一种半导体功率器件的可调针脚检测装置的制作方法

[0001]
本发明涉及半导体技术领域，具体为一种半导体功率器件的可调针脚检测装置。


背景技术：

[0002]
功率半导体器件又称为电力电子器件，主要用于电力设备的电能变换和控制电路方面大功率的电子器件，功率器件几乎用于所有的电子制造业,包括计算机领域的笔记本、pc、服务器、显示器以及各种外设，网络通信领域的手机、电话以及其它各种终端和局端设备，消费电子领域的传统黑白家电和各种数码产品，工业控制类中的工业pc、各类仪器仪表和各类控制设备等。
[0003]
例如申请号：cn201110192302.x双极功率半导体器件(1)在发射极侧(12)上提供有发射极电极(11)并在集电极侧(16)上提供有集电极电极(15)。该器件具有沟槽栅极电极(2)以及具有如下顺序的不同导电类型的多个层的结构：至少一个n掺杂源极区(3)、围绕至少一个源极区(3)的p掺杂基极层(4)、n掺杂增强层(5)、p掺杂附加阱层(62)、附加n掺杂增强层(52)、附加p掺杂阱层(62)、n掺杂漂移层(7)和p掺杂集电极层(8)。沟槽栅极电极(2)具有栅极底部(211)，其定位成比附加增强层底部(531)更靠近集电极侧(16)。
[0004]
基于上述，现有的半导体功率器件在检测时需要对功率器件的针脚进行接电测试，但是对于不同的半导体功率器件，半导体功率器件的针脚之间的距离不同，半导体功率器件针脚的形状和尺寸也不相同，因此需要不同的检测设备对半导体功率器件进行检测，检测成本较高；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种半导体功率器件的可调针脚检测装置。


技术实现要素：

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本发明的目的在于提供一种半导体功率器件的可调针脚检测装置，以解决上述背景技术中提出的现有的半导体功率器件在检测时需要对功率器件的针脚进行接电测试，但是对于不同的半导体功率器件，半导体功率器件的针脚之间的距离不同，半导体功率器件针脚的形状和尺寸也不相同，因此需要不同的检测设备对半导体功率器件进行检测，检测成本较高的问题。
[0006]
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体功率器件的可调针脚检测装置，包括安装座；所述安装座的左侧转动连接有一组锁紧操作件；所述安装座的右侧转动连接有一组调节操作件；所述安装座的内部左侧转动连接有一组锁紧驱动轴；所述安装座的右侧内部转动连接有一组调节旋转轴；所述安装座的内部设置有三组检测触点安装座，中间的一组检测触点安装座与安装座固定连接，前后两组检测触点安装座与安装座滑动连接；所述检测触点安装座啮合前后滑动连接有两组触点滑动块；所述检测触点安装座的左侧滑动连接有一组夹紧滑动块。
[0007]
优选的，所述锁紧操作件还包括有锁紧驱动锥齿轮，锁紧操作件右端面同轴固定连接有一组锁紧驱动锥齿轮，锁紧驱动轴还包括有锁紧从动锥齿轮，锁紧驱动轴的前端面
同轴固定连接有一组锁紧从动锥齿轮，锁紧驱动锥齿轮与锁紧从动锥齿轮啮合共同构成锥齿轮传动机构。
[0008]
优选的，所述锁紧驱动轴还包括有锁紧锁紧凸轮，锁紧驱动轴同轴固定连接有一组锁紧锁紧凸轮，锁紧锁紧凸轮与夹紧滑动块压紧连接共同构成凸轮机构。
[0009]
优选的，所述夹紧滑动块还包括有锁紧驱动斜面，夹紧滑动块的右侧设置有一对相对设置的锁紧驱动斜面，触点滑动块还包括有锁紧从动斜面、复位弹簧、触点板，触点滑动块的左侧外部设置有一组锁紧从动斜面，锁紧驱动斜面与锁紧从动斜面斜面配合共同构成楔块结构，两组触点滑动块之间通过一组复位弹簧弹性连接，两组触点滑动块顶部均固定连接有一组对称的触点板。
[0010]
优选的，所述调节操作件还包括有调节驱动锥齿轮，调节操作件的左端同轴固定连接有一组调节驱动锥齿轮，调节旋转轴还包括有调节从动锥齿轮，调节旋转轴的前端面同轴固定连接有一组调节从动锥齿轮，调节驱动锥齿轮与调节从动锥齿轮啮合共同构成锥齿轮传动机构。
[0011]
优选的，所述调节旋转轴还包括有调节导向轮、调节导向槽，调节旋转轴的后部同轴固定连接有两组调节导向轮，两组调节导向轮上均设置有一组调节导向槽，两组调节导向轮上的调节导向槽为对称分布。
[0012]
优选的，所述检测触点安装座还包括有调节导向块，检测触点安装座的左端面固定连接有一组调节导向块，调节导向块在调节导向槽内滑动，调节导向轮与调节导向块之间共同构成外圆面凸轮机构。
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与现有技术相比，本发明的有益效果是：
[0014]
本发明同采用锥齿轮传动机构、外圆面凸轮传动机构实现了外侧两组检测触点安装座的同步反向滑动，实现调整三组针脚之间的距离的目的，可以适用于不同针脚结构的半导体功率器件的检测，检测范围宽，适应性强，实现一机多用的目的，具有良好的经济效应。
[0015]
本发明通过采用锥齿轮传动机构、凸轮传动机构、楔块传动机构等传动方式，实现了两组触点滑动块的相对滑动，实现对针脚的夹紧，实现对半导体功率器件的检测，可以适应对不同形状和粗细的针脚进行固定，检测范围宽，适应性强，实现一机多用的目的，具有良好的经济效应。
[0016]
本发明能够实现调整三组针脚之间的距离的目的，可以适用于不同针脚结构的半导体功率器件的检测，同时可以实现对针脚的夹紧，实现对半导体功率器件的检测，可以适应对不同形状和粗细的针脚进行固定，检测范围宽，适应性强，实现一机多用的目的，具有良好的经济效应。
附图说明
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图1为本发明的轴侧结构示意图；
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图2为本发明的内部轴侧结构示意图；
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图3为本发明的锁紧驱动轴传动轴侧结构示意图；
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图4为本发明的调节旋转轴轴侧结构示意图；
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图5为本发明的调节旋转轴传动轴侧结构示意图；
[0022]
图6为本发明的检测触点安装座轴侧结构示意图；
[0023]
图7为本发明的触点滑动块轴侧结构示意图；
[0024]
图8为本发明的夹紧滑动块传动轴侧结构示意图；
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图中：1、安装座；2、锁紧操作件；201、锁紧驱动锥齿轮；3、调节操作件；301、调节驱动锥齿轮；4、锁紧驱动轴；401、锁紧从动锥齿轮；402、锁紧锁紧凸轮；5、调节旋转轴；501、调节从动锥齿轮；502、调节导向轮；503、调节导向槽；6、检测触点安装座；601、调节导向块；7、夹紧滑动块；701、锁紧驱动斜面；8、触点滑动块；801、锁紧从动斜面；802、复位弹簧；803、触点板。
具体实施方式
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下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
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请参阅图1至图8，本发明提供的一种实施例：一种半导体功率器件的可调针脚检测装置，包括安装座1；安装座1的左侧转动连接有一组锁紧操作件2；安装座1的右侧转动连接有一组调节操作件3；安装座1的内部左侧转动连接有一组锁紧驱动轴4；安装座1的右侧内部转动连接有一组调节旋转轴5；安装座1的内部设置有三组检测触点安装座6，中间的一组检测触点安装座6与安装座1固定连接，前后两组检测触点安装座6与安装座1滑动连接；检测触点安装座6啮合前后滑动连接有两组触点滑动块8；检测触点安装座6的左侧滑动连接有一组夹紧滑动块7。
[0028]
进一步，锁紧操作件2还包括有锁紧驱动锥齿轮201，锁紧操作件2右端面同轴固定连接有一组锁紧驱动锥齿轮201，锁紧驱动轴4还包括有锁紧从动锥齿轮401，锁紧驱动轴4的前端面同轴固定连接有一组锁紧从动锥齿轮401，锁紧驱动锥齿轮201与锁紧从动锥齿轮401啮合共同构成锥齿轮传动机构，在使用中，当旋转锁紧操作件2，锁紧操作件2通过由锁紧驱动锥齿轮201与锁紧从动锥齿轮401啮合共同构成的锥齿轮传动机构带动锁紧驱动轴4旋转。
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进一步，锁紧驱动轴4还包括有锁紧锁紧凸轮402，锁紧驱动轴4同轴固定连接有一组锁紧锁紧凸轮402，锁紧锁紧凸轮402与夹紧滑动块7压紧连接共同构成凸轮机构，在使用中，当锁紧驱动轴4旋转，锁紧驱动轴4通过由锁紧锁紧凸轮402与夹紧滑动块7压紧连接共同构成的凸轮机构往右侧推动夹紧滑动块7。
[0030]
进一步，夹紧滑动块7还包括有锁紧驱动斜面701，夹紧滑动块7的右侧设置有一对相对设置的锁紧驱动斜面701，触点滑动块8还包括有锁紧从动斜面801、复位弹簧802、触点板803，触点滑动块8的左侧外部设置有一组锁紧从动斜面801，锁紧驱动斜面701与锁紧从动斜面801斜面配合共同构成楔块结构，两组触点滑动块8之间通过一组复位弹簧802弹性连接，两组触点滑动块8顶部均固定连接有一组对称的触点板803，在使用中，当夹紧滑动块7往右侧滑动，夹紧滑动块7通过由锁紧驱动斜面701与锁紧从动斜面801斜面配合共同构成楔块结构带动两组触点滑动块8同时往内侧滑动将针脚压紧，方便对半导体功率器件进行检测。
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进一步，调节操作件3还包括有调节驱动锥齿轮301，调节操作件3的左端同轴固定连接有一组调节驱动锥齿轮301，调节旋转轴5还包括有调节从动锥齿轮501，调节旋转轴5
的前端面同轴固定连接有一组调节从动锥齿轮501，调节驱动锥齿轮301与调节从动锥齿轮501啮合共同构成锥齿轮传动机构，在使用中，当旋转调节操作件3，调节操作件3通过由调节驱动锥齿轮301与调节从动锥齿轮501啮合共同构成的锥齿轮传动机构带动调节旋转轴5旋转。
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进一步，调节旋转轴5还包括有调节导向轮502、调节导向槽503，调节旋转轴5的后部同轴固定连接有两组调节导向轮502，两组调节导向轮502上均设置有一组调节导向槽503，两组调节导向轮502上的调节导向槽503为对称分布。
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进一步，检测触点安装座6还包括有调节导向块601，检测触点安装座6的左端面固定连接有一组调节导向块601，调节导向块601在调节导向槽503内滑动，调节导向轮502与调节导向块601之间共同构成外圆面凸轮机构，在使用中，当调节旋转轴5旋转，调节旋转轴5通过由调节导向轮502与调节导向块601之间共同构成的外圆面凸轮机构带动两组检测触点安装座6同步反向滑动，实现调整两组检测触点安装座6之间的位置。
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工作原理：当需要调整检测针脚位置时，旋转调节操作件3，调节操作件3通过由调节驱动锥齿轮301与调节从动锥齿轮501啮合共同构成的锥齿轮传动机构带动调节旋转轴5旋转，调节旋转轴5通过由调节导向轮502与调节导向块601之间共同构成的外圆面凸轮机构带动两组检测触点安装座6同步反向滑动，实现调整两组检测触点安装座6之间的位置，以实现两组调整检测针脚位置；在检测时，将半导体功率器件针脚插入到两组触点滑动块8之间，旋转锁紧操作件2，锁紧操作件2通过由锁紧驱动锥齿轮201与锁紧从动锥齿轮401啮合共同构成的锥齿轮传动机构带动锁紧驱动轴4旋转，锁紧驱动轴4通过由锁紧锁紧凸轮402与夹紧滑动块7压紧连接共同构成的凸轮机构往右侧推动夹紧滑动块7，夹紧滑动块7通过由锁紧驱动斜面701与锁紧从动斜面801斜面配合共同构成楔块结构带动两组触点滑动块8同时往内侧滑动将针脚压紧，实现对半导体功率器件进行检测。
[0035]
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。