～p3的明暗状态不同的现象。此外，通过向被拍摄的区域g1照射成为辅助光的第三光l3，尤其是内部缺陷p3的白光程度提高。

作业者观察被显示在显示装置(省略图示)的区域g1的图像p，以判定缺陷p1～p3的有无，并且识别缺陷p1～p3的种类。针对玻璃板g的整个区域而进行该作业，并基于检测到的缺陷的内容(例如种类以及数)，进行已进行了检查的玻璃板g是否是良品的判定。

像这样，在本实施方式涉及的检查装置20中，除反射光照射装置12和透射光照射装置13之外，在与反射光照射装置12相同侧设置有辅助光照射装置21，因而能够对供给到被拍摄的区域g1的光量进行补偿。由此，由其能够提高内部缺陷p3的白光程度，因而能够避免由整体的亮度不足导致的内部缺陷p3的检测精度下降的情形，并且不遗漏且可靠地检测包括内部缺陷p3的所有缺陷p1～p3。

此外，在以上的说明中，作为表面缺陷而例示了由异物(白金)导致的突起状缺陷p1和损伤p2，并作为内部缺陷p3而例示了气泡，但当然，根据本发明涉及的制造方法以及制造装置，对于这些以外的缺陷也能够正确地识别其种类。例如，对于突起状缺陷，也可以包括由白金以外的异物导致的突起状缺陷、由气泡导致的突起状缺陷。此外，对于表面缺陷，也可以包括附着物(例如污染、玻璃粉等)，对于内部缺陷，也可以包括由异物导致的内部缺陷。

此外，在以上的说明中，例示了玻璃板g的制造流水线1具备玻璃板g的加工工序s1、清洗工序s2、检查工序s3和打包工序s4的情况，但当然不限于此。也可以追加上述以外的工序，此外也可以省略上述工序的一部分。总而言之，只要是具有检查工序s3，本发明能够应用的制造流水线的结构是任意的。