用于测试集成电路产品的装置的制作方法

1.本发明涉及集成电路技术领域，特别是涉及一种用于测试集成电路产品的装置。


背景技术：

2.在集成电路产品的制造过程中，需要对制造完成的集成电路产品进行测试。通常，使用测试机和重力斜背式分选机筛选出具有结构缺陷或性能不符合要求的集成电路产品。重力斜背式分选机的机台与水平表面具有一定的倾斜角度，首先需要将测试机的测试头调整为与重力斜背式分选机的机台平行，然后将重力斜背式分选机的机台上的转接板的公头与测试机上的负载板的母头对准，以将公头插入母头中，以进行后续测试。
3.然而，现有技术只能通过人工手段完成上述动作，这存在着诸多缺陷。一方面，测试头的重量约为100kg，重力斜背式分选机的机台的重量约为200kg，使用人工方式移动测试头和重力斜背式分选机的机台费时费力。另一方面，依靠人工经验调整测试头与重力斜背式分选机的机台，难以使二者准确地平行，而且效率低下。测试机上的负载板的母头通常是塑料材料制成，在将重力斜背式分选机的机台上的转接板的公头与测试机的负载板的母头对准过程中，由于只有母头进行限位，难以顺利地对准，导致在对准过程中母头很容易被插裂。并且，一旦重力斜背式分选机的机台与测试机的测试头之间的接触角度存在偏差，公头与母头之间的连接会很容易松动，进而导致电连接不稳定。并且，若人工移动测试机或重力斜背式分选机的力量过大会导致测试头的引脚与负载板的接触不好，且会导致引脚下陷，后续维修较为困难。再者，部分集成电路产品对公头与母头接触的要求很高，仅依靠人工手段实现上述对准，生产效率低下。
4.因而，业内需要一种克服上述问题的用于测试集成电路产品的装置。


技术实现要素：

5.本发明提供了一种用于测试集成电路产品的装置，其实现了重力斜背式分选机的机台与测试机的测试头的自动对准，提高了生产效率。
6.本发明的一实施例提供一种用于测试集成电路产品的装置，其包括：输入端口；及运动构件，其与输入端口连接，运动构件包括：第一部分；及第二部分，其与第一部分连接，第一部分经配置以带动第二部分移动，且第二部分经配置以相对于第一部分转动。
7.在本发明的另一实施例中，第一部分经配置以带动第二部分沿着用于测试集成电路产品的装置的第一方向移动，且/或沿着用于测试集成电路产品的装置的第二方向移动，第一方向垂直于第二方向。
8.在本发明的又一实施例中，第一部分包括第一臂及与第一臂相对设置的第二臂，第一臂与第二臂均包括经配置以连接至第二部分以带动第二部分移动的第一传动元件，且第一传动元件经配置以在第一臂与第二臂中移动。
9.在本发明的另一实施例中，第一传动元件为板状元件。
10.在本发明的又一实施例中，第一臂包括第二传动元件，该第二传动元件经配置以
连接至第一电动机且第二传动元件设置有第一滑块，该第一滑块经配置以在第一电动机的带动下在第二传动元件上移动。
11.在本发明的另一实施例中，第二传动元件为丝杠。
12.在本发明的又一实施例中，第一臂包括经配置以连接至第一传动元件的第二滑块，且该第二滑块经配置以在第一滑块的带动下移动。
13.在本发明的另一实施例中，第二滑块经配置以设置于第一臂内的第一轨道上，或该第二滑块经配置以设置于位于第一臂内的第一轨道上且设置于位于第一臂内的第二轨道上。
14.在本发明的又一实施例中，第二臂包括经配置以连接至第一传动元件的第三滑块。
15.在本发明的另一实施例中，第三滑块经配置以设置于第二臂内的第三轨道上，或第三滑块经配置以设置于位于第二臂内的第三轨道上且设置于位于第二臂内的第四轨道上。
16.在本发明的又一实施例中，第一部分进一步包括连接第一臂与第二臂的第三臂。
17.在本发明的另一实施例中，用于测试集成电路产品的装置进一步连接至第二部分且经配置以使第二部分相对于第一部分转动的角度调整构件，角度调整构件包括：第二电动机；及第三传动元件，其连接至第二电动机和第二部件，且经配置以在第二电动机的带动下使第二部分转动。
18.在本发明的又一实施例中，角度调整构件还包括制动元件，该制动元件经配置以在第三传动元件旋转结束后固定第三传动元件。
19.在本发明的另一实施例中，角度调整构件还包括动力元件，该动力元件经配置以连接至制动元件。
20.在本发明的又一实施例中，动力元件为气缸。
21.在本发明的另一实施例中，制动元件经配置以在动力元件处于伸出状态时释放第三传动元件，且经配置以在动力元件处于缩回状态时固定第三传动元件。
22.在本发明的又一实施例中，角度调整构件还包括连接至第三传动元件的支撑元件。
23.在本发明的另一实施例中，第二部分包括第一承载表面，该第一承载表面设置有第一测试接口及围绕第一测试接口的定位元件。
24.在本发明的又一实施例中，输入端口经配置以控制运动构件的运动。
25.在本发明的另一实施例中，用于测试集成电路产品的装置进一步包括经配置以带动第一部分沿着用于测试集成电路产品的装置的一方向移动的第三部分。
26.本发明实施例提供的用于测试集成电路产品的装置可实现重力斜背式分选机的机台与测试机的测试头的自动对准，不仅提高了生产效率，而且还避免了对测试装置造成损坏。
附图说明
27.图1是根据本发明一实施例的用于测试集成电路产品的装置和重力斜背式分选机的示意图
28.图2是图1所示的用于测试集成电路产品的装置的运动构件的一部分的示意图
29.图3是图1所示的用于测试集成电路产品的装置的角度调整构件和运动构件的第二部分的示意图
30.图4是图1所示的用于测试集成电路产品的装置的运动构件的第二部分和重力斜背式分选机的一部分的示意图
具体实施方式
31.本技术的实施例将会被详细的描示在下文中。在本技术说明书全文中，将相同或相似的组件以及具有相同或相似的功能的组件通过类似附图标记来表示。在此所描述的有关附图的实施例为说明性质的、图解性质的且用于提供对本技术的基本理解。本技术的实施例不应被解释为对本技术的限制。
32.如本文中所使用，术语“约”、“大体上”、“实质上”用以描述及说明小的变化。当与事件或情形键合使用时，术语可指代其中事件或情形精确发生的例子以及其中事件或情形极近似地发生的例子。举例来说，当键合数值使用时，术语可指代小于或等于数值的
±
10％的变化范围，例如小于或等于
±
5％、小于或等于
±
0.5％、或小于或等于
±
0.05％。举例来说，如果两个数值之间的差值小于或等于值的平均值的
±
10％，那么可认为两个数值“大体上”相同。
33.再者，为便于描述，“第一”、“第二”、“第三”等等可在本文中用于区分一个图或一系列图的不同组件。“第一”、“第二”、“第三”等等不意欲描述对应组件。
34.在本技术中，除非经特别指定或限定之外，“设置”、“连接”、“耦合”、“固定”以及与其类似的用词在使用上是广泛地，而且本领域技术人员可根据具体的情况以理解上述的用词可是，比如，固定连接、可拆式连接或集成连接；其也可是机械式连接或电连接；其也可是直接连接或通过中介结构的间接连接；也可是两个组件的内部通讯。
35.为更好的理解本发明的精神，以下结合本发明的部分优选实施例对其作进一步说明。
36.图1是根据本发明一实施例的用于测试集成电路产品的装置100和重力斜背式分选机20的示意图。图2是图1所示的用于测试集成电路产品的装置100的运动构件30的一部分的示意图。图3是图1所示的用于测试集成电路产品的装置100的角度调整构件305和运动构件30的第二部分303的示意图。图4是图1所示的用于测试集成电路产品的装置100的运动构件30的第二部分303和重力斜背式分选机20的一部分的示意图。
37.如图1至图4所示，该用于测试集成电路产品的装置100可具有输入端口10及运动构件30。用于测试集成电路产品的装置100可具有沿着x方向(即，第一方向)上延伸的长度、沿着y方向(即，第二方向)上延伸的高度，及沿着垂直于x-y所在平面的方向延伸的厚度。第一方向垂直于第二方向。
38.输入端口10可经配置以控制运动构件30的运动。操作人员可通过操作输入端口10使得运动构件30的第一部分301在第一方向及第二方向中的至少一者上运动，以此带动运动构件30的第二部分303在x方向上的移动和y方向上的移动，从而将用于测试集成电路产品的装置100调整到与重力斜背式分选机20进行配合的合适位置。具体的，在一实施例中，操作人员可通过操作输入端口10使得运动构件30的第一部分301在第一方向上运动，以此
带动运动构件30的第二部分303在x方向上的移动。在另一实施例中，操作人员可通过操作输入端口10使得运动构件30的第一部分301在第一方向及第二方向上运动，以此带动运动构件30的第二部分303在x方向上的移动和y方向上的移动。在又一实施例中，操作人员可通过操作输入端口10使得运动构件30的第一部分301在第二方向上运动，以此带动运动构件30的第二部分303在y方向上的移动。操作人员可通过操作输入端口10使得运动构件30的第二部分303相对于第一部分301转动，从而将用于测试集成电路产品的装置100的第二部分303调整到与重力斜背式分选机20平行的角度。例如，重力斜背式分选机20与水平面之间的倾斜角度为约60度时，第二部分303上的与重力斜背式分选机20对接的第一承载表面3031可被输入端口10调整为与水平面之间的倾斜角度为约60度。当第二部分303调整到与重力斜背式分选机20平行后，操作人员可通过操作输入端口10对第二部分303的位置进行微调，以将重力斜背式分选机20上的第二测试接口201插入第二部分303的负载板3031a上的第一测试接口3031b。输入端口10可包括人机触摸屏和分屏示教器。操作人员可通过触摸人机触摸屏对运动构件30进行位置控制和角度调节。分屏示教器可与人机触摸屏连接。操作人员可携带分屏示教器以在任何位置能够操控运动构件30。输入端口10可包括集成电控箱，其包括对用于测试集成电路产品的装置100进行控制的电路设置。
39.运动构件30可与输入端口10连接。运动构件30可包括第一部分301及第二部分303。
40.第一部分301可经配置以带动第二部分303沿着用于测试集成电路产品的装置100的第一方向及第二方向中的至少一者移动。第一部分301可经配置以连接至用于测试集成电路产品的装置100的第三部分307。第三部分307可经配置以连接至输入端口10。第三部分307可经配置以沿着用于测试集成电路产品的装置10的y方向上移动，从而带动第一部分301沿着用于测试集成电路产品的装置10的y方向上移动，以调整第一部分301和第二部分303的高度。第三部分307可经配置以带动第一部分301围绕x轴转动，以调整第一部分301与水平面之间的角度。第一部分301可包括第一臂3011、第二臂3013及第三臂3015。第一臂3011和第二臂3013可相对设置。
41.第一臂3011可包括经配置以连接至第二部分303以带动第二部分303移动的第一传动元件301a。第一传动元件301a可经配置以在第一臂3011中移动。第一传动元件301a可为板状元件，或任意合适形状的元件。当第一传动元件301a沿正x方向移动时，第一传动元件301a带动第二部分303沿正x方向移动，从而带动第二部分303移动，以缩短第二部分303与重力斜背式分选机20在x方向上的距离。当第一传动元件301a沿负x方向移动时，第一传动元件301a带动第二部分303沿负x方向移动，从而带动第二部分303移动，以增加第二部分303与重力斜背式分选机20在x方向上的距离。
42.第一臂3011可包括第二传动元件3011a。第二传动元件3011a可为丝杠。丝杠可便于高精度自动化调节控制。在本技术其它实施例中，第二传动元件3011a可为任意合适的具有传动功能的元件。第二传动元件3011a可经配置以连接至第一电动机3011b。第二传动元件3011a可设置有第一滑块3011a'。第一滑块3011a'可经配置以在第一电动机3011b的带动下在第二传动元件3011a上移动。可通过输入端口10控制第一电动机3011b转动。第一电动机3011b可带动第二传动元件3011a沿着逆时针方向旋转或顺时针方向旋转，从而使得第二传动元件3011a转动，进而带动第一滑块3011a'沿正x方向或负x方向移动。
43.第一臂3011可包括经配置以连接至第一传动元件301a的第二滑块3011c。第二滑块3011c可经配置以在第一滑块3011a'的带动下移动。第二滑块3011c可经配置以设置于第一臂3011内的第一轨道3011d上，且设置于位于第一臂3011内的第二轨道3011e上。在本技术其它实施例中，第二滑块3011c可经配置以设置于第一臂3011内的第一轨道3011d及第一臂3011内的第二轨道3011e中的任一者上。当第一滑块3011a'移动时，其带动第二滑块3011c在第一轨道3011d和第二轨道3011e中的至少一者上移动,第二滑块3011c进一步带动第一传动元件301a在第一臂3011中移动。第二滑块3011c的位置和数量可根据具体需要设置。
44.第二臂3013可包括经配置以连接至第二部分303以带动第二部分303移动的第一传动元件301a。第一传动元件301a可经配置以在第二臂3013中移动。第二臂3013可包括经配置以连接至第一传动元件301a的第三滑块3013a。第三滑块3013a可经配置以设置于第二臂3013内的第三轨道3013b，且设置于位于第二臂3013内的第四轨道3013c上。在本技术其它实施例中，第三滑块3013a可经配置以设置于第二臂3013内的第三轨道3013b及第二臂3013内的第四轨道3013c中的任一者上。第三滑块3013a的位置和数量可根据具体需要设置。第三臂3015可连接第一臂3011与第二臂3013，其位于第一臂3011与第二臂3013之间。当第一传动元件301a在第一臂3011中移动时，第二臂3013内的第一传动元件301a也相应在第二臂3013中移动。在本技术其它实施例中，可使得第二臂3013具有与第一臂3011完全相同的设置。本技术实施例在第一臂3011及第二臂3013中的一者采用第一传动元件301a，第一臂3011及第二臂3013均设置导轨及位于导轨上的滑块，且使得第一传动元件301a连接至第一电动机3011b，从而通过操作输入端口10以对第一电动机3011b进行自动控制，以带动第一传动元件301a传动，进而使得第一传动元件301a带动第二部分303移动，因而实现自动化控制第二部分303在x方向上的移动。同时，采用伺服丝杆机构可实现在x方向上的移动的高精度位置控制。
45.第二部分303可与第一部分301连接。第一部分301可经配置以带动第二部分303移动。第二部分303可经配置以相对于第一部分301转动。第二部分303可包括第一承载表面3031。第一承载表面3031可设置有负载板3031a。负载板3031a可设置有第一测试接口3031b及围绕第一测试接口3031b的定位元件3031b。第一测试接口3031b可容纳重力斜背式分选机20的第二测试接口201。第一测试接口3031b可为母头。第二测试接口201可为公头。定位元件3031b可设置于第二部分303的固定架上。定位元件3031b可与重力斜背式分选机20的定位元件203配合。定位元件203可位于重力斜背式分选机20的打底板上。定位元件3031b与定位元件203中的一者可为定位销，另一者可为定位套筒。定位套筒可为高精度自润滑定位套筒，其可引导测试接口的插接，防止插偏，保护测试接口。定位销可为球头自润滑耐磨定位销，其与定位套筒配合用于辅助定位，以引导测试接口的插接，防止插偏，避免第一测试接口3031b在对接过程中被损坏。因此，当操作人员通过分屏式教器控制第二部分303移动到与重力斜背式分选机20配合的合适位置时，通过定位元件3031b与定位元件3031b的限位来防止负载板3031a的第一测试接口3031b损坏。同时，通过定位元件3031b与定位元件3031b的限位来实现第一测试接口3031b与第二测试接口201的精准对接，从而避免测试接口之间的接触不良。
46.该用于测试集成电路产品的装置100还可具有角度调整构件305。角度调整构件
305可连接至第二部分303且经配置以使第二部分303相对于第一部分301转动。角度调整构件305可包括第二电动机3051、第三传动元件3053、制动元件3055、动力元件3057及支撑元件3059。
47.第二电动机3051可经配置以被输入端口10控制。第二电动机3051可固定在支撑元件3059上。第二电动机3051通过旋转带动第三传动元件3053旋转，从而调整第二部分303的旋转角度。第三传动元件3053可连接至第二电动机3051和第二部件303，且经配置以在第二电动机3051的带动下使第二部件303转动。第三传动元件3053可为轴承。本技术实施例通过采用伺服减速直联机构，便于高精度自动化控制调节。制动元件3055可固定至动力元件3057。制动元件3055可经配置以在第三传动元件3053旋转结束后固定第三传动元件3053，以抱死第三传动元件3053，从而防止角度自然偏移。制动元件3055可经配置以在动力元件3057处于伸出状态时释放第三传动元件3053以使得第三传动元件3053带动第二部件303旋转，且经配置以在动力元件3057处于缩回状态时固定第三传动元件3053以防止第三传动元件3053的自然偏移带动第二部件303旋转。动力元件3057可经配置以连接至制动元件3055。动力元件3057可为气缸。动力元件3057可通过支撑架固定在第二部件303的支架上。制动元件3055可固定至动力元件3057的顶针上。支撑元件3059可连接至第三传动元件3053。支撑元件3059内可容纳第三传动元件3053。支撑元件3059可固定至第一传动元件301a。本技术实施例通过设置角度调整构件305，使得第二部件303在输入端口10的自动化控制下实现高精度的角度旋转，且通过设置制动元件3055防止旋转结束后的角度自然偏移，从而确保用于测试集成电路产品的装置100的第二部分303与重力斜背式分选机20平行的角度，以使得第一测试接口3031b可与第二测试接口201完全接触，避免接触不良。
48.本技术实施例提供的用于测试集成电路产品的装置100可以实现与重力斜背式分选机20的自动化对准。操作人员通过输入端口10使得第一部分301带动第二部件303在x和y方向上移动，将第二部件303移动到准备与重力斜背式分选机20对准的适当位置。操作人员通过输入端口10使得通过角度调整构件305使第二部件303旋转至与重力斜背式分选机20平行的位置，以便后续测试接口的准确对准。操作人员通过输入端口10进一步微调第二部件303，使其在平行于重力斜背式分选机20的状态下朝向重力斜背式分选机20移动，以使得第一测试接口3031b与第二测试接口201可完全接触。因此，本技术实施例提供的用于测试集成电路产品的装置100可确保第一测试接口3031b与第二测试接口201顺利且准备地接触，提高了测试效率，又避免了对测试装置的损坏，降低了生产成本及维修成本。
49.本发明的技术内容及技术特点已揭示如上，然而熟悉本领域的技术人员仍可能基于本发明的教示及揭示而作种种不背离本发明精神的替换及修饰。因此，本发明的保护范围应不限于实施例所揭示的内容，而应包括各种不背离本发明的替换及修饰，并为本专利申请权利要求书所涵盖。