一种光学镜片曲面半径测量装置的制作方法

文档序号:22340093发布日期:2020-09-25 18:12阅读:238来源:国知局
一种光学镜片曲面半径测量装置的制作方法

本实用新型涉及镜片测量技术领域,特别是涉及一种光学镜片曲面半径测量装置。



背景技术:

光学镜片的曲率半径是一项重要的功能参数,对激光设备的整机设计有着基础性作用。针对这一参数,目前的测量技术主要使用球径仪,或者激光干涉仪进行测量。采用球径仪测量是一种间接的测量方式,其测量精度比较低,不能满足高精度零件的规格需求。采用激光干涉仪进行测量,测量精度能够达到nm级别,精度满足要求。

采用激光干涉仪进行测量时,镜片固定方式目前技术都采取三爪自定心夹具夹持镜片柱面的夹持方式,虽操作方便,但三爪自定心夹具夹持镜片对光学镜片的柱面厚度有要求,低于3mm边厚的光学镜片夹持不住,容易崩出,损伤零件;同时对光学镜片的直径也有一定要求,太小直径的光学镜片(直径≤10mm)无法夹持;且自定心夹具夹持时的夹力对光学镜片,尤其厚度/直径比<1/11的光学镜片,容易产生形变,影响测量结果。



技术实现要素:

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种光学镜片曲面半径测量装置,能够快速夹取光学镜片,适用于夹取小直径镜片和边厚薄镜片,避免其表面损伤。

为达到上述目的,本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:

一种光学镜片曲面半径测量装置,包括:气压阀门、夹具组件和激光干涉仪;所述夹具组件设置为中空结构,所述夹具组件通过所述气压阀门与空气压缩装置连接;所述夹具组件包括连接夹具、固定夹具和曲率夹具,所述连接夹具与曲率夹具通过固定夹具相连接,所述连接夹具与气压阀门通过气管相连接,镜片连接在曲率夹具上,镜片与曲率夹具同轴设置;镜片位于所述激光干涉仪的光轴上。

优选的,所述连接夹具包括连接第一端和连接第二端,所述连接第一端的直径小于所述连接第二端的直径,所述连接第一端与气压阀门相连接,所述连接第二端与固定夹具相连接。

优选的,所述曲率夹具包括支撑块和定位块,所述支撑块的一端伸进所述固定夹具内,所述定位块设置在所述支撑块外一圈,所述定位块与固定夹具抵触连接。

优选的,所述支撑块与镜片接触的一端设置有凹槽,所述凹槽内设置有密封圈。

优选的,所述支撑块的内径为镜片直径的1/3~1/2。

优选的,所述固定夹具包括固定块和连接块,所述连接块连接在所述固定块靠近连接夹具的一端,所述连接块与连接夹具抵触连接,所述固定块与曲率夹具抵触连接;所述连接块的竖截面面积大于所述固定块的竖截面面积,所述连接块和固定块为同轴设置。

优选的,所述固定块与曲率夹具接触的一端设置有凹槽,所述凹槽内设置有密封圈。

优选的,所述连接块的竖截面为多边型。

优选的,所述连接块的竖截面为四边形或六边形。

由于上述技术方案的运用,本实用新型与现有技术相比具有下列有益效果:

提供了一种光学镜片曲面半径测量装置,对夹具组件内的空气进行压缩将镜片吸附在夹具组件上,实现快速夹取光学镜片,适用于夹取小直径镜片和边厚薄镜片,排除了厚度/直径比较小的镜片使用夹持式夹取时受夹力而变形影响的情况,可以很好的保护镜片,避免其表面损伤,使镜片的测量结果更精确。

附图说明

图1是本实用新型一种光学镜片曲面半径测量装置的结构示意图。

图2是本实用新型一种光学镜片曲面半径测量装置中夹具组件的结构示意图。

图3是本实用新型一种光学镜片曲面半径测量装置中夹具组件的爆炸图。

图4是本实用新型一种光学镜片曲面半径测量装置中气压阀门的结构示意图。

附图标记说明:

气压阀门1、进气口11、出气口12;

气管2;

夹具组件3、连接夹具31、连接第一端311、连接第二端312、固定夹具32、固定块321、连接块322、密封圈323、曲率夹具33、支撑块331、定位块332;

激光干涉仪4、三爪夹具41;

镜片5。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述,以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

参阅附图,一种光学镜片曲面半径测量装置,包括:气压阀门1、夹具组件3和激光干涉仪4。镜片5连接在夹具组件3上,夹具组件3与气压阀门1通过气管2相连接,夹具组件3设置为中空结构,夹具组件3通过气压阀门1与空气压缩装置(图中未示出)连接,镜片5位于激光干涉仪4的光轴上,通过激光干涉仪4对镜片5进行曲率测量。通过夹具组件3对镜片5进行固定,镜片5与夹具组件3同轴设置,使得镜片5受到的吸附力均匀,从而在保证能够吸附镜片5的同时避免镜片5因受力不均而损坏。气压阀门1和激光干涉仪4可以选用现有技术中的气压阀门和激光干涉仪,此处不做赘述。

气压阀门1有一个上端进气口11和两个下端出气口12的气阀,进气口11通过气管2和空气压缩装置相连接,两个出气口12分别通过气管2连接到连接夹具31上,并且在其中一个出气口12处接上气压调节阀门,这样其中一个出气口12的气压保证基础的吸力,一个出气口12气压可调节,可以针对不同的待测镜片5通过调节气压大小控制负压的吸力,保证待测镜片5的固定。

夹具组件3包括连接夹具31、固定夹具32和曲率夹具33,连接夹具31与曲率夹具33通过固定夹具32相连接,连接夹具31与固定夹具32、固定夹具32与曲率夹具33之间可以采用螺纹连接。连接夹具31与气压阀门1通过气管2相连接,镜片5与曲率夹具33同轴设置。

连接夹具31包括连接第一端311和连接第二端312,连接第一端311的直径小于连接第二端312的直径,通过连接夹具31两端直径不同配合联结不同尺寸部件,连接第一端311与气压阀门1相连接,连接第二端312与固定夹具32相连接,使负压作用到待测工件上。

曲率夹具33包括支撑块331和定位块332,支撑块331的一端伸进固定夹具32内,定位块332设置在支撑块331外一圈,定位块332与固定夹具32抵触连接。支撑块331的尺寸可以根据待测镜片5的大小来确定,支撑块331的内径为镜片5直径的1/3~1/2。

为了避免支撑块331对镜片5的损坏,支撑块331与镜片5接触的一端设置有凹槽,凹槽内设置有密封圈,密封圈突出凹槽,密封圈可以选用橡胶材质,支撑块331通过密封圈与镜片5接触。

固定夹具32包括固定块321和连接块322,连接块322连接在固定块321靠近连接夹具31的一端,连接块322与连接夹具31抵触连接,固定块321与曲率夹具33抵触连接。连接块322的竖截面面积大于固定块321的竖截面面积,连接块322和固定块321为同轴设置。

为了提高固定块321与曲率夹具33连接处的密封性,固定块321与曲率夹具33接触的一端设置有凹槽,凹槽内设置有密封圈323,保证曲率夹具33安装后不会漏气。

连接块322的竖截面为多边型,可以优选为四边形或六边形,类似与螺母四边形状或螺母六边形状,便于在安装过程中夹具的固定拧紧。

在实际测量过程中,使用气压阀门1的进气口11和气管2相连接获得吸力,通过在气压阀门1进行气压大小的调节,针对不同的尺寸的待测镜片5提供不同的气压获得和零件相符合的压力,再将气管2从气压阀门1上连接到连接夹具31。将连接夹具31连接到固定夹具32上,方便固定夹具32放置在激光干涉仪4配套的三爪夹具41上进行夹取,再将曲率夹具33连接到固定夹具32上,连接处使用密封圈保证密封。然后将待测工件安装在曲率夹具33处,利用空气压缩装置产生负压,使工件吸附在曲率夹具33上,同样使用密封圈保护镜片5的表面和保证密封,再使用激光干涉仪4进行曲率的测量。

以上仅为本实用新型的实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

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