一种半导体检测用光学显微镜的制作方法

本实用新型属于半导体检测技术领域，更具体地说，特别涉及一种半导体检测用光学显微镜。

背景技术：

半导体，物质存在的形式多种多样，固体、液体、气体、等离子体等等。我们通常把导电性差的材料，如煤、人工晶体、琥珀、陶瓷等称为绝缘体。而把导电性比较好的金属如金、银、铜、铁、锡、铝等称为导体。可以简单的把介于导体和绝缘体之间的材料称为半导体。与导体和绝缘体相比，半导体材料的发现是最晚的，直到20世纪30年代，当材料的提纯技术改进以后，半导体的存在才真正被学术界认可。

申请号：cn201921620114.0的专利中，本实用新型公开了半导体检测用光学显微镜，包括底座，在底座上固定有立柱和放置半导体的工作台，工作台位于立柱一侧.工作台上凹设有光源腔，光源腔内设置有检测光源，光源腔开口处设置有用于将检测光源的光线充分散射的折射板。光源腔四周环绕设置有若干压紧半导体的固定装置，固定装置包括手柄、固定座、连杆和压紧块，固定座可拆卸固定在工作台上，连杆可相对固定座上下翻转，连杆一端与手柄连接，另一端与压紧块固结。立柱上设置有可沿其上下滑动的定位架，定位架上固定有光学显微镜，光学显微镜的目镜螺纹连接有ccd相机，光学显微镜的物镜朝向折射板。固定装置结构简单，可对半导体进行快速定位，方便半导体检测。

基于上述，现有的半导体检测用显微镜整体在夹具位置处无法适用不同大小形状的半导体工件，且在观测半导体的某一处时无法进行角度上的调节，造成观测精度差的问题。

于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提供一种半导体检测用光学显微镜，以期达到更具有更加实用价值性的目的。

技术实现要素：

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种半导体检测用光学显微镜，以解决现有半导体检测用显微镜整体在夹具位置处无法适用不同大小形状的半导体工件，且在观测半导体的某一处时无法进行角度上的调节，造成观测精度差的问题。

本实用新型半导体检测用光学显微镜的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：

一种半导体检测用光学显微镜，包括底座结构；所述底座结构的前端处安装有调节结构，且调节结构上设置有平衡结构；所述平衡结构上设有观测台结构；所述底座结构上处安装有防护结构；所述底座结构包括立柱，固定座，调节台，所述固定座中间位置设置有立柱，且立柱横截面为矩形形状，调节台直接套接在垂直的立柱上，调节台末端处套接有电子显微镜。

进一步的，所述调节结构包括连接板，丝杆，螺母块，所述连接板直接设置在固定座的前端处，且固定座与连接板接触位置转动安装有丝杆，丝杆的两端均设置有旋钮，连接板与固定座接触位置的中间处设置有螺母块，螺母块套接在丝杆上。

进一步的，所述平衡结构包括安装头，支撑柱，连接套，主支柱，所述主支柱安装在连接板的中间，且连接板与主支柱之间为焊接固定，主支柱顶部固定在连接套内，主支柱的外侧设置有四处安装头，且每处安装头上均铰接安装有支撑柱，支撑柱采用伸缩结构，且每处支撑柱的顶端均安装在连接套内，连接套套接处为球形形状。

进一步的，所述防护结构包括外罩，灯块，所述外罩直接安装在物镜处外部，外罩整体成半圆球形状，且外罩的内部设置有灯块。

进一步的，所述防护结构还包括有海绵垫，所述海绵垫设置在外罩的末端处，且外罩的内部涂抹有反光涂层。

进一步的，所述观测台结构包括观测板，透光板，灯板，所述观测板的中间位置开设有一处矩形槽，且矩形槽设为双层结构，内层矩形槽安装有灯板，紧贴灯板的外层矩形槽上铺设有一面透光板。

进一步的，所述观测台结构还包括有滑动杆，滑动板，安装板，辅助板，压板，所述滑动杆设置在观测板的前后两端，且滑动板安滑动安装在滑动杆上，滑动板上通过螺柱固定有安装板，且安装板内套接安装有辅助板，辅助板呈l形状，辅助板外侧的末端安装带有弹簧的压板。

进一步的，所述观测台结构还包括有夹具，压块，所述夹具铰接安装在安装板上，且夹具铰接处外侧设有三组弹簧，夹具向内部延伸处卡接固定有压块，且压块的下端面接触位置设置为橡胶板。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

调节结构的设置，为了能够实现在检测观测中增大所观测的范围，将固定座与连接板直接设置为相互分离的状态，将一根丝杆转动安装在固定座前端，而连接板上的螺母块则套接在丝杆上，从而只要直接转动丝杆，就能够使得丝杆带动螺母块将整个连接板进行运动，实现调节的目的，通常在检测工作会直接在观测台结构上进行，从而需要一些不同的角度来进行对半导体的检测，首先将主支柱直接焊接固定，实现了将观测台结构进行支撑的作用，且主支柱外侧位置的四处支撑柱将观测台结构的四角位置直接撑起，通常状态观测台结构为平衡形态，在需要多角度观测时，只需要轻微晃动观测台结构整体即可，因为支撑柱采用伸缩结构，且顶端通过球状连接套固定，从而更好实现对观测台结构多角度调节目的。

防护结构的设置，通常状态下被检测工件均不具有较为良好的观测效果，因为半导体的整体透光效果不佳，从而需要将靠近显微镜物镜的位置外端加装外罩，外罩上的灯块能够给被观测工件进行一次补光，从而增加了被检测工件的精准性，在检测工件时外罩为直接包裹套在被检测件的外部，整体呈球形的外罩能够起到对被检测件的防护效果，且外罩末端的海绵垫能够有效的与工件接触，且又不会损害到工件。

观测台结构的设置，首先观测板为放置被检测工件使用，当观测工件的多个角度时，为了能够让工件不会发生滑动现象，将滑动板通过两根滑动杆安装在观测板上，观测板上的滑动块上所固定安装板内部安装有辅助板，呈l形状的辅助板能够与末端的压板配合，将被检测件进行位置的固定，让固定后的工件在观测时不会发生晃动，被检测的半导体属于较为精密的工件，在将工件夹紧时，所接触端不能够对工件造成损伤，从而将夹具处安装的压块设为橡胶接触面，实现保护工件的目的，同时夹具与压块之间为相互卡接且能够任意拆卸，使得夹具能够根据不同的情况安装不同形状的压块。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的调节结构示意图。

图3是本实用新型的防护结构示意图。

图4是本实用新型的平衡结构示意图。

图5是本实用新型的观测台结构示意图。

图6是本实用新型的观测台内部结构示意图。

图7是本实用新型的图5中a处局部放大结构示意图。

图中，部件名称与附图编号的对应关系为：

1、底座结构；101、立柱；102、固定座；103、调节台；2、调节结构；201、连接板；202、丝杆；203、螺母块；3、平衡结构；301、安装头；302、支撑柱；303、连接套；304、主支柱；4、防护结构；401、外罩；402、灯块；403、海绵垫；5、观测台结构；501、观测板；502、透光板；50201、灯板；503、滑动杆；504、滑动板；505、安装板；506、辅助板；50601、压板；507、夹具；50701、压块。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。

在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例：

如附图1至附图7所示：

本实用新型提供一种半导体检测用光学显微镜，包括底座结构1；底座结构1的前端处安装有调节结构2，且调节结构2上设置有平衡结构3；平衡结构3上设有观测台结构5；底座结构1上处安装有防护结构4；底座结构1包括立柱101，固定座102，调节台103，固定座102中间位置设置有立柱101，且立柱101横截面为矩形形状，调节台103直接套接在垂直的立柱101上，调节台103末端处套接有电子显微镜。

其中，调节结构2包括连接板201，丝杆202，螺母块203，连接板201直接设置在固定座102的前端处，且固定座102与连接板201接触位置转动安装有丝杆202，丝杆202的两端均设置有旋钮，连接板201与固定座102接触位置的中间处设置有螺母块203，螺母块203套接在丝杆202上。

其中，平衡结构3包括安装头301，支撑柱302，连接套303，主支柱304，主支柱304安装在连接板201的中间，且连接板201与主支柱304之间为焊接固定，主支柱304顶部固定在连接套303内，主支柱304的外侧设置有四处安装头301，且每处安装头301上均铰接安装有支撑柱302，支撑柱302采用伸缩结构，且每处支撑柱302的顶端均安装在连接套303内，连接套303套接处为球形形状。

其中，防护结构4包括外罩401，灯块402，外罩401直接安装在物镜处外部，外罩401整体成半圆球形状，且外罩401的内部设置有灯块402。

其中，防护结构4还包括有海绵垫403，海绵垫403设置在外罩401的末端处，且外罩401的内部涂抹有反光涂层。

其中，观测台结构5包括观测板501，透光板502，灯板50201，观测板501的中间位置开设有一处矩形槽，且矩形槽设为双层结构，内层矩形槽安装有灯板50201，紧贴灯板50201的外层矩形槽上铺设有一面透光板502。

其中，观测台结构5还包括有滑动杆503，滑动板504，安装板505，辅助板506，压板50601，滑动杆503设置在观测板501的前后两端，且滑动板504安滑动安装在滑动杆503上，滑动板504上通过螺柱固定有安装板505，且安装板505内套接安装有辅助板506，辅助板506呈l形状，辅助板506外侧的末端安装带有弹簧的压板50601。

其中，观测台结构5还包括有夹具507，压块50701，夹具507铰接安装在安装板505上，且夹具507铰接处外侧设有三组弹簧，夹具507向内部延伸处卡接固定有压块50701，且压块50701的下端面接触位置设置为橡胶板。

本实施例的具体使用方式与作用：

本实用新型中，为了能够实现在检测观测中增大所观测的范围，将固定座102与连接板201直接设置为相互分离的状态，将一根丝杆202转动安装在固定座102前端，而连接板201上的螺母块203则套接在丝杆202上，从而只要直接转动丝杆202，就能够使得丝杆202带动螺母块203将整个连接板201进行运动，实现调节的目的，通常在检测工作会直接在观测台结构5上进行，从而需要一些不同的角度来进行对半导体的检测，首先将主支柱304直接焊接固定，实现了将观测台结构5进行支撑的作用，且主支柱304外侧位置的四处支撑柱302将观测台结构5的四角位置直接撑起，通常状态观测台结构5为平衡形态，在需要多角度观测时，只需要轻微晃动观测台结构5整体即可，因为支撑柱302采用伸缩结构，且顶端通过球状连接套303固定，从而更好实现对观测台结构5多角度调节目的，通常状态下被检测工件均不具有较为良好的观测效果，因为半导体的整体透光效果不佳，从而需要将靠近显微镜物镜的位置外端加装外罩401，外罩401上的灯块402能够给被观测工件进行一次补光，从而增加了被检测工件的精准性，在检测工件时外罩401为直接包裹套在被检测件的外部，整体呈球形的外罩401能够起到对被检测件的防护效果，且外罩401末端的海绵垫403能够有效的与工件接触，且又不会损害到工件，首先观测板501为放置被检测件使用，当观测工件的多个角度时，为了能够让工件不会发生滑动现象，将滑动板504通过两根滑动杆503安装在观测板501上，观测板501上的滑动块上所固定安装板505内部安装有辅助板506，呈l形状的辅助板506能够与末端的压板50601配合，将被检测件进行位置的固定，让固定后的工件在观测时不会发生晃动，被检测的半导体属于较为精密的工件，在将工件夹紧时，所接触端不能够对工件造成损伤，从而将夹具507处安装的压块50701设为橡胶接触面，实现保护工件的目的，同时夹具507与压块50701之间为相互卡接且能够任意拆卸，使得夹具507能够根据不同的情况安装不同形状的压块50701。

本实用新型的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。