一种测温片校准方法与流程

1.本发明属于测温片校准技术领域，尤其涉及一种测温片校准方法。


背景技术：

2.测温片，是一种采用硅片生产加工而成的片状结构体，其主要用途是在常规硅片半导体加热的过程中用来测试加热温度，而测温片在长时间的使用过程中容易出现测量不准确的情况，因此需要对测温片进行校准，传统的校准方式为人工校准，即操作者采用目检的方式对测温片的外观进行检查，这种检查方式无法对测温片进行有效的校准，效率低下的同时校准的精度较低，因此单纯的人工目检方式不宜应用在测温片的校准操作中。


技术实现要素：

3.本发明克服了现有技术的不足，提供一种测温片校准方法，以解决现有技术中存在的问题。
4.为达到上述目的，本发明采用的技术方案为：一种测温片校准方法，包括以下步骤：
5.s1、对测温片进行外观检查，将热电偶标识准确贴在测温片上；
6.s2、将测温片放入恒温箱内，使热电偶的参考端置于恒温箱外；
7.s3、根据标志序号通过转换开关与测量仪器连接，关闭恒温箱，通电升温，将恒温箱的控温仪表按需求校准点设定温度值；
8.s4、当恒温箱内温度达到标准温度后稳定一段时间开始读数。
9.本发明一个较佳实施例中，步骤s1中，采用目视以及手动检查的方式对测温片的外观进行检查。
10.本发明一个较佳实施例中，步骤s4中，当恒温箱内温度达到标准温度后，稳定30min后开始读数，每隔5min读取一次数据，取4次数据的平均值作为标准器和被检仪器的示值。
11.本发明一个较佳实施例中，步骤s4之后，采用如下公式对温度修正值进行计算：
12.δt＝t
b
+d1‑
t
13.式中：δt为被检测温片的温度修正值，℃；
14.t为被检测温片的算术平均值，℃；
15.t
b
为标准器温度的算术平均值，℃；
16.d1为标准器温度的修正值，℃。
17.本发明一个较佳实施例中，所述恒温箱所处的环境温度为15℃～25℃，所述恒温箱所处的相对湿度环境为40％～60％。
18.本发明一个较佳实施例中，所述恒温箱外无影响正常校准的外磁场，无强烈气流直接吹到所述恒温箱。
19.本发明解决了背景技术中存在的缺陷，本发明具备以下有益效果：
20.本发明采用人工校准的方式与恒温箱校准的方式结合，共同对测温片进行校准，提高校准效率的同时还能够提高校准的精度，保证对测温片的有效校准。
附图说明
21.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
22.图1为本发明优选实施例的流程图；
具体实施方式
23.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
24.如图1所示，一种测温片校准方法，包括以下步骤：
25.s1、对测温片进行外观检查，将热电偶标识准确贴在测温片上；
26.s2、将测温片放入恒温箱内，使热电偶的参考端置于恒温箱外；
27.s3、根据标志序号通过转换开关与测量仪器连接，关闭恒温箱，通电升温，将恒温箱的控温仪表按需求校准点设定温度值；
28.s4、当恒温箱内温度达到标准温度后稳定一段时间开始读数。
29.在本实施例中，在对测温片进行外观检查之前，根据实际需求选择测温片的校准点，而后依次进行步骤s1至步骤s4，按照标准
‑
被检
‑
被检
‑
标准的顺序，每隔5min读取一次数据，取4次数据的平均值作为标准器和被检仪器的示值，而后采用如下公式对温度修正值进行计算：
30.δt＝t
b
+d1‑
t
31.式中：δt为被检测温片的温度修正值，℃；
32.t为被检测温片的算术平均值，℃；
33.t
b
为标准器温度的算术平均值，℃；
34.d1为标准器温度的修正值，℃。
35.具体地，所述恒温箱所处的环境温度为15℃～25℃，所述恒温箱所处的相对湿度环境为40％～60％。
36.在本实施例中，所述恒温箱外无影响正常校准的外磁场，无强烈气流直接吹到所述恒温箱。
37.总而言之，本发明采用人工校准的方式与恒温箱校准的方式结合，共同对测温片进行校准，提高校准效率的同时还能够提高校准的精度，保证对测温片的有效校准。
38.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合
适的方式结合。
39.以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。


技术特征：
1.一种测温片校准方法，其特征在于，包括以下步骤：s1、对测温片进行外观检查，将热电偶标识准确贴在测温片上；s2、将测温片放入恒温箱内，使热电偶的参考端置于恒温箱外；s3、根据标志序号通过转换开关与测量仪器连接，关闭恒温箱，通电升温，将恒温箱的控温仪表按需求校准点设定温度值；s4、当恒温箱内温度达到标准温度后稳定一段时间开始读数。2.根据权利要求1所述的一种测温片校准方法，其特征在于，步骤s1中，采用目视以及手动检查的方式对测温片的外观进行检查。3.根据权利要求1所述的一种测温片校准方法，其特征在于，步骤s4中，当恒温箱内温度达到标准温度后，稳定30min后开始读数，每隔5min读取一次数据，取4次数据的平均值作为标准器和被检仪器的示值。4.根据权利要求3所述的一种测温片校准方法，其特征在于，步骤s4之后，采用如下公式对温度修正值进行计算：δt＝t
b
+d1‑
t式中：δt为被检测温片的温度修正值，℃；t为被检测温片的算术平均值，℃；t
b
为标准器温度的算术平均值，℃；d1为标准器温度的修正值，℃。5.根据权利要求1所述的一种测温片校准方法，其特征在于，所述恒温箱所处的环境温度为15℃～25℃，所述恒温箱所处的相对湿度环境为40％～60％。6.根据权利要求1所述的一种测温片校准方法，其特征在于，所述恒温箱外无影响正常校准的外磁场，无强烈气流直接吹到所述恒温箱。

技术总结
本发明公开了一种测温片校准方法，包括以下步骤：S1、对测温片进行外观检查，将热电偶标识准确贴在测温片上；S2、将测温片放入恒温箱内，使热电偶的参考端置于恒温箱外；S3、根据标志序号通过转换开关与测量仪器连接，关闭恒温箱，通电升温，将恒温箱的控温仪表按需求校准点设定温度值；S4、当恒温箱内温度达到标准温度后稳定一段时间开始读数。本发明采用人工校准的方式与恒温箱校准的方式结合，共同对测温片进行校准，提高校准效率的同时还能够提高校准的精度，保证对测温片的有效校准。保证对测温片的有效校准。保证对测温片的有效校准。


技术研发人员：孙昊 曹平
受保护的技术使用者：苏州莱测检测科技有限公司
技术研发日：2021.04.06
技术公布日：2021/9/6