一种MEMS传感器校准装置

一种mems传感器校准装置
技术领域：
1.本发明属于传感器校准技术领域，特别涉及一种mems传感器校准装置。


背景技术：

2.mems传感器包括压力传感器、温度传感器、加速度传感器等微电子装置，可以应用于各种加工设备以及自动化设备中，可以提高生产速度与机械运作的灵活性。
3.现有技术下，在mems传感器使用时，常常会因为环境温度导致压力传感器的数据产生偏差，导致安装压力传感器的设备产生运行上的延缓，在进行压力传感器的校准时一般是厂商生产时设定一定自动校准功能，但是校准效果不好。


技术实现要素：

4.本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种mems传感器校准装置，解决了在mems传感器使用时，常常会因为环境温度导致压力传感器的数据产生偏差，导致安装压力传感器的设备产生运行上的延缓，在进行压力传感器的校准时一般是厂商生产时设定一定自动校准功能，但是校准效果不好等缺点。
5.为了解决上述问题，本发明提供了一种技术方案：
6.一种mems传感器校准装置，包括校准室，所述校准室的内部底端固定连接有校准台，所述校准台的底端中部固定连接有压力传感器，所述校准室的内部上方一侧设置有冷暖风机，所述校准室的内部顶端中部设置有测温计，所述测温计的两侧均设置有固定块，所述固定块的上端均固定连接于校准室的内部顶端，所述测温计固定连接于两个固定块之间，所述测温计远离冷暖风机的一侧设置有开关机构，所述开关机构包括气球，所述气球的一侧接触有推杆，所述推杆的外部设置有c型板，所述c型板固定连接于校准室的内部顶壁，所述推杆远离气球的一侧上端固定连接有移动杆，所述移动杆滑动贯穿于c型板上部，所述移动杆位于c型板外部的一端固定连接有按块，所述按块远离移动杆的一侧设置有开关，所述开关与冷暖风机电性连接，所述校准室靠近冷暖风机的一侧外壁安装有压力数据显示器。
7.优选的，所述冷暖风机的一侧设置有调节机构，所述调节机构包括固定杆，所述固定杆固定连接于校准室的内壁，所述固定杆的内部设置有丝杆，所述丝杆上螺纹连接有滑块，所述固定杆相对冷暖风机的一侧为开口结构，所述滑块滑动连接于固定杆的内部两侧之间，所述丝杆的上端转动连接于固定杆的上端内壁，所述丝杆的下端贯穿固定杆且固定连接有第一握把，所述滑块位于固定杆外部的一端通过铰接座转动连接有第一连接杆，所述第一连接杆远离滑块的一端与冷暖风机转动连接，所述冷暖风机的上端通过铰接座转动连接有第二连接杆，所述第二连接杆的上端转动连接于校准室的内部顶壁，所述冷暖风机的输出端与校准台上端相对。
8.优选的，所述气球远离推杆的一端连接有连接管，所述气球套接在连接管上，所述连接管远离气球的一端插接有气体瓶，所述气体瓶与连接管的插接处粘合有密封圈，所述
连接管上连接有支撑套块，所述支撑套块固定连接于校准室的内壁顶端，所述连接管插接在支撑套块中部，所述推杆远离气球的一侧中部固定连接有弹簧，所述弹簧远离推杆的一端固定连接于c型板内侧，所述c型板上下两侧均开设有滑槽，所述推杆两端均滑动连接于滑槽中，所述开关远离按块的一端固定连接有顶杆，所述顶杆上端固定连接于校准室的内部顶壁。
9.优选的，所述校准台的上方两侧均设置有限位机构，所述限位机构均包括限位块，两个所述限位块相互靠近的一侧均粘合有橡胶垫，两个所述限位块相互远离的一侧均固定连接有套管，所述套管内部均螺纹连接有螺杆，所述校准台的上端两侧中部均固定连接有侧块，两个所述螺杆分别贯穿且转动连接于两个侧块中部，两个所述螺杆相互远离的一端均固定连接有第二握把。
10.优选的，所述套管的底端中部均固定连接有底杆，所述校准台的上端两侧均开设有底槽，所述底杆的下部均滑动连接于底槽内。
11.优选的，所述校准室远离冷暖风机的内部一侧上下内壁均固定连接有导流板，所述校准室远离气球的内部一侧下壁固定连接有导流板，所述导流板均与水平方向呈四十五度角。
12.优选的，所述校准室远离冷暖风机的一侧中部安装有电动出气门，所述校准室远离电动出气门的一侧外壁上部可拆卸连接有温度控制器，所述温度控制器与冷暖风机电性连接，所述压力数据显示器与校准室外壁可拆卸连接，所述压力数据显示器与压力传感器电性连接。
13.优选的，所述校准室的一侧安装有室门且室门上安装有观察窗，所述观察窗为透明玻璃材质。
14.本发明的有益效果包括：
15.1、本发明设置有冷暖风机和压力数据显示器，通过冷暖风机改变校准室内部的温度，在不同的温度下记录此时压力数据显示器的压力数据，可以对比不同温度下的压力数据，计算出温度改变时压力数据的改变量，可以进行校正，校正精准。
16.2、本发明设置有开关机构，当校准室内的温度过高时，高温会使得开关机构的气球膨胀挤压推杆，带动按块按动开关，使得与开关电性连接的冷暖风机关闭，可以及时避免内部温度继续升高，防止温度过高高温对压力传感器造成损坏。
17.3、本发明设置有调节机构，需要调节冷暖风机的角度时，通过转动调节机构的第一握把带动丝杆转动，丝杆上的滑块移动带动第一连接杆转动，可使得冷暖风机的角度改变，便于将冷暖风机对准校准台上的物体，使得校准台的温度最大程度接近冷暖风机的出风温度。
18.4、本发明设置有导流板，校准室内部的导流板起到导流作用，使得风顺着导流板流动更加快速，加快温度改变速度，提高数据记录的效率。
附图说明：
19.为了易于说明，本发明由下述的具体实施及附图作以详细描述。
20.图1为本发明的主视剖切结构示意图；
21.图2为本发明的调节机构连接处的结构示意图；
22.图3为本发明的开关机构连接处的结构示意图；
23.图4为本发明的c型板连接处的结构示意图；
24.图5为本发明的套管连接处的结构示意图；
25.图6为本发明的主视结构示意图。
26.图中：1、校准室；2、校准台；3、压力传感器；4、冷暖风机；5、调节机构；51、固定杆；52、滑块；53、丝杆；54、第一握把；55、第一连接杆；56、第二连接杆；6、测温计；7、固定块；8、开关机构；81、移动杆；82、连接管；83、气体瓶；84、气球；85、c型板；86、推杆；87、开关；88、顶杆；89、按块；9、支撑套块；10、弹簧；11、滑槽；12、限位机构；121、限位块；122、橡胶垫；123、套管；124、螺杆；125、第二握把；126、侧块；127、底杆；128、底槽；13、温度控制器；14、压力数据显示器；15、导流板；16、电动出气门；17、观察窗。
具体实施方式：
27.如图1
‑
6所示，本具体实施方式采用以下技术方案：一种mems传感器校准装置，包括校准室1，校准室1的内部底端固定连接有校准台2，校准台2的底端中部固定连接有压力传感器3，校准室1的内部上方一侧设置有冷暖风机4，校准台2底端的压力传感器3检测物体的压力，然后将信号传递至压力数据显示器14的信号接收器内，压力数据显示器14显示出压力数据，校准室1的内部顶端中部设置有测温计6，测温计6的两侧均设置有固定块7，固定块7的上端均固定连接于校准室1的内部顶端，测温计6固定连接于两个固定块7之间，通过室门上的观察窗17可以观察测温计6的温度，当测温计6温度稳定后，记录此时压力数据显示器14的压力数据，再继续调整冷暖风机4的出风温度，记录不同温度下压力数据显示器14的数据，方便对比不同温度下的压力数据，然后计算出温度改变时压力数据的改变量，可以进行校正，测温计6远离冷暖风机4的一侧设置有开关机构8，开关机构8包括气球84，气球84的一侧接触有推杆86，推杆86的外部设置有c型板85，c型板85固定连接于校准室1的内部顶壁，推杆86远离气球84的一侧上端固定连接有移动杆81，移动杆81滑动贯穿于c型板85上部，移动杆81位于c型板85外部的一端固定连接有按块89，按块89远离移动杆81的一侧设置有开关87，开关87与冷暖风机4电性连接，当校准室1内的温度过高时，高温会使得气体瓶83内的气体膨胀，气体通过连接管82使得气球84膨胀，气球84膨胀后会挤压推杆86，弹簧10随之压缩，带动移动杆81与按块89按动开关87，使得与开关87电性连接的冷暖风机4关闭，可以及时避免内部温度继续升高，校准室1靠近冷暖风机4的一侧外壁安装有压力数据显示器14。
28.其中，校准室1远离冷暖风机4的一侧中部安装有电动出气门16，校准室1远离电动出气门16的一侧外壁上部可拆卸连接有温度控制器13，温度控制器13与冷暖风机4电性连接，压力数据显示器14与校准室1外壁可拆卸连接，压力数据显示器14与压力传感器3电性连接，通过温度控制器13控制冷暖风机4的出风温度，压力数据显示器14可以显示压力数据，再继续调整冷暖风机4的出风温度，记录不同温度下压力数据显示器14的数据，方便对比不同温度下的压力数据。
29.其中，校准室1的一侧安装有室门且室门上安装有观察窗17，观察窗17为透明玻璃材质，通过室门上的观察窗17可以观察测温计6的温度。
30.其中，冷暖风机4的一侧设置有调节机构5，调节机构5包括固定杆51，固定杆51固
定连接于校准室1的内壁，固定杆51的内部设置有丝杆53，丝杆53上螺纹连接有滑块52，固定杆51相对冷暖风机4的一侧为开口结构，滑块52滑动连接于固定杆51的内部两侧之间，丝杆53的上端转动连接于固定杆51的上端内壁，丝杆53的下端贯穿固定杆51且固定连接有第一握把54，滑块52位于固定杆51外部的一端通过铰接座转动连接有第一连接杆55，第一连接杆55远离滑块52的一端与冷暖风机4转动连接，冷暖风机4的上端通过铰接座转动连接有第二连接杆56，第二连接杆56的上端转动连接于校准室1的内部顶壁，冷暖风机4的输出端与校准台2上端相对，需要调节冷暖风机4的角度时，通过转动调节机构5的第一握把54带动丝杆53转动，丝杆53上的滑块52移动带动第一连接杆55转动，可使得冷暖风机4的角度改变，便于将冷暖风机4对准校准台2上的物体。
31.其中，气球84远离推杆86的一端连接有连接管82，气球84套接在连接管82上，连接管82远离气球84的一端插接有气体瓶83，气体瓶83与连接管82的插接处粘合有密封圈，连接管82上连接有支撑套块9，支撑套块9固定连接于校准室1的内壁顶端，连接管82插接在支撑套块9中部，推杆86远离气球84的一侧中部固定连接有弹簧10，弹簧10远离推杆86的一端固定连接于c型板85内侧，c型板85上下两侧均开设有滑槽11，推杆86两端均滑动连接于滑槽11中，开关87远离按块89的一端固定连接有顶杆88，顶杆88上端固定连接于校准室1的内部顶壁，当校准室1内的温度过高时，高温会使得气体瓶83内的气体膨胀，气体通过连接管82使得气球84膨胀，气球84膨胀后会挤压推杆86，弹簧10随之压缩，带动移动杆81与按块89按动开关87，使得与开关87电性连接的冷暖风机4关闭，可以及时避免内部温度继续升高。
32.其中，校准台2的上方两侧均设置有限位机构12，限位机构12均包括限位块121，两个限位块121相互靠近的一侧均粘合有橡胶垫122，两个限位块121相互远离的一侧均固定连接有套管123，套管123内部均螺纹连接有螺杆124，校准台2的上端两侧中部均固定连接有侧块126，两个螺杆124分别贯穿且转动连接于两个侧块126中部，两个螺杆124相互远离的一端均固定连接有第二握把125，将物体放置在校准台2上，通过扭转两个限位机构12的第二握把125带动螺杆124转动，使得套管123移动，套管123底端的底杆127在底槽128内滑动，避免套管123随着螺杆124转动，两个套管123相向移动带动两个限位块121夹持住物体，使得物体放置稳固。
33.其中，套管123的底端中部均固定连接有底杆127，校准台2的上端两侧均开设有底槽128，底杆127的下部均滑动连接于底槽128内，套管123底端的底杆127在底槽128内滑动，避免套管123随着螺杆124转动。
34.其中，校准室1远离冷暖风机4的内部一侧上下内壁均固定连接有导流板15，校准室1远离气球84的内部一侧下壁固定连接有导流板15，导流板15均与水平方向呈四十五度角，校准室1内部的导流板15起到导流作用，使得风顺着导流板15流动更加快速，加快温度改变速度，提高数据记录的效率。
35.具体的：一种mems传感器校准装置，使用时，打开校准室1的室门，然后将物体放置在校准台2上，通过扭转两个限位机构12的第二握把125带动螺杆124转动，使得套管123移动，套管123底端的底杆127在底槽128内滑动，避免套管123随着螺杆124转动，两个套管123相向移动带动两个限位块121夹持住物体，避免物体移动，校准台2底端的压力传感器3检测物体的压力，然后将信号传递至压力数据显示器14的信号接收器内，压力数据显示器14显示出压力数据，然后打开冷暖风机4，冷暖风机4吹出风，通过温度控制器13控制冷暖风机4
的出风温度，温度控制器13的型号为8617rs，当冷暖风机4出风后，通过室门上的观察窗17可以观察测温计6的温度，当测温计6温度稳定后，记录此时压力数据显示器14的压力数据，再继续调整冷暖风机4的出风温度，记录不同温度下压力数据显示器14的数据，方便对比不同温度下的压力数据，然后计算出温度改变时压力数据的改变量，可以进行校正，需要调节冷暖风机4的角度时，通过转动调节机构5的第一握把54带动丝杆53转动，丝杆53上的滑块52移动带动第一连接杆55转动，可使得冷暖风机4的角度改变，便于将冷暖风机4对准校准台2上的物体，使得校准台2的温度最大程度接近冷暖风机4的出风温度，同时校准室1内部的导流板15起到导流作用，使得风顺着导流板15流动更加快速，加快温度改变速度，提高数据记录的效率，当校准室1内的温度过高时，高温会使得气体瓶83内的气体膨胀，气体通过连接管82使得气球84膨胀，气球84膨胀后会挤压推杆86，弹簧10随之压缩，带动移动杆81与按块89按动开关87，使得与开关87电性连接的冷暖风机4关闭，可以及时避免内部温度继续升高，操作者观察到测温计6的温度过高后，打开电动出气门16，可以使得校准室1内部的热气流向外面，起到降温作用。
36.以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点，本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内，本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。