一种吸附式半导体加工用防偏移的载物台的制作方法

[0001]
本发明涉及半导体技术领域，具体为一种吸附式半导体加工用防偏移的载物台。


背景技术：

[0002]
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制工艺的成本。
[0003]
一般探针台在利用探针对导体芯片进行操作时，需要人为事先将导体芯片放于放置台面上，这样不能精确保证芯片放置位置，需要多次调整，且在操作过程中可能会导致芯片位置偏移，此外人为不断拿取芯片，必定会花费更多的时间，费时费力，从而影响到探针探测导体芯片的效率，鉴于此，我们提出一种吸附式半导体加工用防偏移的载物台用于解决上述问题。


技术实现要素：

[0004]
本发明的目的在于提供一种吸附式半导体加工用防偏移的载物台，以解决上述背景技术中提出的问题。
[0005]
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种吸附式半导体加工用防偏移的载物台，包括底座，所述底座上固定安装有安装罩，且安装罩为开口朝上的u形罩，所述安装罩前后侧内罩壁两侧均转动安装有转轴，且四个转轴上均固定套设有辊轮，前后侧中位于同侧的两个所述转轴套设有同一传送带，且两个传送带上固定安装有同一固定座，所述固定座沿两个传送带均呈阵列状等距离分布，且固定座上安装有滑座，所述滑座上固定套设有橡胶套，且橡胶套上吸附有芯片，所述橡胶套内套壁上固定安装有网架，且网架上固定安装有信号接收模块，所述安装罩一侧内罩壁两端均转动安装有转动气筒，且两个转动气筒上套设有同一环带，所述转动气筒上安装有出气插头，所述环带内设有导气腔，且环带内腔壁上固定安装有密封环垫，所述密封环垫上设有气孔，且气孔沿密封环垫呈阵列状等距离分布，所述环带正对气孔的带面上设有插口，所述安装罩内罩壁上固定安装有成对吸气机，且两个吸气机吸气端分别和两个转动气筒筒腔相连通，所述环带上连通有导气管，且导气管沿环带呈阵列状等距离分布，所述伸缩器管远离环带的一端固定于相邻橡胶套上，所述安装罩好两外侧罩壁上均固定安装有第一液压缸，两个所述第一液压缸自由端均延伸至安装罩罩腔内，且两个延伸端分别固定安装有推板，所述安装罩两侧边顶端固定安装有同一顶板，且顶板上固定安装有第二液压缸，所述第二液压缸自由端固定安装有升降板，且升降板上固定安装有探测针和观测台，所述升降板上转动安装有转动架，且转动架上固定安装有信号发射模块，所述安装罩上固定安装有上架，且上架上固定安装有进料带和进料导盒，所述进料导盒底盒壁上设有出料口，所述安装罩上固定安装有下架，且下架上固定安装有出料导盒和出料带。
[0006]
优选的，所述固定座为开口朝上的u形座，且固定座两内侧壁上均设有滑槽，滑座
两端分别延伸至两个滑槽内，且可沿相应滑槽内槽壁滑动。
[0007]
优选的，所述安装罩两侧罩壁上均设有安装腔，且两个安装腔内均设有主动齿轮和从动齿轮，相邻所述转轴延伸至安装腔内，且主动齿轮套设于转轴延伸端上，所述安装罩两外罩壁上均固定安装有第一电机，且两个第一电机输出端分别和两个转轴延伸端固定连接，所述安装腔内腔壁上转动安装有转柱，且转柱固定连接于相邻转动气筒上，所述从动齿轮固定套设于转柱上，且主动齿轮和从动齿轮相啮合。
[0008]
优选的，所述吸气机吸气端连通有吸气管，所述转动气筒上设有气口，且吸气管远离吸气机的一端贯穿气口。
[0009]
优选的，所述升降板上设有u形口，且u形口内口壁上转动安装有转杆所述转杆上固定套设有转动架，所述升降板外侧端固定安装有第二电机，且第二电机输出端和转杆固定连接。
[0010]
优选的，所述转动气筒筒壁上设有安装口，且安装口内口壁上固定安装有出气插头，所述出气插头呈锥形头状，且出气插头沿转动气筒呈环形阵列状分布。
[0011]
优选的，所述导气管为弹性伸缩管，且导气管上安装有电磁阀。
[0012]
优选的，所述进料带出料端正对进料导盒进料口端，且出料导盒出料端正对出料带进料端。
[0013]
优选的，所述进料导盒和出料导盒均为弹性盒，且进料导盒和出料导盒的进料端均呈扩张式开敞状。
[0014]
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
[0015]
本装置通过在安装罩上安装成对传送带，且在成对传送带上设联动的呈整列状分布的放置芯片的放置机构，在安装罩左右侧端分设进料机构和出料机构，可自动对芯片进行导入和导出，放置机构包括安装有吸附结构的可调整前后位置的滑座，这样可自动将导体芯片依次导于各个放置机构上，且能精确保证芯片放置位置，不需要多次调整，且在操作过程中不可能会导致芯片位置偏移，自动拿取芯片，省时省力，从而保证探针探测导体芯片的效率。
附图说明
[0016]
图1为本发明正面剖视图；
[0017]
图2为本发明俯视时安装罩内布置结构示意图；
[0018]
图3为本发明转动气筒和吸气机连接结构示意图；
[0019]
图4为图1中a结构放大示意图；
[0020]
图5为图1中b结构放大示意图；
[0021]
图6为图1中c结构放大示意图。
[0022]
图中：1底座、2安装罩、3转轴、4辊轮、5传送带、6第一电机、7固定座、8滑座、9芯片、10导气管、11主动齿轮、12转柱、13从动齿轮、14转动气筒、15吸气管、16吸气机、17环带、18第一液压缸、19推板、20橡胶套、21上架、22进料带、23进料导盒、24下架、25出料导盒、26出料带、27第二液压缸、28顶板、29升降板、30第二电机、31转杆、32转动架、33信号发射模块、34探测针、35观测台、36出气插头、37网架、38信号接收模块、39密封环垫。
具体实施方式
[0023]
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0024]
请参阅图1-6，一种吸附式半导体加工用防偏移的载物台，包括底座1，底座1上固定安装有安装罩2，且安装罩2为开口朝上的u形罩，安装罩2前后侧内罩壁两侧均转动安装有转轴3，且四个转轴3上均固定套设有辊轮4，前后侧中位于同侧的两个转轴3套设有同一传送带5，且两个传送带5上固定安装有同一固定座7，固定座7沿两个传送带5均呈阵列状等距离分布，且固定座7上安装有滑座8，固定座7为开口朝上的u形座，且固定座7两内侧壁上均设有滑槽，滑座8两端分别延伸至两个滑槽内，且可沿相应滑槽内槽壁滑动，这样可沿着固定座7前后滑动滑座8，调整滑座8前后位置。
[0025]
滑座8上固定套设有橡胶套20，且橡胶套20上吸附有芯片9，橡胶套20内套壁上固定安装有网架37，且网架37上固定安装有信号接收模块38，安装罩2一侧内罩壁两端均转动安装有转动气筒14，且两个转动气筒14上套设有同一环带17，安装罩2两侧罩壁上均设有安装腔，且两个安装腔内均设有主动齿轮11和从动齿轮13，相邻转轴3延伸至安装腔内，且主动齿轮11套设于转轴3延伸端上，安装罩2两外罩壁上均固定安装有第一电机6，且两个第一电机6输出端分别和两个转轴3延伸端固定连接，安装腔内腔壁上转动安装有转柱12，且转柱12固定连接于相邻转动气筒14上，从动齿轮13固定套设于转柱12上，且主动齿轮11和从动齿轮13相啮合，启动第一电机6，主动齿轮11带动从动齿轮13转动，此时转轴3和转动气筒14同时转动，这样传送带5和环带17同步转动。
[0026]
转动气筒14上安装有出气插头36，转动气筒14筒壁上设有安装口，且安装口内口壁上固定安装有出气插头36，出气插头36呈锥形头状，且出气插头36沿转动气筒14呈环形阵列状分布，在转动气筒14转动时，使出气插头36依次贯穿各个插口，且依次插于各个气孔内
[0027]
环带17内设有导气腔，且环带17内腔壁上固定安装有密封环垫39，密封环垫39上设有气孔，且气孔沿密封环垫39呈阵列状等距离分布，环带17正对气孔的带面上设有插口，安装罩2内罩壁上固定安装有成对吸气机16，且两个吸气机16吸气端分别和两个转动气筒14筒腔相连通，吸气机16吸气端连通有吸气管15，转动气筒14上设有气口，且吸气管15远离吸气机16的一端贯穿气口，这样在保证吸气管15和转动气筒14筒腔相连通的同时，也不会影响转动气筒14沿着吸气管15自转。
[0028]
环带17上连通有导气管10，且导气管10沿环带17呈阵列状等距离分布，导气管10为弹性伸缩管，且导气管10上安装有电磁阀，控制电磁阀以控制导气管10是否通气。
[0029]
伸缩器管10远离环带17的一端固定于相邻橡胶套20上，安装罩好2两外侧罩壁上均固定安装有第一液压缸18，两个第一液压缸18自由端均延伸至安装罩2罩腔内，且两个延伸端分别固定安装有推板19，安装罩2两侧边顶端固定安装有同一顶板28，且顶板28上固定安装有第二液压缸27，第二液压缸27自由端固定安装有升降板29，且升降板29上固定安装有探测针34和观测台35，升降板29上转动安装有转动架32，且转动架32上固定安装有信号发射模块33，升降板29上设有u形口，且u形口内口壁上转动安装有转杆31转杆31上固定套
设有转动架32，升降板29外侧端固定安装有第二电机30，且第二电机30输出端和转杆31固定连接，启动第二电机30可使转动架32转动，从而可调整信号发射模块33位置。
[0030]
安装罩2上固定安装有上架21，且上架21上固定安装有进料带22和进料导盒23，进料导盒23底盒壁上设有出料口，安装罩2上固定安装有下架24，且下架24上固定安装有出料导盒25和出料带26，进料带22出料端正对进料导盒23进料口端，且出料导盒25出料端正对出料带26进料端，进料导盒23和出料导盒25均为弹性盒，且进料导盒23和出料导盒25的进料端均呈扩张式开敞状。
[0031]
工作原理：进料带22启动时，带面上芯片9落于进料导盒23内，此时会同步启动第一电机6，传送带5和环带17同时转动，进料导盒23内物料会从出料口一侧端，此时吸气机16开启状态，且除最左侧的导气管10上开关阀关闭，其他导气管10均处于打开状态，这样在吸附力作用下，芯片9依次吸附于各个橡胶套20上，当载有芯片9的橡胶套20处于信号发射模块33正对下侧端时，信号发射模块33将信号发射，信号接收模块38接收信号，接收到二者之间的间距，然后和设定的间距值对比，然后外端控制设备启动两个第一液压缸18，对相应的固定座7上滑座8进行前后位置调整，使实际的信号发射模块33和信号接收模块38的间距和设定间距对应，这样精确芯片位置，然后启动第二电机30使转动架32转动，移开信号发射模块33，启动第二液压缸27，使探测针24抵于芯片9上进行操作，且通过观测台进行观测，操作完成的吸附有芯片9的固定座7转动至处于出料导盒25上侧端时，相应固定座7上导气管10的电磁阀关闭，使吸气效果消失，芯片9掉落于出料导盒25内，然后落于出料带26上输送走。
[0032]
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。