干燥量测模块的制作方法

1.本实用新型涉及一种干燥量测模块，更特别地涉及一种可在测试装置测试同时提供干燥腔室的干燥量测模块。


背景技术：

2.在半导体及精密电子产业的制程当中，经常需要对制作完成的二极管或半导体等电子组件进行通电测试以确保产品的合格率。一般而言，在进行上述通电测试时，会将电子组件的工作环境温度降至一定程度以下，且使承载电子组件的平台保持低温，从而提高组件之间的导电性能。然而，当工作环境温度下降时，空气中的水气容易遇冷并凝结至承载平台上，对测试结果造成影响。目前实际操作上的一般作法，是将安置测试机台的整个厂房通过干燥系统维持一定的干燥度，由此防止水气凝结，但是长时间维持如此庞大空间的干燥度，成本以及能源的消耗都相当庞大可观。


技术实现要素：

3.基于本实用新型的至少一个实施例，本实用新型的干燥量测模块可通过盖体配合干燥气体进气接头注入干燥气体，使得电子组件测试时需要干燥的空间体积大幅缩小，减少成本以及能源的消耗。另一方面，通过穿设于干燥通道的湿度传感器，也能在测试过程中随时监测腔室的实时湿度，进而提升测试过程的质量。
4.本实用新型提供一种干燥量测模块，适用于测试装置以及至少一个电子组件，测试装置通过接触件及基座接触电子组件。干燥量测模块包括盖体、湿度传感器以及干燥气体进气接头。盖体内部具有腔室，其中电子组件配置于腔室。盖体上形成有开口、嵌合口以及干燥通道，开口、嵌合口以及干燥通道连通于腔室，接触件穿设于开口，且基座嵌合于嵌合口；湿度传感器穿设于干燥通道；干燥气体进气接头配置于盖体上且连通于干燥通道。
5.通过上述结构，本实用新型的干燥量测模块可通过盖体配合干燥气体进气接头注入干燥气体，使得电子组件测试时需要干燥的空间体积大幅缩小，减少成本以及能源的消耗。另一方面，通过穿设于干燥通道的湿度传感器，也能在测试过程中随时监测腔室的实时湿度，进而提升测试过程的质量。
6.可选地，干燥量测模块还包括第一光传感器以及第二光传感器，且盖体上还形成有光通孔。第一光传感器配置于盖体上且对应于光通孔，第二光传感器配置于腔室内且对应于电子组件。
7.可选地，干燥量测模块还包括连接件以及定位滑动机构。第一光传感器以及定位滑动机构配置于连接件上，且第一光传感器通过定位滑动机构可滑动地配置于盖体上。
8.可选地，上述的定位滑动机构包括铅直滑动机构以及收光滑动机构。第一光传感器分别通过铅直滑动机构以及收光滑动机构在接触件的移动方向以及光通孔的中心轴方向上相对于盖体滑动。
9.可选地，上述的第一光传感器为积分球，且第二光传感器为光二极管。
10.可选地，上述的干燥通道包括进气通道、排气通道以及贯孔。干燥气体进气接头连接于进气通道，腔室配置于进气通道以及排气通道之间，湿度传感器穿设于贯孔且一部分配置于排气通道上。
11.可选地，上述的测试装置还包括导电件，且导电件暂时性地接触接触件。盖体上还形成有槽部，且导电件穿设于槽部。
12.可选地，干燥量测模块还包括底座以及测试滑动机构。盖体、湿度传感器、干燥气体进气接头以及导电件相对于底座固定且通过测试滑动机构相对于电子组件以及接触件在一个方向上往返移动。
13.可选地，上述的开口在上述方向上的长度大于接触件在上述方向上的长度。
14.可选地，上述的开口为圆形、方形或长条形。
附图说明
15.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中需求要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
16.图1是本实用新型的干燥量测模块的一个实施例的立体示意图；
17.图2是图1所示的盖体的立体示意图；
18.图3是图2的前视示意图；
19.图4是图2另一角度的立体示意图；
20.图5是图3沿着a
‑
a剖面的剖视示意图；
21.图6是图1所示的第一光传感器的示意图；
22.图7是图6沿着b
‑
b剖面的剖视示意图；
23.图8是图1的干燥量测模块与一测试装置共同测试一电子组件时的立体示意图；
24.图9是图8的侧视示意图；
25.图10是图9沿着c
‑
c剖面的剖视示意图；
26.图11是图10中圆形区域的放大示意图；
27.图12是本实用新型的干燥量测模块的另一实施例与另一测试装置共同测试电子组件时的立体示意图；
28.图13是图12所示的盖体的立体示意图；
29.图14是图12的侧视示意图；
30.图15是图14沿着d
‑
d剖面的剖视示意图；
31.图16是图15中圆形区域的放大示意图。
32.附图标记说明：
33.1、1
’ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
干燥量测模块
34.100
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底座
35.110
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基座
36.200、200
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盖体
37.210
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嵌合口
38.300
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湿度传感器
39.400
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第一光传感器
40.500
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第二光传感器
41.600
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干燥气体进气接头
42.700
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连接件
43.800
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定位滑动机构
44.810
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铅直滑动机构
45.820
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收光滑动机构
46.900
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测试滑动机构
47.2、2
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测试装置
48.21、21
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接触件
49.22
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导电件
50.23
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支撑台座
[0051]3ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
电子组件
[0052]
c
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腔室
[0053]
e
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射出孔
[0054]
f
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锁固孔
[0055]
g
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槽部
[0056]
i
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入射孔
[0057]
l、l
’ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
光通孔
[0058]
o、o
’ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
开口
[0059]
p
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干燥通道
[0060]
p
i
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
进气通道
[0061]
p
o
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排气通道
[0062]
t
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贯孔
[0063]
s
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球形空间
[0064]
x
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中心轴
[0065]
a
‑
a、b
‑
b、c
‑
c、d
‑
d
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
剖面
具体实施方式
[0066]
以下将配合附图，更进一步地说明本实用新型实施例的干燥量测模块。
[0067]
有关本实用新型的前述及其它技术内容、特点与功效，在以下配合参考图式的较佳实施例的详细说明中，将可清楚地呈现。值得一提的是，以下实施例所提到的方向用语，例如：上、下、左、右、前或后等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明，而非对本实用新型加以限制。此外，在下列各实施例中，相同或相似的组件将采用相同或相似的标号。
[0068]
请参考图1，图1为本实用新型的干燥量测模块的一个实施例的立体示意图。本实施例的干燥量测模块1包括底座100、盖体200、湿度传感器300以及干燥气体进气接头600，其中盖体200连接于底座100，湿度传感器300穿设于盖体200，且干燥气体进气接头600配置
于盖体200上。
[0069]
请一并参考图2至图5，图2是图1所示的盖体的立体示意图，图3是图 2的前视示意图，图4是图2另一角度的立体示意图，图5是图3沿着a
‑
a剖面的剖视示意图。本实施例的干燥量测模块1适用于测试装置以及至少一个电子组件，用以在测试装置通过接触件及基座测试电子组件时提供干燥环境。具体而言，盖体200内部具有腔室c，且盖体200上形成有嵌合口210、开口o、干燥通道p以及多个锁固孔f，其中嵌合口210用以与电子组件配置的基座嵌合，开口o、干燥通道p以及锁固孔f连通于腔室c，湿度传感器300穿设于干燥通道p，而干燥气体进气接头600连通于干燥通道p。当进行测试时，会先将锁固件穿过锁固孔f从而将盖体200安装于固定平台上，之后会将电子组件配置于腔室c，并且通过干燥气体进气接头600注入氮气、氩气等干燥气体，这些干燥气体会经由干燥通道p注入腔室c，使得腔室c内原本具有水气的空气被挤出盖体200，此时测试装置再通过接触件穿过开口o并接触电子组件，由此得到一个干燥的测试环境。
[0070]
更进一步而言，在本实施例中，电子组件例如是半导体或激光二极管，可通以正向偏压的电动势使其导通或发光，而接触件例如探针，且开口o的大小及形状对应于接触件的大小及形状而呈圆形，可以在测试过程中提供接触件穿设并接触电子组件。为此，干燥量测模块1还包括第一光传感器300、第二光传感器400以及连接件700，且盖体200上还形成有光通孔l，其中第一光传感器300配置于盖体200以及连接件700上且对应于光通孔l，而第二光传感器400配置于腔室c内且对应于电子组件。由此，当电子组件通过测试装置的接触件以及承载平台从上方以及下方分别通电，并由侧边发光时，第一光传感器300可以在前方接收电子组件通过光通孔l的光线，而第二光传感器400 可以在后方接收电子组件其它方向的光线，借以确保电子组件每一个方向的发光能力。
[0071]
另一方面，如图5所示，干燥通道p包括进气通道p
i
、排气通道p
o
以及贯孔t，其中干燥气体进气接头600连接于进气通道p
i
，腔室c配置于进气通道p
i
以及排气通道p
o
之间。由此，干燥气体进气接头600所注入的干燥气体可依次通过进气通道p
i
、腔室c并由排气通道p
o
排出。除此之外，本实施例的湿度传感器300为露点传感器，可侦测传感器端部所接触到的空气温度所对应的露点，当干燥量测模块1配置完成时，湿度传感器300穿设于贯孔t且部分(端部)配置于排气通道p
o
上。由此，当干燥空气经由排气通道p
o
排出时，会接触到湿度传感器300，从而能让使用者实时得知测试环境的湿度变化。
[0072]
请一并参考图6及图7，图6是图1所示的第一光传感器的示意图，图7 是图6沿着b
‑
b剖面的剖视示意图。具体而言，本实施例的第一光传感器400 为积分球，且第二光传感器500为光二极管。当电子组件通电后所发出的光经由光通孔l射出后，将会经由第光传感器400壁面上的入射孔i进入第一光传感器400内部的球形空间s，其中球形空间s内部的壁面是由光反射系数较高的材质所制成，因此光线会在球形空间s内进行多次反射后，再通过射出孔e 射出，从而能让使用者得到亮度充足的稳定光线进行侦测。为了能让光通孔l 射出的光线尽数被第一光传感器400撷取收集，干燥量测模块1还包括定位滑动机构800，其中定位滑动机构800配置于连接件700上，且第一光传感器400 通过定位滑动机构800可滑动地配置于盖体200上。
[0073]
请参考图8至图11，图8是图1的干燥量测模块与一测试装置共同测试一电子组件时的立体示意图，图9是图8的侧视示意图，图10是图9沿着c
‑
c 剖面的剖视示意图，图11是
图10中圆形区域的放大示意图。如图8及图9所示，测试装置2包括接触件21、导电件22以及支撑台座23，且测试装置2通过支撑台座23固定于工作平台上，接触件21可相对于支撑台座23在铅直方向上移动，而导电件22暂时性地接触接触件21。
[0074]
如图2、图5及图8所示，盖体200上还形成有槽部g，且导电件22穿设于槽部g。更进一步而言，干燥量测模块1还包括测试滑动机构900(例如是线性马达驱动的滑动平台，或油压缸或气压缸驱动的滑动平台)，其中盖体 200、湿度传感器300、干燥气体进气接头600以及导电件22相对于底座100 固定，且可通过测试滑动机构900相对于电子组件3以及接触件21在图8的箭头方向往返移动，具体而言，盖体200通过嵌合口210与底座100上的基座 110嵌合，因此两者可保持同步移动。由此，当测试装置2的接触件21如图 11所示穿过开口o进而抵接电子组件3后，基座110、盖体200、湿度传感器 300、干燥气体进气接头600以及导电件22可通过测试滑动机构900的驱动朝图8中的右方滑动，使得导电件22在移动过程中与接触件21彼此接触，从而形成电性连接导通电流对电子组件3进行测试。
[0075]
另一方面，如图9所示，定位滑动机构800包括铅直滑动机构810以及收光滑动机构820，其中铅直滑动机构810以及收光滑动机构820各为一组成对的线性滑块与滑轨，铅直滑动机构810连接于底座100以及连接件700之间，而收光滑动机构820连接于第一光传感器400以及连接件700之间。由此，第一光传感器400分别通过铅直滑动机构810以及收光滑动机构820在接触件 21的移动方向以及光通孔l的中心轴x方向上相对于盖体200滑动，以使第一光传感器400的入射孔i能随时对准光通孔l移动。
[0076]
请参考图12至图16，图12为本实用新型的干燥量测模块的另一实施例与另一测试装置共同测试电子组件时的立体示意图，图13是图12所示的盖体的立体示意图，图14是图12的侧视示意图，图15是图14沿着d
‑
d剖面的剖视示意图，图16是图15中圆形区域的放大示意图。本实施例的干燥量测模块1’与图1的干燥量测模块1大致相似，两者主要的差异在于：干燥量测模块1’的盖体200’上的开口o’为长条形，且光通孔l’也为对应的长条形。
[0077]
具体而言，在本实施例中，进行测试的电子组件3并非单一的半导体晶粒或二极管晶粒，而是一条形成有多个二极管晶粒的二极管晶粒条。为了能一次对这多个二极管晶粒进行测试，测试装置2’的接触件21’呈长条形且包括多个探针，且如图15所示，开口o’在测试移动机构900移动方向上的长度大于接触件21’在上述方向上的长度，因此在滑动过程中盖体200’可以自由地相对于接触件21’以及电子组件3滑移而不会与其发生碰撞。值得一提的是，在其它的实施例中，开口o’除了圆形、长条形之外，也可以是方形、椭圆形或其它对应于接触件21’的形状，只要能容许接触件21’在铅直方向上下降以及上升，并且在滑动过程中与接触件21’以及电子组件3均保持适当的距离，本实用新型对此不加以限制。
[0078]
综上所述，本实用新型实施例所提供的一种干燥量测模块，可通过盖体配合干燥气体进气接头注入干燥气体，使得电子组件测试时需要干燥的空间体积大幅缩小，减少成本以及能源的消耗。另一方面，通过穿设于干燥通道的湿度传感器，也能在测试过程中随时监测腔室的实时湿度，进而提升测试过程的质量。
[0079]
以上所述仅为本实用新型的实施例，其并非用以局限本实用新型的专利范围。