1.一种气体检测器设备,包括:
在基板上形成的多个高莱探测器,其中多个高莱探测器中的每个高莱探测器包括:
麦克风(102),具有带有用于接收声音的声音收集孔(108)的前表面(104);
气腔(112),形成在基板(110)中,使得气腔(112)与声音收集孔(108)气体连通并且所述前表面(104)形成气腔(112)的侧表面;
其中气腔包括填充气体,该填充气体包括氢气、氩气、氮气、氪气、氙气、碳氢化合物、碳氟化合物中的一个或多个;
其中气腔(112)被密封,使得一旦气腔(112)被密封,则环境气体不能进入气腔(112);和
窗口(114),邻接基板(110)以形成气腔(112)的侧表面。
2.根据权利要求1所述的气体检测器设备,其中多个高莱探测器中的第一高莱探测器中的第一气体具有与多个高莱探测器中的第二高莱探测器中的第二气体不同的成分。
3.根据权利要求1所述的气体检测器设备,其中多个高莱探测器中的第一高莱探测器中的第一气体具有与多个高莱探测器中的第二高莱探测器中的第二气体相同的成分。
4.根据权利要求1所述的气体检测器设备,其中多个高莱探测器中的第一高莱探测器中的第一气体是多个气体的混合物。
5.根据权利要求1所述的气体检测器设备,其中多个高莱探测器被配置为同时感测多个气体。
6.根据权利要求1所述的气体检测器设备,其中窗口对于不在特定波长范围内的所有光是不透明的。
7.根据权利要求1所述的气体检测器设备,其中气腔在其中仅具有特定的气体集合。
8.根据权利要求1所述的气体检测器设备,还包括至少一个光源(224)。
9.根据权利要求8所述的气体检测器设备,其中至少一个光源被配置为引导光到多个高莱探测器中的每一个。
10.根据权利要求1所述的气体检测器设备,其中麦克风(102)与周围环境隔离。