晶圆对准装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种晶圆对准装置，尤指一种能够撷取晶圆外形及定位记号，以达到定位晶圆的对准装置。
【背景技术】
[0002]在半导体制程中，为辨识晶圆的芯片位置与方向，晶圆的外缘会有V形缺口或平边设计的定位记号，以作为辨识定位的依据。因晶圆于晶舟盒内的方向与位置不一，故晶圆由晶舟盒取出后，必须确认晶圆的方向性与晶圆中心的对位，方可进行晶圆的后续制作的制程。
[0003]现有的辨识晶圆的位置与方向，是通过光学传感器，再以对照感测方式，寻找定位记号，并配合轴向移载找出晶圆的中心。
[0004]但若晶圆因表面色泽或制程需要贴附于载具时，则无法用对照式的光学传感器达到晶圆对位的目的。另外，现有的晶圆为朝向薄晶圆的设计，因此感测上有其难度。再者，晶圆的高低起伏的表面亦造成光学传感器不易读取。再一，晶圆载体或边框无法供光学传感器读取。
[0005]因此，如何解决上述现有技术存在的不足，便成为本实用新型所要研究解决的课题。
【发明内容】
[0006]本实用新型的目的在于提供一种晶圆对准装置。
[0007]为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是:一种晶圆对准装置，包含有:
[0008]一承台单元；
[0009]—吸盘单元，设于所述承台单元的下方；
[0010]一多轴位移总成，设于所述吸盘单元的下方；
[0011]—视觉撷取单元，设于所述承台单元的一端；以及
[0012]—控制及运算单元，信号连接所述承台单元、所述吸盘单元、所述多轴位移总成与所述视觉撷取单元。
[0013]上述技术方案中的有关内容解释如下:
[0014]1.上述方案中，所述承台单元具有二置件载台，各置件载台具有多个气孔。
[0015]2.上述方案中，所述吸盘单元具有多个吸孔。
[0016]3.上述方案中，所述多轴位移总成具有一第一位移单元与一第二位移单元，所述第一位移单元设于所述吸盘单元的下方，所述第二位移单元设于所述第一位移单元的下方。
[0017]4.上述方案中，所述多轴位移总成更具有一第三位移单元，该第三位移单元设于所述第二位移单元的下方。
[0018]5.上述方案中，所述视觉撷取单元位于所述承台单元的下方。
[0019]6.上述方案中，所述视觉撷取单元位于所述承台单元的上方。
[0020]本实用新型的工作原理及优点如下:
[0021]本实用新型先利用正压气体支撑晶圆未被吸盘单元所吸附的部分，以使晶圆气浮于承台单元，再使晶圆旋转，并用视觉撷取单元撷取晶圆的影像。如前所述，撷取气浮的晶圆的影像可具有多个优点。首先，晶圆的尺寸可不受到限制，即使晶圆放置于边框或载具，视觉撷取单元可撷取晶圆或晶圆连同边框或载具的影像，以寻找出V形缺口或平边设计的定位记号或外形。
[0022]另外，本实用新型视觉撷取单元并非现有的光学传感器，所以本实用新型不受限于晶圆的表面光泽或晶圆的表面高低起伏，而使视觉撷取单元仍可寻找定位记号。
【附图说明】
[0023]附图1为本实用新型第一实施例的示意图；
[0024]附图2为本实用新型第一实施例的又一示意图；
[0025]附图3为本实用新型第一实施例的动作示意图；
[0026]附图4为本实用新型第二实施例的动作示意图。
[0027]以上附图中:1.承台单元；10.承台单元；11.气孔;20.吸盘单元;200.吸孔;21.第一位移单元；22.第二位移单元；23.第三位移单元；24.多轴位移总成；30.视觉撷取单元；31.控制及运算系统;40.晶圆；5.承台单元;50.置件载台；51.气孔;60.吸盘单元;61.第一位移单元;62.第二位移单元;63.第三位移单元;64.多轴位移总成;70.视觉撷取单元;71.控制及运算系统。
【具体实施方式】
[0028]下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述:
[0029]实施例:以下通过特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭示的内容，轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。
[0030]请配合参考图1?2所示，本实用新型一种晶圆对准装置的第一实施例，其包含有一承台单元1、一吸盘单元20、一多轴位移总成24、一视觉撷取单元30与一控制及演算单元31ο
[0031]承台单元I具有二置件载台10，各置件载台10具有多个气孔11，各气孔11耦接一供气单元(图中未示)，该供气单元提供正压气体或负压气体给各气孔11。
[0032]吸盘单元20设于二置件载台10之间，并位于承台单元I的下方，吸盘单元20具有多个吸孔200，各吸孔200耦接一供气单元(图中未示)，该供气单元提供负压气体给各吸孔200。
[0033]多轴位移总成24具有一第一位移单元21、一第二位移单元22与一第三位移单元23ο
[0034]第一位移单元21设于吸盘单元20的下方，第一位移单元使吸盘单元20能进行一纵向往复移动与一旋转往复移动。
[0035]第二位移单元22设于第一位移单元21的下方，第二位于单元22使吸盘单元20能够进行一前后或一左右的往复移动。
[0036]第三位移单元23设于第二位移单元22的下方，第三位移单元23使吸盘单元20能够进行一前后或一左右的往复移动。若第二位移单元22进行前后往复移动，则第三位移单元23进行左右往复移动。假若第二位移单兀22进行左右往复移动，则第二位移单兀23进行前后往复移动。
[0037]视觉撷取单元30设于承台单元I的一端，于本实施例中，视觉撷取单元30设于承台单元I的下方，并且相邻于第一位移单元。
[0038]控制及演算单元31信号连接视觉撷取单元30、多轴位移总成24、吸盘单元20与承台单元I。
[0039]一晶圆40被放置于置件载台10，供气单元提供负压气体给