1.本实用新型涉及热偶固定装置技术领域，具体来说，涉及一种热处理设备的热偶安装固定装置。
背景技术：
2.半导体热处理设备是集成电路制造的重要工艺设备，适用于集成电路制造过程中各种氧化、退火和薄膜生长等工艺。在热处理工艺过程中，需要将热偶插入至炉丝之间，对炉丝进行测温，以保证工艺温度。由于热偶是一种脆性材料，这就给热偶的安装固定带来很大困难。如果无法有效地固定热偶，致使热偶在安装和后续的工作过程中发生松动、摇摆的现象，就容易导致热偶损坏，并给温度的测量带来不利的影响，最后影响到整个热处理工艺的结果。
3.针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现要素：
4.针对相关技术中的问题，本实用新型提出一种热处理设备的热偶安装固定装置，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。
5.为此，本实用新型采用的具体技术方案如下：
6.一种热处理设备的热偶安装固定装置，包括固定板一和固定板二，所述固定板一位于所述固定板二的上端，所述固定板一与所述固定板二之间通过铰链活动连接，所述固定板一和所述固定板二的中部相对应之间两端分别设置有热偶套管连接孔和热偶连接孔，所述热偶套管连接孔与热偶套管连接，所述热偶连接孔与热偶连接，所述热偶穿插于所述热偶套管的中部，所述固定板一和所述固定板二的两端均设置有螺纹孔一，所述固定板一和所述固定板二的两端相穿插有并与所述螺纹孔一相配合的固定螺栓，所述固定板一的上端两侧设置有与所述固定螺栓相配合的螺帽，所述固定板一的上端中部两侧均设置有安装板一，所述固定板二的下端两侧均设置有安装板二，所述安装板一和所述安装板二的中部均设置有腰形孔，所述固定板一和所述固定板二均远离所述铰链的一端均设置有卡块，所述卡块上套设有相配合的固定件。
7.进一步的，所述安装板一和所述安装板二均通过定位螺栓与热处理设备安装固定连接，并且，所述定位螺栓均通过穿插所述腰形孔的中部。
8.进一步的，所述固定板一的所述固定板二的前端相对应一侧且靠近所述热偶套管连接孔的一端均设置有热偶固定支架，所述热偶固定支架均通过连接螺栓固定连接。
9.进一步的，所述卡块均为l形的折弯结构。
10.进一步的，所述固定件的中部为内t形状凹槽状。
11.进一步的，所述固定板一的中部设置有与所述热偶连接孔连接的螺纹孔二，所述固定板一的中部设置有与所述螺纹孔二相配合的紧固螺栓。
12.本实用新型提供了一种热处理设备的热偶安装固定装置，有益效果如下：本实用
新型通过固定板一、固定板二、固定件和热偶固定支架对热偶的固定连接，有效使得热偶的更换更加方便，同时，采用紧固螺栓进行固定热偶，可防止热偶转动或移动，保证了工艺温度的稳定，并通过安装板一和安装板二与热处理设备固定，使得安装更为牢固，进而达到对热偶的安装固定，结构简单，操作方便。
附图说明
13.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
14.图1是根据本实用新型实施例的一种热处理设备的热偶安装固定装置的结构示意图；
15.图2是根据本实用新型实施例的一种热处理设备的热偶安装固定装置的俯视图；
16.图3是根据本实用新型实施例的一种热处理设备的热偶安装固定装置的固定板一仰视图；
17.图4是根据本实用新型实施例的一种热处理设备的热偶安装固定装置的固定件示意图。
18.图中：
19.1、固定板一；2、固定板二；3、铰链；4、热偶套管连接孔； 5、热偶连接孔；6、热偶套管；7、热偶；8、螺纹孔一；9、固定螺栓；10、螺帽；11、安装板一；12、安装板二；13、腰形孔；14、卡块；15、固定件；16、定位螺栓；17、热偶固定支架；18、连接螺栓；19、螺纹孔二；20、紧固螺栓。
具体实施方式
20.为进一步说明各实施例，本实用新型提供有附图，这些附图为本实用新型揭露内容的一部分，其主要用以说明实施例，并可配合说明书的相关描述来解释实施例的运作原理，配合参考这些内容，本领域普通技术人员应能理解其他可能的实施方式以及本实用新型的优点，图中的组件并未按比例绘制，而类似的组件符号通常用来表示类似的组件。
21.根据本实用新型的实施例，提供了一种热处理设备的热偶安装固定装置。
22.实施例一：
23.如图1
‑
4所示，根据本实用新型实施例的热处理设备的热偶安装固定装置，包括固定板一1和固定板二2，所述固定板一1位于所述固定板二2的上端，所述固定板一1与所述固定板二2之间通过铰链3活动连接，所述固定板一1和所述固定板二2的中部相对应之间两端分别设置有热偶套管连接孔4和热偶连接孔5，所述热偶套管连接孔4与热偶套管6连接，所述热偶连接孔5与热偶7连接，所述热偶7穿插于所述热偶套管6的中部，所述固定板一1和所述固定板二2的两端均设置有螺纹孔一8，所述固定板一1和所述固定板二2的两端相穿插有并与所述螺纹孔一8相配合的固定螺栓9，所述固定板一1的上端两侧设置有与所述固定螺栓9相配合的螺帽10，所述固定板一1的上端中部两侧均设置有安装板一11，所述固定板二2的下端两侧均设置有安装板二12，所述安装板一11和所述安装板二12的中部均设置有腰形
孔13，所述固定板一1和所述固定板二2均远离所述铰链3的一端均设置有卡块14，所述卡块14上套设有相配合的固定件15。
24.下面具体说一下通过固定板一1、固定板二2、铰链3、热偶套管6、热偶7、固定螺栓9和固定件15的具体设置和作用。
25.如图1
‑
4所示，先将热偶套管6放入固定板一1的热偶套管连接孔4中，进而通过固定板一1和固定板二2在铰链3相配合活动连接，使得固定板一1和固定板二2对热偶套管6进行固定，同时一端的热偶固定支架17进一步对热偶套管6在连接螺栓18 的作用下，对热偶套管6进行紧固和支撑，固定板一1和固定板二2在固定螺栓9和螺帽10的连接下，进而将固定板一1和固定板二2固定连接，同时，固定件15对固定板一1和固定板二2同一端的卡块14进行卡接，避免螺栓出现松动，影响测量，进而通过安装板一11和安装板二12在定位螺栓16的固定下与热处理设备上进行位置安装，进而将固定板一1和固定板二2与热处理设备进行安装固定，使得热偶套管6的一端支撑在热处理设备上的位置，热偶7插入热偶套管6中，热偶7前端内的热偶测量端从热偶套管的另一端开口露出，进而达到对炉体的炉丝温度的测量。
26.实施例二：
27.如图1
‑
4所示，所述安装板一11和所述安装板二12均通过定位螺栓16与热处理设备安装固定连接，并且，所述定位螺栓16 均通过穿插所述腰形孔13的中部。所述固定板一1的所述固定板二2的前端相对应一侧且靠近所述热偶套管连接孔4的一端均设置有热偶固定支架17，所述热偶固定支架17均通过连接螺栓18 固定连接。所述卡块均为l形的折弯结构。所述固定件的中部为内t形状凹槽状。从上述的设计不难看出，通过定位螺栓16将安装板一11和安装板二12与热处理设备安装固定连接，同时一端的热偶固定支架17进一步对热偶套管6在连接螺栓18的作用下，对热偶套管6进行紧固和支撑。
28.如图1
‑
3所示，所述固定板一1的中部设置有与所述热偶连接孔5连接的螺纹孔二19，所述固定板一1的中部设置有与所述螺纹孔二19相配合的紧固螺栓20。通过紧固螺栓20穿过螺纹孔二19，进而对插入热偶连接孔5的热偶7进行顶住，从而对热偶 7进行固定，可有效防止热偶7转动或移动。在达到顶紧热偶的目的。
29.与专利201621467462.5、201810068703.6、201520542714.5 相比，该固定装置通过固定板一1、固定板二2、固定件15和热偶固定支架17对热偶7的固定连接，有效使得热偶7的更换更加方便，同时，采用紧固螺栓20进行固定热偶，可防止热偶转动或移动，保证了工艺温度的稳定，并通过安装板一11和安装板二12与热处理设备固定，使得安装更为牢固，进而达到对热偶的安装固定，结构简单，操作方便。
30.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。