周期栅阵的周期长度的测量方法与流程

文档序号:23231239发布日期:2020-12-08 15:19阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种测量方法,用于对周期阵列结构中的周期栅阵进行测量,其特征在于,包括:

图像获取步骤,在该图像获取步骤中,获取所述周期阵列结构的图像并获取所述图像的像素间距值;

测量线绘制步骤,在该测量线绘制步骤中,在所述图像上绘制覆盖多个所述周期栅阵的测量线;

测量线参数确定步骤,在该测量线参数确定步骤中,确定所述测量线上至少一部分像素的坐标值和图像特征值、以及所述测量线的斜率;

圆频率计算步骤,在该圆频率计算步骤中,利用所述坐标值和所述图像特征值,利用拟合函数来计算得到所述测量线的空间圆频率;

测量线周期长度计算步骤,在该测量线周期长度计算步骤中,利用所述像素间距值和所述空间圆频率,来计算得到所述测量线的延伸方向上的测量线周期长度;以及

实际周期长度计算步骤,在该实际周期长度计算步骤中,基于所述测量线的斜率、以及所述测量线周期长度来计算所述周期栅阵的实际周期长度。

2.如权利要求1所述的测量方法,其特征在于,所述测量方法还包括周期栅阵数目计算步骤,在该周期栅阵数目计算步骤中,基于所述测量线上所有像素的坐标值和所述测量线周期长度,计算所述测量线所覆盖的所述周期栅阵的栅阵数目。

3.如权利要求1或2所述的测量方法,其特征在于,所述测量线通过在所述图像上随机获取两点而连接得到。

4.如权利要求1或2所述的测量方法,其特征在于,所述测量线通过在所述图像上随机获取三点而连接得到。

5.如权利要求4所述的测量方法,其特征在于,所述三点中,将第一点设为位于所述图像中靠近左边或右边的任意位置,将除第一点以外的第二点和第三点设为位于所述第一点的右侧或左侧,且尽可能覆盖较多的所述周期栅阵。

6.如权利要求5所述的测量方法,其特征在于,所述测量线包含第一测量线和第二测量线,所述第一测量线由所述第一点与所述第二点相连得到,所述第二测量线由所述第一点与所述第三点相连得到,基于所述第一测量线的斜率、所述第一测量线的所述测量线周期长度、所述第二测量线的斜率以及所述第二测量线的所述测量线周期长度来计算所述周期栅阵的实际周期长度。

7.如权利要求1或2所述的测量方法,其特征在于,所述拟合函数包括傅里叶函数。

8.如权利要求1或2所述的测量方法,其特征在于,根据所述图像上的比例尺标定来确定所述图像中相邻像素的实际间距,基于该实际间距和所述空间圆频率,来计算得到所述测量线的延伸方向上的测量线周期长度。

9.如权利要求1或2所述的测量方法,其特征在于,重复多次执行所述测量线绘制步骤、所述测量线绘制步骤、所述测量线参数确定步骤、所述圆频率确定步骤、所述测量线周期长度计算步骤以及所述实际周期长度计算步骤,并进行统计处理,从而得到校准后的所述实际周期长度。

10.一种测量系统,用于对周期阵列结构中的周期栅阵进行测量,其特征在于,包括:

存储部,该存储部存储计算机指令;以及

控制部,该控制部在执行所述计算机指令时,使所述系统进行以下步骤:

图像获取步骤,在该图像获取步骤中,获取所述周期阵列结构的图像和所述图像的像素间距值;

测量线绘制步骤,在该测量线绘制步骤中,在所述图像上绘制覆盖多个所述周期栅阵的测量线;

测量线参数确定步骤,在该测量线参数确定步骤中,确定所述测量线上至少一部分像素的坐标值和图像特征值、以及所述测量线的斜率;

圆频率计算步骤,在该圆频率计算步骤中,利用所述坐标值和所述图像特征值,利用拟合函数来计算得到所述测量线的空间圆频率;

测量线周期长度计算步骤,在该测量线周期长度计算步骤中,利用所述像素间距值和所述空间圆频率,来计算得到所述测量线的延伸方向上的测量线周期长度;以及

实际周期长度计算步骤,在该实际周期长度计算步骤中,基于所述测量线的斜率、以及所述测量线周期长度来计算所述周期栅阵的实际周期长度。


技术总结
本发明公开了一种用于对周期阵列结构中的周期栅阵进行测量的测量方法,包括:获取所述周期阵列结构的图像并获取所述图像的像素间距值;在所述图像上绘制覆盖多个所述周期栅阵的测量线;确定所述测量线上至少一部分像素的坐标值和图像特征值、以及所述测量线的斜率;利用所述坐标值和所述图像特征值,利用拟合函数来计算得到所述测量线的空间圆频率;利用所述像素间距值和所述空间圆频率,来计算得到所述测量线的延伸方向上的测量线周期长度;以及基于所述测量线的斜率、以及所述测量线周期长度来计算所述周期栅阵的实际周期长度。

技术研发人员:李阳;李红浪;其他发明人请求不公开姓名
受保护的技术使用者:广东广纳芯科技有限公司
技术研发日:2020.09.11
技术公布日:2020.12.08
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