1.本实用新型属于键合检查机技术领域,具体为一种多工位自动键合检查机。
背景技术:
2.键合将两片表面清洁、原子级平整的同质或异质半导体材料经表面清洗和活化处理,在一定条件下直接结合。
3.目前,现有的键合检查机,在对键合产品进行检查时,自动化程度低,且没有夹持定位装置,导致检测不够精准。
技术实现要素:
4.本实用新型的目的在于提供一种多工位自动键合检查机,以解决现有键合检查机自动化程度低,没有夹持定位装置的问题。
5.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种多工位自动键合检查机,包括承台,所述承台上设有圆板,通过设置有圆板,便于承接方形盒,所述圆板上固定安装有方形盒,通过设置有方形盒,便于对键合进行夹持定位,所述圆板内开设有转槽,转槽的形状为圆形,所述转槽的内壁固定安装有齿牙,齿牙等距分布于转槽的内壁,所述承台内固定安装有驱动电机,驱动电机的型号为tcb8024 b3,通过设置有驱动电机,起到带动转盘转动的目的,所述驱动电机转轴端贯穿转槽的内壁,所述驱动电机转轴端固定连接有转盘,转盘的形状为圆形,通过设置有转盘,起到带动转杆做圆周运动的目的,所述转盘的表面固定安装有转杆,转杆在做圆周运动的过程中,将于齿牙啮合,便于通过齿牙带动圆板转动。
6.优选的,所述方形盒的个数为八个,所述方形盒的内壁固定安装有弹簧,弹簧的设置,便于对夹板施加作用力。
7.优选的,所述弹簧的一端固定连接有夹板,夹板为方形板,且夹板在方形盒的内壁滑动,所述夹板的表面与方形盒的内壁均设有弹性橡胶层,通过设置有弹性橡胶层在夹持键合成品的过程中,起到保护键合产品的目的。
8.优选的,所述夹板的表面固定连接有拉杆,所述拉杆的一端贯穿方形盒,所述拉杆的一端固定连接有把手,通过设置有把手,便于通过拉杆拉动夹板。
9.优选的,所述承台的底端固定安装有腿杆,所述腿杆的个数为四个,通过设置有腿杆,起到支撑承台的目的。
10.优选的,所述圆板的底端固定安装有万向轮,所述承台上开设有环槽,所述万向轮在环槽内滚动,通过设置有万向轮和环槽,起到支撑圆板的目的,同时也使得圆板转动更加平顺。
11.优选的,所述承台上固定安装有支架,支架的形状为l形,通过设置有支架,便有承接安装摄像头,所述支架上固定安装有摄像头,通过设置有摄像头,便于检测键合产品的表面。
12.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:通过设置有驱动电机、齿牙和转杆,
驱动电机将通过转盘带动转杆做圆周运动,转杆将通过齿牙带动圆板进行有规律的转动和停止,利于检查键合产品,提高检测机的自动化效率,通过设置有方形盒,起到将键合产品进行定位夹持的目的,利于键合产品的检测。
附图说明
13.图1为本实用新型的整体结构示意图;
14.图2为本实用新型的转槽示意图;
15.图3为本实用新型的方形盒示意图。
16.图中:1、承台;2、支架;3、摄像头;4、把手;5、转杆;6、齿牙;7、圆板;8、方形盒;9、腿杆;10、环槽;11、转槽;12、驱动电机;13、转盘;14、万向轮;15、夹板;16、弹簧;17、拉杆;18、弹性橡胶层。
具体实施方式
17.请参阅图1、图2和图3,一种多工位自动键合检查机,包括承台1,承台1上设有圆板7,通过设置有圆板7,便于承接方形盒8,圆板7上固定安装有方形盒8,方形盒8的顶端为开口设置,通过设置有方形盒8,便于对键合产品进行夹持定位,圆板7内开设有转槽11,转槽11的形状为圆形,转槽 11的内壁固定安装有齿牙6,齿牙6等距分布于转槽11的内壁,承台1内固定安装有驱动电机12,驱动电机12的型号为tcb8024 b3,通过设置有驱动电机12,起到带动转盘13转动的目的,驱动电机12转轴端贯穿转槽11的内壁,驱动电机12转轴端固定连接有转盘13,转盘13的形状为圆形,通过设置有转盘13,起到带动转杆5做圆周运动的目的,转盘13的表面固定安装有转杆5,转杆5在做圆周运动的过程中,将于齿牙6啮合,便于通过齿牙6带动圆板7转动。
18.请参阅图1和图3,方形盒8的个数为八个,方形盒8的内壁固定安装有弹簧16,弹簧16的设置,便于对夹板15施加作用力。
19.请参阅图3,弹簧16的一端固定连接有夹板15,夹板15为方形板,且夹板15在方形盒8的内壁滑动,夹板15的表面与方形盒8的内壁均设有弹性橡胶层18,通过设置有弹性橡胶层18在夹持键合成品的过程中,起到保护键合产品的目的。
20.请参阅图1和图3,夹板15的表面固定连接有拉杆17,拉杆17的一端贯穿方形盒8,拉杆17的一端固定连接有把手4,通过设置有把手4,便于通过拉杆17拉动夹板15。
21.请参阅图1,承台1的底端固定安装有腿杆9,腿杆9的个数为四个,通过设置有腿杆9,起到支撑承台1的目的。
22.请参阅图1,圆板7的底端固定安装有万向轮14,万向轮14的型号为 jj115,该万向轮14具有锁定功能,便于固定圆板7,承台1上开设有环槽 10,万向轮14在环槽10内滚动,通过设置有万向轮14和环槽10,起到支撑圆板7的目的,同时也使得圆板7转动更加平顺。
23.请参阅图1,承台1上固定安装有支架2,支架2的形状为l形,通过设置有支架2,便有承接安装摄像头3,支架2上固定安装有摄像头3,通过设置有摄像头3,便于检测键合产品的表面。
24.本方案的工作原理是:当键合产品需要进行外观检查时,拉动把手4,把手4将通过拉杆17带动夹板15沿着方形盒8的内壁滑动,在此过程中,弹簧16将受到夹板15的挤压,直
到夹板15运动到合适的位置后,将键合产品放置到方形盒8内壁,缓慢松开把手4,压缩弹簧16作用的夹板15将对键合产品进行夹持定位,利于键合产品的检查,重复上述操作,依次固定其余键合产品,然后启动驱动电机12,驱动电机12通过转盘13带动转杆5进行圆周运动,当转杆5接触到齿牙6时,将带动圆板7转动,当转杆5离开齿牙6 时,圆板7将停止转动,此时键合产品位于摄像头3正下方,白怒对键合产品进行检查,待检查完成后,转杆5将再次与齿牙6接触,带动圆板7转动,通过上述设置,起到提高自动化检查的目的。
技术特征:
1.一种多工位自动键合检查机,包括承台(1),其特征在于:所述承台(1)上设有圆板(7),所述圆板(7)上固定安装有方形盒(8),所述圆板(7)内开设有转槽(11),所述转槽(11)的内壁固定安装有齿牙(6),所述承台(1)内固定安装有驱动电机(12),所述驱动电机(12)转轴端贯穿转槽(11)的内壁,所述驱动电机(12)转轴端固定连接有转盘(13),所述转盘(13)的表面固定安装有转杆(5)。2.根据权利要求1所述的一种多工位自动键合检查机,其特征在于:所述方形盒(8)的个数为八个,所述方形盒(8)的内壁固定安装有弹簧(16)。3.根据权利要求2所述的一种多工位自动键合检查机,其特征在于:所述弹簧(16)的一端固定连接有夹板(15),所述夹板(15)的表面与方形盒(8)的内壁均设有弹性橡胶层(18)。4.根据权利要求3所述的一种多工位自动键合检查机,其特征在于:所述夹板(15)的表面固定连接有拉杆(17),所述拉杆(17)的一端贯穿方形盒(8),所述拉杆(17)的一端固定连接有把手(4)。5.根据权利要求1所述的一种多工位自动键合检查机,其特征在于:所述承台(1)的底端固定安装有腿杆(9),所述腿杆(9)的个数为四个。6.根据权利要求1所述的一种多工位自动键合检查机,其特征在于:所述圆板(7)的底端固定安装有万向轮(14),所述承台(1)上开设有环槽(10),所述万向轮(14)在环槽(10)内滚动。7.根据权利要求1所述的一种多工位自动键合检查机,其特征在于:所述承台(1)上固定安装有支架(2),所述支架(2)上固定安装有摄像头(3)。
技术总结
本实用新型公开了一种多工位自动键合检查机,包括承台,承台上设有圆板,圆板上固定安装有方形盒,圆板内开设有转槽,转槽的内壁固定安装有齿牙,承台内固定安装有驱动电机,驱动电机转轴端贯穿转槽的内壁,驱动电机转轴端固定连接有转盘,转盘的表面固定安装有转杆。通过设置有驱动电机、齿牙和转杆,驱动电机将通过转盘带动转杆做圆周运动,转杆将通过齿牙带动圆板进行有规律的转动和停止,利于检查键合产品,提高检测机的自动化效率,通过设置有方形盒,起到将键合产品进行定位夹持的目的,利于键合产品的检测。利于键合产品的检测。利于键合产品的检测。
技术研发人员:钟金鹏
受保护的技术使用者:苏州殷迪新科技有限公司
技术研发日:2020.12.02
技术公布日:2021/11/9