一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置的制作方法

[0001]
本发明涉及碳化硅晶圆检测技术领域，具体为一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置。


背景技术：

[0002]
碳化硅晶圆，也称碳化硅单晶片，是沿特定的结晶方向将碳化硅晶体切割、研磨、抛光得到片状单晶材料，碳化硅晶片的主要应用领域有led固体照明和高频率器件，该材料具有高出传统硅数倍的禁带、漂移速度、击穿电压、热导率、耐高温等优良特性，在高温、高压、高频、大功率、光电、抗辐射、微波性等电子应用领域和航天、军工、核能等极端环境应用有着不可替代的优势。
[0003]
现有的碳化硅晶圆的红外检测装置在接受检测时，无法同时对碳化硅晶圆外部尺寸与表面平整度进行检测工作，且在上料时，需要对人工辅助，而人工上料会使得碳化硅晶圆表面受到污染影响检测的数据的准确性，针对上述情况，我们推出了一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置。


技术实现要素：

[0004]
针对现有技术的不足，本发明提供了一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，解决了上述背景技术中提出现有的碳化硅晶圆的红外检测装置在接受检测时，无法同时对碳化硅晶圆外部尺寸与表面平整度进行检测工作，且在上料时，需要对人工辅助，而人工上料会使得碳化硅晶圆表面受到污染影响检测的数据的准确性的问题。
[0005]
为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，包括底柜和检测组件，其特征在于：所述底柜左端安装有存料台，且存料台表面开设有储物槽，所述存料台的右侧表面安装有红外接收器，所述底柜的表面开设有滑槽，且滑槽内部安装有液压推杆，所述液压推杆一端连接有上料架，且上料架内部安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆底部安装有连接块，且连接块外部安装有电磁阀门，所述电磁阀门左侧连接有导管，所述连接块右侧安装有红外发射器，且连接块底部安装有吸盘，所述底柜中部安装有传输带，且传输带表面开设有凹槽，所述凹槽内壁开设有卡槽，且卡槽内部连接有卡块，所述卡块另一端连接有托盘，且托盘表面连接有无痕胶，所述底柜顶部安装有支架，且支架顶部固定有横梁，所述检测组件固定于横梁底部，且检测组件内部安装有液压杆，所述液压杆底部连接有安装板，且安装板底部安装有液晶检测板，所述底柜右端安装有下料架，且下料架下方设置有下料台，且下料台表面开设有收纳槽，所述收纳槽内部安装有储纳管。
[0006]
可选的，所述存料台与底柜之间处于同一水平线，且存料台与底柜之间呈一体化结构，而且储物槽关于存料台的中轴线呈上下对称分布。
[0007]
可选的，所述上料架通过液压推杆、滑槽与底柜之间构成滑动结构，且上料架与底柜之间呈平行状分布，而且上料架与液压推杆之间呈固定连接。
[0008]
可选的，所述连接块通过电动伸缩杆与上料架之间构成升降结构，且连接块的竖直中心线与电动伸缩杆、上料架的竖直中心线相重合。
[0009]
可选的，所述吸盘通过连接块、电磁阀门与导管之间构成连通状结构，且导管呈柔性结构，而且导管与连接块之间呈密封连接。
[0010]
可选的，所述凹槽关于传输带表面呈等距离均匀分布，且凹槽呈圆形状。
[0011]
可选的，所述托盘通过卡块、卡槽与凹槽之间构成卡合结构，且托盘的内口尺寸与凹槽的外口尺寸相重合，而且托盘与凹槽处于同一水平线，并且无痕胶与托盘之间呈粘接。
[0012]
可选的，所述检测组件通过横梁、支架与底柜之间构成固定结构，且检测组件关于横梁的中轴线呈上下对称分布。
[0013]
可选的，所述液晶检测板与安装板之间呈固定连接，且液晶检测板表面呈光滑状，而且液晶检测板的外口尺寸小于安装板的内口尺寸。
[0014]
可选的，所述储纳管通过收纳槽与下料台之间构成固定结构，且储纳管的外口尺寸与收纳槽的内口尺寸相吻合
[0015]
本发明提供了一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，具备以下有益效果：
[0016]
1.该应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，通过存料台、底柜、液压推杆与上料架之间的相互配合设置，使得上料架在液压推杆的作用下，能够沿着底柜表面开设的滑槽中滑动，通过红外发射器与红外接收器之间的相互配合使其电动伸缩杆在储物槽的正上方下降，配合吸盘、电磁阀门与导管，使得在吸盘与碳化硅晶圆接触时，将内部的空气排出，不仅能够将碳化硅晶圆表面的灰尘清除，还能够将碳化硅晶圆整个提起，避免人工拿持时对碳化硅晶圆表面污染，造成检测数据的误差。
[0017]
2.该应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，通过上料架、传输带与凹槽之间的相互配合设置，使得上料架底部的吸盘能够将碳化硅晶圆放置于凹槽中，配合凹槽内部的无痕胶，能够将碳化硅晶圆粘在凹槽中，从而实现对碳化硅晶圆的定位固定，避免在检测的过程中碳化硅晶圆晃动，造成测量误差。
[0018]
3.该应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，通过凹槽、卡槽、卡块与托盘之间的相互配合设置，使得内部的托盘与凹槽之间能够拆卸，方便了后期将对托盘整体的清理与无痕胶的更换，提升了该装置的实用性。
[0019]
4.该应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，在测试时通过检测组件内部的液压杆、安装板、红外发射器、红外接收器与液晶检测板之间的相互配合设置，使得在红外发射器发出信号被凹槽一侧的红外接收器接收时，液压杆推动安装板与液晶检测板同步下降，贴合于碳化硅晶圆外表面，该液晶检测板表面分布有感应触点，通过与碳化硅晶圆外表面的接触不仅能够检测碳化硅晶圆的外部尺寸还能够检测碳化硅晶圆表面的平整度，从而能够多重检测，提升了检测的工作效率。
[0020]
5.该应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，通过下料架与下料台之间的相互配合设置，将检测完成碳化硅晶圆放置于下料台表面收纳槽中，配合收纳槽内部的储纳管，将碳化硅晶圆收集至储纳管内部，从而降低人工下料的工作强度，还能够将盛满碳化硅晶圆的储纳管取出更换，方便了下料包装过程。
附图说明
[0021]
图1为本发明俯视结构示意图；
[0022]
图2为本发明凹槽内部结构示意图；
[0023]
图3为本发明上料架内部结构示意图；
[0024]
图4为本发明正视结构示意图；
[0025]
图5为本发明图4中a处放大结构示意图。
[0026]
图中：1、底柜；2、检测组件；3、存料台；4、储物槽；5、红外接收器；6、滑槽；7、液压推杆；8、上料架；9、电动伸缩杆；10、连接块；11、电磁阀门；12、导管；13、红外发射器；14、吸盘；15、传输带；16、凹槽；17、卡槽；18、卡块；19、托盘；20、无痕胶；21、支架；22、横梁；23、液压杆；24、安装板；25、液晶检测板；26、下料架；27、下料台；28、收纳槽；29、储纳管。
具体实施方式
[0027]
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0028]
在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0029]
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
[0030]
请参阅图1至图5，本发明提供一种技术方案：一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，包括底柜1和检测组件2，底柜1左端安装有存料台3，且存料台3表面开设有储物槽4，存料台3与底柜1之间处于同一水平线，且存料台3与底柜1之间呈一体化结构，而且储物槽4关于存料台3的中轴线呈上下对称分布，通过存料台3与储物槽4之间的相互配合设置，使得上料架8能够一次将两个碳化硅晶圆提起，提升了上料效率；
[0031]
存料台3的右侧表面安装有红外接收器5，底柜1的表面开设有滑槽6，且滑槽6内部安装有液压推杆7，液压推杆7一端连接有上料架8，且上料架8内部安装有电动伸缩杆9，上料架8通过液压推杆7、滑槽6与底柜1之间构成滑动结构，且上料架8与底柜1之间呈平行状分布，而且上料架8与液压推杆7之间呈固定连接，存料台3通过液压推杆7、滑槽6与底柜1之间的相互配合设置，使得液压推杆7能够驱动液压推杆7沿滑槽6滑动，从而实现存料台3整体的移动，方便了上料过程；
[0032]
电动伸缩杆9底部安装有连接块10，且连接块10外部安装有电磁阀门11，电磁阀门11左侧连接有导管12，连接块10右侧安装有红外发射器13，且连接块10底部安装有吸盘14，连接块10通过电动伸缩杆9与上料架8之间构成升降结构，且连接块10的竖直中心线与电动伸缩杆9、上料架8的竖直中心线相重合，吸盘14通过连接块10、电磁阀门11与导管12之间构
成连通状结构，且导管12呈柔性结构，而且导管12与连接块10之间呈密封连接，通过红外发射器13与红外接收器5之间的相互配合使其电动伸缩杆9在储物槽4的正上方下降，同时将柔性结构的导管12连接外部气动设备配合吸盘14与电磁阀门11，使得在吸盘14与碳化硅晶圆接触时，通过将吸盘14与碳化硅晶圆内部的空气排出，不仅能够将碳化硅晶圆表面的灰尘清除，还能够将碳化硅晶圆整个提起，避免人工拿持时对碳化硅晶圆表面污染，造成检测数据的误差；
[0033]
底柜1中部安装有传输带15，且传输带15表面开设有凹槽16，凹槽16关于传输带15表面呈等距离均匀分布，且凹槽16呈圆形状，通过等距离均匀分布的圆心凹槽16，从而提升了对碳化硅晶圆输送的效率性；
[0034]
凹槽16内壁开设有卡槽17，且卡槽17内部连接有卡块18，卡块18另一端连接有托盘19，且托盘19表面连接有无痕胶20，托盘19通过卡块18、卡槽17与凹槽16之间构成卡合结构，且托盘19的内口尺寸与凹槽16的外口尺寸相重合，而且托盘19与凹槽16处于同一水平线，并且无痕胶20与托盘19之间呈粘接，通过上料架8、传输带15与凹槽16之间的相互配合设置，使得上料架8底部的吸盘14能够将碳化硅晶圆放置于凹槽16中，通过电磁阀门11的驱动使得吸盘14内部通入空气，使得吸盘14与碳化硅晶圆分离，配合凹槽16内部的无痕胶20，能够将碳化硅晶圆粘在凹槽16内部的托盘19中，从而实现对碳化硅晶圆的定位固定，避免在检测的过程中碳化硅晶圆晃动，造成测量误差，而且通过凹槽16、卡槽17、卡块18与托盘19之间的相互配合设置，使得内部的托盘19与凹槽16之间能够拆卸，方便了后期将对托盘19整体的清理与无痕胶20的更换，提升了该装置的实用性；
[0035]
底柜1顶部安装有支架21，且支架21顶部固定有横梁22，检测组件2固定于横梁22底部，且检测组件2内部安装有液压杆23，检测组件2通过横梁22、支架21与底柜1之间构成固定结构，且检测组件2关于横梁22的中轴线呈上下对称分布，通过支架21与横梁22之间的相互配配合设置，使得能够提升横梁22底部检测组件2工作时的稳固性，进一步减小误差；
[0036]
液压杆23底部连接有安装板24，且安装板24底部安装有液晶检测板25，液晶检测板25与安装板24之间呈固定连接，且液晶检测板25表面呈光滑状，而且液晶检测板25的外口尺寸小于安装板24的内口尺寸，在测试时通过检测组件2内部的液压杆23、安装板24、红外发射器13、红外接收器5与液晶检测板25之间的相互配合设置，使得在红外发射器13发出信号被凹槽16一侧的红外接收器接收5时，液压杆23推动安装板24与液晶检测板25同步下降，贴合于碳化硅晶圆外表面，该液晶检测板25表面分布有感应触点，通过与碳化硅晶圆外表面的接触不仅能够检测碳化硅晶圆的外部尺寸还能够检测碳化硅晶圆表面的平整度，从而能够多重检测，提升了检测的工作效率；
[0037]
底柜1右端安装有下料架26，且下料架26下方设置有下料台27，且下料台27表面开设有收纳槽28，收纳槽28内部安装有储纳管29，储纳管29通过收纳槽28与下料台27之间构成固定结构，且储纳管29的外口尺寸与收纳槽28的内口尺寸相吻合，通过下料架26与下料台27之间的相互配合设置，将检测完成碳化硅晶圆放置于下料台27表面收纳槽28中，配合收纳槽28内部的储纳管29，将碳化硅晶圆收集至储纳管29内部，从而降低人工下料的工作强度，还能够将盛满碳化硅晶圆的储纳管29取出更换，方便了下料包装过程。
[0038]
综上，该应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，使用时，首先打开液压推杆7通过液压推杆7的工作驱动上料架8沿滑槽6内部移动，移动至存料台3顶部时，通过上料架8底部安
装的红外发射器13发出信号被存料台3一侧的红外接收器接收5时，停下液压推杆7同时电动伸缩杆9向下方移动，使得电动伸缩杆9底部的吸盘14能够紧贴于碳化硅晶圆的表面，进一步将导管12连接外部气动设备，通过电磁阀门11与导管12将吸盘14与碳化硅晶圆内部的空气排出，不仅能够将碳化硅晶圆表面的灰尘清除，还能够将碳化硅晶圆整个提起，避免人工拿持时对碳化硅晶圆表面污染，造成检测数据的误差，接着通过液压推杆7的收缩将上料架8驱动至传输带15的顶部，进一步通过上料架8底部安装的红外发射器13与传输带15表面的红外接收器5使得电动伸缩杆9向下移动将碳化硅晶圆放置于凹槽16中，通过电磁阀门11的驱动使得吸盘14内部通入空气，使得吸盘14与碳化硅晶圆分离，配合凹槽16内部的无痕胶20，能够将碳化硅晶圆粘在凹槽16内部的托盘19中，从而实现对碳化硅晶圆的定位固定，避免在检测的过程中碳化硅晶圆晃动，造成测量误差，而且通过凹槽16、卡槽17、卡块18与托盘19之间的相互配合设置，使得内部的托盘19与凹槽16之间能够拆卸，方便了后期将对托盘19整体的清理与无痕胶20的更换，提升了该装置的实用性，然后经过传输带15的带动下将碳化硅晶输送至横梁22的下方，通过检测组件2内部的红外发射器13发出信号被凹槽16一侧的红外接收器接收5时，液压杆23推动安装板24与液晶检测板25同步下降，贴合于碳化硅晶圆外表面，该液晶检测板25表面分布有感应触点，通过与碳化硅晶圆外表面的接触不仅能够检测碳化硅晶圆的外部尺寸还能够检测碳化硅晶圆表面的平整度，从而能够多重检测，提升了检测的工作效率，最后通过下料架26与下料台27之间的相互配合设置，将检测完成碳化硅晶圆放置于下料台27表面收纳槽28中，配合收纳槽28内部的储纳管29，将碳化硅晶圆收集至储纳管29内部，从而降低人工下料的工作强度，还能够将盛满碳化硅晶圆的储纳管29取出更换，方便了下料包装过程。
[0039]
以上，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。