薄膜渗透检测的多腔测试结构及系统的制作方法

文档序号:25816790发布日期:2021-07-09 14:08阅读:76来源:国知局
薄膜渗透检测的多腔测试结构及系统的制作方法

1.本实用新型涉及薄膜渗透检测技术领域,特别涉及一种薄膜渗透检测的多腔测试结构及系统。


背景技术:

2.本部分的陈述仅仅是提供了与本实用新型相关的背景技术,并不必然构成现有技术。
3.在进行薄膜渗透检测时,需要对设备进行预热、试样前处理等,因此整个测试过程时间会比较长。为提高测试效率一般会在同一个设备上设置多个试验腔同时进行测试。
4.本实用新型发明人发现,目前的多腔测试设备中,多个试验腔一般采用水平并列排布或垂直并列排列排布放置。这些结构占用空间较大,试验操作不方便,且不利于温度和湿度的控制;同时,薄膜渗透检测需要在一定的温度、湿度、压力、流量等特定的环境下检测薄膜的透过性能,温度、湿度、压力、流量的精确度和稳定性对测试结果的影响很大,目前的多个试验腔排布的结构方式会使多个试验腔产生较大的温度差和湿度差,从而导致多个试验腔之间的试验数据产生较大的误差。


技术实现要素:

5.为了解决现有技术的不足,本实用新型提供了一种薄膜渗透检测的多腔测试结构及系统,能够保证试验腔的温度、湿度和流量的稳定性,从而保证试验数据的准确性,且结构简单、紧凑、操作方便。
6.为了实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:
7.本实用新型第一方面提供了一种薄膜渗透检测的多腔测试结构。
8.一种薄膜渗透检测的多腔测试结构,包括至少一组测试单元,每组测试单元包括对称设置的两个测试腔体,每个测试腔体与固定用底面之间呈预设锐角。
9.作为可能的一些实现方式,多组测试单元依次并排平行设置。
10.作为可能的一些实现方式,测试腔体包括第一测试腔体和第二测试腔体,第一测试腔体与第二测试腔体之间用于放置待测样品;
11.第一测试腔体上设有至少一个试验气体管路接口,第二测试腔体上设有至少一个检测管路接口。
12.作为进一步的限定,测试腔体还包括压紧机构,压紧机构的动端与第一测试腔体的外侧壁接触或固定。
13.作为进一步的限定,第一测试腔体与固定用底面上的固定件活动连接。
14.作为进一步的限定,第二测试腔体与固定用底面之间呈预设锐角,且每个第二测试腔体与固定用底面通过第一连接件固定连接。
15.作为进一步的限定,第二测试腔体通过固定件固定在固定用底面上。
16.作为进一步的限定,待测样品通过试样夹持装置夹持,试样夹持装置包括均开有
通孔的托盘、磁性垫板和铁磁性压板,沿托盘通孔的外周开有凹槽,磁性垫板固定设置在凹槽内;
17.铁磁性压板被配置为将试样夹持在铁磁性压板与磁性垫板之间,托盘、磁性垫板和铁磁性压板的通孔同轴配置。
18.作为进一步的限定,待测样品通过试样夹持装置夹持,试样夹持装置包括均开有通孔的托盘、磁性垫板和铁磁性压板,沿托盘通孔的外周开有凹槽,铁磁性压板固定设置在托盘的凹槽内;
19.磁性垫板被配置为将试样夹持在磁性垫板与铁磁性压板之间,托盘、磁性垫板和铁磁性压板的通孔同轴配置。
20.作为进一步的限定,第二测试腔体与固定用底面之间呈预设锐角,且每组测试单元中的两个第二测试腔体之间通过第二连接件固定连接。
21.作为更进一步的限定,每组测试单元中的两个第二测试腔体的远离固定用底面的一端的延长线相交。
22.作为更进一步的限定,每组测试单元中的两个第二测试腔体的朝向固定用底面的一端的延长线相交。
23.作为进一步的限定,第一测试腔体和/或第二测试腔体内设有至少一条液体循环管道,第一测试腔体和/或第二测试腔体通过液体循环管道接口与恒温液体供给装置连通。
24.本实用新型第二方面提供了一种薄膜透过率测试系统,包括本实用新型第一方面所述的薄膜渗透检测的多腔测试结构。
25.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
26.1、本实用新型提供的多腔测试结构及系统,通过将测试腔体设置为与固定用底面呈预设角度且并排的设置多组,使得结构上更紧凑,空间利用率高,且能够实现多个测试样品的同批次同条件下的检测,极大的提高了测试结果的稳定性。
27.2、本实用新型提供的多腔测试结构及系统,测试腔与固定用底面的夹角成锐角,方便进行放样和取样操作,使得操作更方便。
28.3、本实用新型提供的多腔测试结构及系统,测试腔与固定用底面呈一定角度,两个测试腔之间和外侧有较大的空间,能够用于形成风道,更易于试验腔的温度和湿度控制。
29.4、公开提供的多腔测试结构及系统,通过设置液体循环管道,能够实现恒温液体在测试腔体内的循环,通过空气控温和水浴联合控温,温度控制更加准确和均匀,进一步的提高了渗透测试结果的准确性。
附图说明
30.构成本实用新型的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。
31.图1为本实用新型实施例1提供的薄膜渗透检测的多腔测试结构的测试单元结构示意图。
32.图2为本实用新型实施例1提供的薄膜渗透检测的多腔测试结构示意图。
33.图3为本实用新型实施例3提供的薄膜渗透检测的多腔测试结构的测试单元结构
示意图。
34.图4为本实用新型实施例3提供的薄膜渗透检测的多腔测试结构示意图。
35.图5为本实用新型实施例5提供的薄膜渗透检测系统的侧视图。
36.图6为本实用新型实施例5提供的薄膜渗透检测系统的后视图。
37.图7为本实用新型实施例6提供的试样夹持装置的结构示意图。
38.图8为本实用新型实施例6提供的试样夹持装置的装配示意图。
39.图9为本实用新型实施例7提供的试样夹持装置的结构示意图。
40.图10为本实用新型实施例7提供的试样夹持装置的装配示意图。
41.100、测试腔;101、压紧机构;102、测试上腔;103、测试样品;104、测试下腔;105、测试上腔循环水接头;106、测试下腔循环水接头;107、测试上腔气路接头;108、测试下腔气路接头;109、固定座;201、横梁。
42.1、上盖;2、铰链;3、第一温控器;4、气缸;5、气缸架;6、第二温控器;7、隔温板;8、第三温控器;9、后保温板;10、下腔;11、底脚;12、传感器;13、计算机终端;14、管道;15、测试腔体机构;16、光线接收器;17、光线发射器;18、压板;19、试样;20、磁性垫板;21、托盘。
具体实施方式
43.下面结合附图与实施例对本实用新型作进一步说明。
44.应该指出,以下详细说明都是示例性的,旨在对本实用新型提供进一步的说明。除非另有指明,本文使用的所有技术和科学术语具有与本实用新型所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。
45.需要注意的是,这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式,而非意图限制根据本实用新型的示例性实施方式。如在这里所使用的,除非上下文另外明确指出,否则单数形式也意图包括复数形式,此外,还应当理解的是,当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时,其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
46.在本实用新型中,术语如“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“侧”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,只是为了便于叙述本实用新型各部件或元件结构关系而确定的关系词,并非特指本实用新型中任一部件或元件,不能理解为对本实用新型的限制。
47.本实用新型中,术语如“固接”、“相连”、“连接”等应做广义理解,表示可以是固定连接,也可以是一体地连接或可拆卸连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的相关科研或技术人员,可以根据具体情况确定上述术语在本实用新型中的具体含义,不能理解为对本实用新型的限制。
48.在不冲突的情况下,本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
49.实施例1:
50.如图1所示,本公开实施例1提供了一种薄膜渗透检测的多腔测试结构,多腔测试结构包含一个或一个以上的测试单元,如可以是两个、三个或者更多个测试单元。
51.每个测试单元,包含两个测试腔100,两个测试腔100对称放置,中间用横梁201(第二连接件)连接,两组测试腔100对向锐角放置,每个测试腔100包含测试下腔104、测试上腔102、压紧机构101和固定座109。
52.可以理解的,在其他一些实施方式中,每个测试腔100均通过纵梁(第一连接件)与固定用底面固定连接,此时可以不需要用横梁将测试腔连接;当然,也可以是既存在横梁,也存在纵梁,以进一步的提高测试腔的固定效果。
53.本实施例中,横梁平行于固定用底面,纵梁垂直于固定用底面。
54.可以理解的,在其他一些实施方式中,所述横梁与纵梁与固定用底面均可以存在预设的夹角,只要能够实现测试腔的固定即可,夹角可以是20
°
或者30
°
或者45
°
或者其他的任意角度;同时,所述的横梁与纵梁也可以不是水平或者竖直的,可以存在一定的弯曲或者为异形杆件,这里不对其结构做具体限定,只要能够实现测试腔固定即可,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
55.本实施例中,所述固定座109固定在固定用底面上,测试下腔104的外侧壁与固定座109固定连接。
56.本实施例中,固定连接方式可以是粘接,即用胶水等粘性材料进行固定,可以理解的,在其他一些实施方式中,所述固定连接的方式也可以是隼接,或者卡扣连接,或者其他固定方式,当然,这里也可以将固定座设置为与固定用底面一体成型或者与测试下腔104一体成型,只要是能够实现固定座与固定用底面和测试下腔104的固定即可,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
57.本实施例中,固定用底面具体为用于容纳测试结构的测试箱体内的水平板件的上表面,可以理解的,在其他一些实施方式中,所述固定用底面可以是水平台面或者水平底面,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
58.测试上腔102上设置有一个或一个以上的测试上腔气路接头107,测试下腔104上设置有一个或一个以上的测试下腔气路接头108。
59.本实施例中,测试腔中的测试下腔104安装到固定座109上后,每组测试单元中的两个测试下腔的远离固定用底面的一端的延长线相交,测试下腔104与固定用底面之间的夹角α为锐角。
60.本实施例中,所述夹角α优选的为45
°
,可以理解的,在其他一些实施方式中,所述夹角也可以是任意的锐角,如20
°
、30
°
、60
°
或者80
°
等其他锐角角度,能够使得测试腔的设置更加紧凑,且方便进行放样操作,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
61.可以理解的,在其他一些实施方式中,所述测试下腔104与固定用底面之间的夹角α为直角,即测试下腔104垂直于固定用底面,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
62.测试上腔102安装在压紧机构101上,测试时,压紧机构101将测试上腔102和测试样品103压紧在测试下腔104上。
63.压紧机构101上设置有气缸机构、电缸机构、电磁驱动机构或液压驱动机构等驱动部件,实现自动压紧试验样品,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
64.本实施例中,所述压紧机构包括固定件、压紧板和把手,所述固定件与固定用底面固定连接,压紧板与固定件铰接;
65.压紧板的一侧与测试上腔102的外侧壁接触,压紧板的另一侧与气缸机构、电缸机
构、电磁驱动机构或液压驱动机构的驱动端连接,把手通过连接板与压紧板铰接,通过把手能够实现压紧机构101的转动。
66.本实施例中,压紧机构的活动区域为每个测试单元的外侧。
67.本实施例中,连接板能够将第一测试腔与第二测试腔的连接处覆盖,从而进一步的提高压紧效果。
68.本实施例中,测试上腔和/或测试下腔内设有至少一条液体循环管道,测试上腔和/或测试下腔通过液体循环管道接口与恒温液体供给装置连通。
69.本实施例中,所述液体可以采用水,恒温液体供给装置可以采用恒温水箱,当然,在其他一些实施方式中,所述液体也可以采用其他控温效果较好的液体,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
70.本实施例中,所述液体循环管道设置在测试上腔和/或测试下腔的外壁夹层中,即通过实现对测试腔体外壁夹层的恒温控制以实现测试腔体内的温度控制。
71.可以理解的,在其他一些实施方式中,所述液体循环管道设置在测试上腔和/或测试下腔的内表面,即通过对腔内空气进行直接热传导的方式实现测试腔体内的温度控制,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
72.在进行薄膜渗透测试时,试验气体通过设置在测试上腔102上的测试上腔气路接头107进入到测试上腔102,试验气体透过试验样品103后进入到测试下腔104,测试下腔气路接头108连接至传感器对透过的气体进行分析,完成整个测试过程。
73.如图2所示,在本实施例中,多个测试单元顺序平行排列组成多腔测试结构,极大的提高了测试结构的紧凑程度,在有限的空间内实现更多样品的更好测试。
74.实施例2:
75.本公开实施例2提供了一种薄膜透过率测试系统,包括本公开实施例1提供的薄膜渗透检测的多腔测试结构。
76.实施例3:
77.如图3所示,本公开实施例3提供了一种薄膜渗透检测的多腔测试结构,多腔测试结构包含一个或一个以上的测试单元,如可以是两个、三个或者更多个测试单元。
78.每个测试单元,包含两个测试腔100,两个测试腔100对称放置,两组测试腔100背向锐角放置,每个测试腔100包含测试下腔104、测试上腔102、压紧机构101和固定座109。
79.可以理解的,在其他一些实施方式中,每个测试腔100均通过纵梁与固定用底面固定连接。
80.本实施例中,纵梁垂直于固定用底面。
81.可以理解的,在其他一些实施方式中,所述纵梁与固定用底面均可以存在预设的夹角,只要能够实现测试腔的固定即可,夹角可以是20
°
或者30
°
或者45
°
或者其他的任意角度;同时,所述的纵梁也可以不是者竖直的,可以存在一定的弯曲或者为异形杆件,这里不对其结构做具体限定,只要能够实现测试腔固定即可,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
82.本实施例中,所述固定座109固定在固定用底面上,测试下腔104的外侧壁与固定座109固定连接。
83.本实施例中,固定连接方式可以是粘接,即用胶水等粘性材料进行固定,可以理解
的,在其他一些实施方式中,所述固定连接的方式也可以是隼接,或者卡扣连接,或者其他固定方式,当然,这里也可以将固定座设置为与固定用底面一体成型或者与测试下腔104一体成型,只要是能够实现固定座与固定用底面和测试下腔104的固定即可,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
84.本实施例中,固定用底面具体为用于容纳测试结构的测试箱体内的水平板件的上表面,可以理解的,在其他一些实施方式中,所述固定用底面可以是水平台面或者水平底面,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
85.测试上腔102上设置有一个或一个以上的测试上腔气路接头107,测试下腔104上设置有一个或一个以上的测试下腔气路接头108。
86.本实施例中,测试腔中的测试下腔104安装到固定座109上后,每组测试单元中的两个测试下腔的朝向固定用底面的一端的延长线相交,测试下腔104与固定用底面之间的夹角α为锐角。
87.本实施例中,所述夹角α优选的为45
°
,可以理解的,在其他一些实施方式中,所述夹角也可以是任意的锐角,如20
°
、30
°
、60
°
或者80
°
等其他锐角角度,能够使得测试腔的设置更加紧凑,且方便进行放样操作,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
88.可以理解的,在其他一些实施方式中,所述测试下腔104与固定用底面之间的夹角α为直角,即测试下腔104垂直于固定用底面,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
89.测试上腔102安装在压紧机构101上,测试时,压紧机构101将测试上腔102和测试样品103压紧在测试下腔104上。
90.压紧机构101上设置有气缸机构、电缸机构、电磁驱动机构或液压驱动机构等驱动部件,实现自动压紧试验样品,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
91.本实施例中,所述压紧机构包括固定件、压紧板和把手,所述固定件与固定用底面固定连接,压紧板与固定件铰接;
92.压紧板的一侧与测试上腔102的外侧壁接触,压紧板的另一侧与气缸机构、电缸机构、电磁驱动机构或液压驱动机构的驱动端连接,把手通过连接板与压紧板铰接,通过把手能够实现压紧机构101的转动。
93.本实施例中,压紧机构的活动区域为每个测试单元的内侧。
94.本实施例中,连接板能够将测试上腔与测试下腔的连接处覆盖,从而进一步的提高压紧效果。
95.本实施例中,测试上腔和/或测试下腔内设有至少一条液体循环管道,测试上腔和/或测试下腔通过液体循环管道接口与恒温液体供给装置连通。
96.本实施例中,所述液体可以采用水,恒温液体供给装置可以采用恒温水箱,当然,在其他一些实施方式中,所述液体也可以采用其他控温效果较好的液体,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
97.本实施例中,所述液体循环管道设置在测试上腔和/或测试下腔的外壁夹层中,即通过实现对测试腔体外壁夹层的恒温控制以实现测试腔体内的温度控制。
98.可以理解的,在其他一些实施方式中,所述液体循环管道设置在测试上腔和/或测试下腔的内表面,即通过对腔内空气进行直接热传导的方式实现测试腔体内的温度控制,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
99.在进行薄膜渗透测试时,试验气体通过设置在测试上腔102上的测试上腔气路接头107进入到测试上腔102,试验气体透过试验样品103后进入到测试下腔104,测试下腔气路接头108连接至传感器对透过的气体进行分析,完成整个测试过程。
100.如图4所示,在本实施例中,多个测试单元顺序平行排列组成多腔测试结构,极大的提高了测试结构的紧凑程度,在有限的空间内实现更多样品的更好测试。
101.实施例4:
102.本公开实施例4提供了一种薄膜透过率测试系统,包括本公开实施例3提供的薄膜渗透检测的多腔测试结构。
103.实施例5:
104.如图5和图6所示,本公开实施例5提供了一种薄膜透过率测试系统,包括:上盖1、测试腔体机构15、隔温板7和后保温板9,测试腔体机构15过管道14与传感器12连接,上盖1与后保温板9活动连接,且上盖1与驱动机构的活动端连接;
105.隔温板7与后保温板9的侧壁连接,测试腔体设置在上盖1、隔温板7和后保温板9形成的密闭第一空间内,后保温板9上设有至少一个第一温控装置3,上盖1内设有分别与第一温控装置3和第一空间连通的第一气流通道。
106.可以理解的,在其他一些实施方式中,隔温板与后保温板也可以互换,即隔温板也可以是保温板,保温板也可以是隔温板,两者也可以是均是保温板或者均为隔温板。
107.本实施例中,隔温板7和保温板9均是多层板,内壁一层为保温材质,外壁为普通材质,可以理解的,在其他一些实施方式中,隔温板7和保温板9也可以是单层板,多层板可以是各个板紧密贴合而成,也可以是各层板之间留有空隙,进而实现更好的保温效果,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
108.本实施例中,保温板9为一个整体的板件,分别用于形成第一空间和第二空间。
109.可以理解的,在其他一些实施方式中,保温板9也可以包括第一子板件和第二子板件,第一子板件和第二子板件均与隔温板7连接,测试腔体设置在隔温板7、盖体与第一子板件形成的第一空间内,且支撑板件与隔温板7连接,传感元件设置在支撑板件、隔温板7和第二子板件形成的密闭的第二空间内,当然,保温板9也可以由更多子板件组合而成,只要能够形成第一空间和第二空间即可,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
110.可以理解的,在其他一些实施方式中,保温板9包括第一子板件和第二子板件,第一子板件和第二子板件连接,隔温板7与第一子板件或第二子板件的侧壁连接,测试腔体设置在隔温板7、盖体与第一子板件形成的第一空间内,且支撑板件与隔温板7连接,传感元件设置在支撑板件、隔温板7和第二子板件形成的密闭的第二空间内;当然,保温板9也可以由更多子板件组合而成,只要能够形成第一空间和第二空间即可,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
111.本实施例中,测试腔体机构15采用实施例1或实施例3所述的多腔测试结构。
112.本实施例中,所述第一气流通道可以是上盖1内的空腔,可以理解的,在其他一些
实施方式中,所述第一气流通道也可以是多个通道分支,每个通道分支均与第一温控装置3和第一空间连通。
113.本实施例中,隔温板7与后保温板9的侧壁垂直固定连接,且隔温板7嵌入到后保温板9的侧壁内。
114.可以理解的,在其他一些实施方式中,所述隔温板7与后保温板9的侧壁呈任意角度,夹角可以是10
°
或者20
°
或者30
°
等,本领域技术人员可以根据具体工况进行设计,这里不再赘述。
115.可以理解的,在其他一些实施方式中,所述隔温板7与后保温板9的内侧面固定连接,所述固定连接方式可以是粘接或者隼接或者卡扣连接,或者其他固定连接方式,只要能够实现隔温板与后保温板9的固定即可;当然,隔温板与后保温板也可以是一体成型制作的,也可以是隔温板插接并穿过后保温板后通过固定件固定在后保温板的外侧壁,本领域技术人员可以根据具体工况进行设计,这里不再赘述。
116.本实施例中,后保温板9固定有气缸架5,气缸架固定有气缸4,当气缸4收缩时带动上盖1打开,当气缸4伸出时带动上盖1关闭。
117.可以理解的,在其他一些实施方式中,所述气缸也可以替换为回转夹紧气缸、升降电机、升降旋转装置,只要能够带动盖体的转动即可,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择和设计,这里不再赘述。
118.保温板上设有至少一个第二温控装置,隔温板上设有分别与第二温控装置和第一空间连通的第二气流通道。第一温控装置和第二温控装置可以产生温控气体,温控气流在测试腔体机构15上部和下部流动,其中第一温控装置3产生的温控气体在上盖1内流动。
119.本实施例中,隔温板上测试腔体的两侧设有相互配合的光线发射器17和光线接收器16,且光线发射器和光线接收器均与计算机终端13通信连接,光线发射器17照射出的光线被光线接收器16接收,当物体挡在光线发射器和光线接收器之间时,上盖无法关闭,这样可以有效防止上盖下落时压伤人体;传感元件也与计算机终端通信连接,计算机终端根据传感元件检测得到的数据进行渗透结构的分析。
120.本实施例中,所述计算机终端13为带触摸显示屏的计算机,触摸显示屏设置在支撑板的外侧,可以理解的,在其他一些实施方式中,所述计算机终端13也可以是由键盘和鼠标控制的带显示屏的普通计算机,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
121.还包括与保温板连接的支撑板件,且支撑板件与隔温板远离测试腔体的一侧连接,传感元件设置在支撑板件、隔温板和保温板形成的密闭的第二空间内,第二空间所在腔体为下腔体10。
122.保温板上设有至少一个第三温控器8,且第三温控器与下腔体内的第二空间连通,第三温控器8产生的温控气体在下腔10内的第二空间循环。
123.本实施例中,第一温控器、第二温控器和第三温控器均采用半导体电子温控器,且均为两台,两台同时工作或者其中一台工作;第一空间内设有一个第一温度传感器,第二空间内设有一个第二温度传感器,第一温控器、第二温控器、第三温控器、第一温度传感器和第二温度传感器均与计算机终端通信连接,计算机终端根据第一温度传感器检测到的温度值控制第一温控器和第二温控器的工作,计算机终端根据第二温度传感器检测到的温度值
控制第三温控器的工作。
124.可以理解的,在其他一些实施方式中,第一温控器、第二温控器和第三温控器可以均为一台或者更多台,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
125.可以理解的,在其他一些实施方式中,第一温度传感器和第二温度传感器均可以为两台或者更多台,当有两台以上的第一度传感器或第二温度传感器时,采用各个第一温度传感器的平均值作为所在空间温度,采用各个第二温度传感器的平均值作为所在空间温度。
126.实施例6:
127.本公开实施例6提供了一种多腔测试结构,其他结构与实施例1或实施例3中的相同,测试上腔和测试下腔之间的试样通过试样夹持装置夹持;
128.如图7和8所述,所述试样夹持装置包括带通孔的压板18,带通孔的磁性垫板20和带通孔的托盘21;
129.本实施例中,托盘21上侧沿通孔的外周开有与磁性垫板20相对应的凹槽,磁性垫板20底部有胶,粘贴在托盘21上的凹槽内。
130.压板18具有铁磁特性,磁性垫板20带有磁性,试样19放置到磁性垫板20的上面,压板18放置到试样19的上面,通过磁性吸附作用,压板18将试样19紧紧的压在磁性垫板20上。
131.本实施中,压板18、磁性垫板20和托盘21的通孔同轴配置,且各个通孔的孔径相同,此时压板18、磁性垫板20和托盘21的通孔均正对试样19。
132.可以理解的,在其他一些实施方式中,压板18、磁性垫板20和托盘21的通孔也可以只有部分正对试样19,只要能够保证气体能够通过试样即可,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
133.本实施例中,托盘21上的凹槽是沿通孔的边沿首尾连通的凹槽,可以理解的,在其他一些实施方式中,所述凹槽也可以是沿通孔的边沿首尾不连通的凹槽,如占通孔边沿的1/2或者3/4或者5/8,只要能够实现对试样的有效夹持即可,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
134.可以理解的,在其他一些实施方式中,所述凹槽也可以是沿通孔外周间断设置的多个卡槽,通过磁性垫板底部的各个与卡槽配合的凸起实现磁性垫板的固定。
135.本实施例中,所述托盘为圆形;通孔和凹槽也均为圆形,且所述磁性垫板为与托盘上的凹槽匹配的圆环状垫板,圆环状垫板直接嵌入到凹槽内,通过胶水固定。
136.可以理解的,在其他一些实施方式中,所述托盘也可以是其他形状,如方形、矩形等等,压板的形状可以是其他形状,如方形、矩形、梯形等等;通孔和凹槽也可以是其他形状,如方形、椭圆形或者梯形或者矩形等等,只要保证磁性垫板与凹槽相匹配且压板能够与磁性垫板配合将试样夹紧即可,本领域技术人员可以根据具体工况进行,这里不再赘述。
137.可以理解的,在其他一些实施方式中,所述凹槽为与磁性垫板完全匹配的卡槽,通过凹槽与磁性垫板的紧密卡合实现固定,此时无需通过胶水固定,当然,本领域技术人员可以选择其他固定方式,如卡扣连接或者一体化设计等,这里不再赘述。
138.可以理解的,在其他一些实施方式中,托盘21也可以具有铁磁特性,磁性垫板20通过磁性作用直接吸附到托盘21上凹槽内。
139.实施例7:
140.如图9和图10所示,本公开实施例7提供了一种多腔测试结构,其他结构与实施例1或实施例3中的相同,测试上腔和测试下腔之间的试样通过试样夹持装置夹持,包括带通孔的压板18,带通孔的磁性垫板20和带通孔的托盘21;
141.托盘21上侧沿通孔的外周开有与压板18相对应的凹槽,压板18底部有胶,粘贴在托盘21上的凹槽内,压板18具有铁磁特性,磁性垫板20具有磁性;试样19放置到压板18的上面,磁性垫板20放置到试样19的上面,通过磁性吸附作用,磁性垫板20将试样19紧紧的压在压板18上。
142.本实施中,压板18、磁性垫板20和托盘21的通孔同轴配置,且各个通孔的孔径相同,此时压板18、磁性垫板20和托盘21的通孔均正对试样19。
143.可以理解的,在其他一些实施方式中,压板18、磁性垫板20和托盘21的通孔也可以只有部分正对试样19,只要能够保证气体能够通过试样即可,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
144.本实施例中,托盘21上的凹槽是沿通孔的边沿首尾连通的凹槽,可以理解的,在其他一些实施方式中,所述凹槽也可以是沿通孔的边沿首尾不连通的凹槽,如占通孔边沿的1/2或者3/4或者5/8,只要能够实现对试样的有效夹持即可,本领域技术人员可以根据具体工况进行选择,这里不再赘述。
145.可以理解的,在其他一些实施方式中,所述凹槽也可以是沿通孔外周间断设置的多个卡槽,通过压板底部的各个与卡槽配合的凸起实现压板的固定。
146.本实施例中,所述托盘为圆形、通孔和凹槽也均为圆形,且所述压板为与托盘上的凹槽匹配的圆环状压板,圆环状压板直接嵌入到凹槽内,通过胶水固定。
147.可以理解的,在其他一些实施方式中,所述托盘也可以是其他形状,如方形、矩形等等,压板的形状可以是其他形状,如方形、矩形、梯形等等;通孔和凹槽也可以是其他形状,如方形、椭圆形或者梯形或者矩形等等,只要保证压板与凹槽相匹配且压板能够与磁性垫板配合将试样夹紧即可,本领域技术人员可以根据具体工况进行,这里不再赘述。
148.可以理解的,在其他一些实施方式中,所述凹槽为与压板完全匹配的卡槽,通过凹槽与压板的紧密卡合实现固定,此时无需通过胶水固定,当然,本领域技术人员可以选择其他固定方式,如卡扣连接或者一体化设计等,这里不再赘述。
149.可以理解的,在其他一些实施方式中,托盘21也可以具有磁性,压板18通过磁性作用直接吸附到托盘21上凹槽内。
150.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
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