导轨结构移相器的制作方法

本发明涉及干涉仪零部件领域，具体而言，涉及一种导轨结构移相器。

背景技术：

目前在干涉仪检测领域，通过计算机算法来计算干涉仪条纹所反映的被测样品的优劣越来越被广泛的使用。干涉移相算法中，要求被测样品与标准镜头之间具有一段亚微米级、被移动物体端面各点位移曲线一致、稳定、可恢复的一段位移，移相器的作用便是如此。

干涉仪在通过软件计算时，无法获得一段稳定、精密、可恢复的位移，往往带来很大的位移误差，导致最后的计算结果与实际的数值相差很大，最终影响企业对于被测样品优劣的判断。

市场上已有的相近方案，是在干涉仪上设置单点支撑或者多点支撑的移相器。移相器为单点支撑，往往造成移相的位置有偏差，复位的恢复性能随时间推移降低，并且移相器的使用寿命短。移相器为多点支撑往往价格很高，不利于推广使用。

技术实现要素：

本发明针对现有技术的缺点，提供了一种导轨结构移相器，解决了上述技术的缺陷。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

导轨结构移相器，其特征在于：包括基座、主体和转接板；所述基座上设置有工作凹槽，工作凹槽内安装有主体；主体与基座之间连接有弹性复位结构；所述主体的下端面上开设有圆孔，基座内的工作凹槽内安装有促动器，促动器安装在圆孔内；所述基座内的工作凹槽的内壁上安装有导轨机构，导轨机构固定连接主体；所述基座的侧面设置有通孔，所述促动器电连接有线束，线束的端部设置有线扣，且线扣固定在通孔内；所述主体的上端连接有转接板。

优化的方案，所述促动器的上端通过圆柱销和顶丝连接在圆孔内。

优化的方案，所述导轨机构包括固定安装在工作凹槽内壁上的若干滑块；所述的每一个滑块远离工作凹槽内壁的一侧面上设置有滑槽，滑槽内滑动连接有导轨，导轨固定安装在主体的侧面。

优化的方案，所述弹性复位结构包括固定安装在主体和基座之间的若干弹簧。

由于采用了上述技术，与现有技术相比较，本发明的有益效果是：

本发明通过在基座上增加外框，形成一个在基座上的工作凹槽，外框与基座刚性连接。工作凹槽内壁上安装滑块，主体上安装导轨，滑轨在滑块上运动，这样增加了主体移动的约束，不会产生位置的偏差，大大提升了使用寿命，间接帮助企业减少损失，提高了干涉仪的工作效率。

附图说明

图1为本发明一种实施例的爆炸式结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

如图1所示，导轨结构移相器，包括基座8、主体10和转接板1。所述基座8上设置有工作凹槽，工作凹槽内安装有主体10。所述主体的上端连接有转接板。

工作凹槽有两种实现方法，第一种是利用与基座相同的材料，通过刚性连接的方式做一个外框，外框的内部形成一个工作凹槽。第二种是直接在基座上利用加工设备加工制成一个凹槽，凹槽打磨后就是工作凹槽。

主体与基座之间连接有弹性复位结构。弹性复位结构包括固定安装在主体和基座之间的若干弹簧9。

所述主体的下端面上开设有圆孔，基座内的工作凹槽内安装有促动器11，促动器11的上端通过圆柱销3和顶丝2安装在圆孔内。所述基座内的工作凹槽的内壁上安装有导轨机构，导轨机构固定连接主体。导轨机构包括固定安装在工作凹槽内壁上的若干滑块5。所述的每一个滑块远离工作凹槽内壁的一侧面上设置有滑槽，滑槽内滑动连接有导轨4，导轨4固定安装在主体10的侧面。

所述基座的侧面设置有通孔7，所述促动器电连接有线束，线束的端部设置有线扣6，且线扣6固定在通孔7内。

本实施例的各个部分的技术是：

促动器，由封装结构将压电陶瓷封装好的具有良好压电效应的零件。基座，将固定促动器、转接板与设备相连接的部分。主体，将促动器的位移转化为主体端面的位移的部分。连接板，与主体连接，转接被测机械结构。线扣，将线束固定，并引出的部分。圆柱销，将促动器的位移平稳转移的零部件。顶丝，调节圆柱销与促动器接触的预紧力的零部件。弹簧，为主体复位提供恢复力的零部件。

本发明的工作凹槽内壁上安装滑块，主体上安装导轨，滑轨在滑块上运动，这样增加了主体移动的约束，不会产生位置的偏差，大大提升了使用寿命，间接帮助企业减少损失，提高了干涉仪的工作效率。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

技术特征：

1.导轨结构移相器，其特征在于：包括基座、主体和转接板；

所述基座上设置有工作凹槽，工作凹槽内安装有主体；主体与基座之间连接有弹性复位结构；

所述主体的下端面上开设有圆孔，基座内的工作凹槽内安装有促动器，促动器安装在圆孔内；

所述基座内的工作凹槽的内壁上安装有导轨机构，导轨机构固定连接主体；

所述基座的侧面设置有通孔，所述促动器电连接有线束，线束的端部设置有线扣，且线扣固定在通孔内；

所述主体的上端连接有转接板。

2.根据权利要求1所述的导轨结构移相器，其特征在于：所述促动器的上端通过圆柱销和顶丝连接在圆孔内。

3.根据权利要求2所述的导轨结构移相器，其特征在于：所述导轨机构包括固定安装在工作凹槽内壁上的若干滑块；所述的每一个滑块远离工作凹槽内壁的一侧面上设置有滑槽，滑槽内滑动连接有导轨，导轨固定安装在主体的侧面。

4.根据权利要求1所述的导轨结构移相器，其特征在于：所述弹性复位结构包括固定安装在主体和基座之间的若干弹簧。

技术总结
本发明公开了导轨结构移相器，包括基座、主体和转接板；所述基座上设置有工作凹槽，工作凹槽内安装有主体；主体与基座之间连接有弹性复位结构；所述主体的下端面上开设有圆孔，基座内的工作凹槽内安装有促动器，促动器安装在圆孔内；所述基座内的工作凹槽的内壁上安装有导轨机构，导轨机构固定连接主体；所述基座的侧面设置有通孔，所述促动器电连接有线束，线束的端部设置有线扣，且线扣固定在通孔内；所述主体的上端连接有转接板。本发明增加了主体移动的约束，不会产生位置的偏差，大大提升了使用寿命，间接帮助企业减少损失，提高了干涉仪的工作效率。

技术研发人员：陈卫华
受保护的技术使用者：上海乾曜光学科技有限公司
技术研发日：2020.08.10
技术公布日：2020.10.30