一种基于无线数据传输的压力传感器

1.本实用新型涉及压力传感器领域，具体为一种基于无线数据传输的压力传感器。


背景技术：

2.根据受到压力的膜片的挠曲量也就是位移来输出压力值的压力传感器在以半导体设备为首的工业用途中得到了广泛使用，在半导体装置的制造中，使用有基于气相沉积的各种成膜装置、干式蚀刻装置，在这样的制造装置中，为了形成nm单位厚度的薄膜，要准确地控制处理室内的压力、工艺气体的分压等，压力的准确测量就变得重要起来，为了实现这种压力测量，使用有压力传感器。
3.在这种压力传感器中，要求对工艺气体等用于装置的气体的耐腐蚀性，而且对成膜等工艺中产生的副产物也要求耐性，此外，在成膜工艺中，在成膜室内壁、管道内壁、真空泵内部以及压力传感器的受压部即膜片等工艺气体所通过的部位会产生沉积而引起各种问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种基于无线数据传输的压力传感器，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种基于无线数据传输的压力传感器，包括箱体，所述箱体的内侧活动连接有压力传递板，所述压力传递板的顶部固定连接有支撑柱，所述支撑柱的顶端设置有顶板，所述顶板的顶部设置有挤压板，所述压力传递板的底端活动连接有力敏电阻，所述箱体的外侧设置有固定板，所述箱体的底部设置有定位柱和限位柱，所述定位柱的内侧滑动连接有检测杆，所述检测杆的顶端设置有电触点和回位弹簧，所述箱体的一侧设置有无线数据处理终端,所述无线数据处理终端的顶部设置有警示器和数据交流天线，所述无线数据处理终端一端的内部设置有mcu芯片，所述无线数据处理终端另一端的内部设置有电池。
6.进一步的，所述箱体的内部开设有密封腔，所述密封腔的内底壁设置有力敏电阻，所述密封腔的内壁与压力传递板的外侧活动连接，所述密封腔使压力传递板和力敏电阻处在一个密闭的干燥环境中。
7.进一步的，所述顶板的外侧设置有密封盖，所述密封盖的内侧与箱体的外侧活动连接，所述密封盖减少灰尘和水分对箱体顶部的侵蚀。
8.进一步的，所述挤压板的顶部设置有摩擦纹路，所述支撑柱的外侧设置有密封橡胶圈，所述密封橡胶圈的外侧与箱体的内侧滑动连接，所述摩擦纹路使挤压板具备一定的摩擦力，防止测量时发生滑脱，所述支撑柱将压力传递给压力传递板和力敏电阻。
9.进一步的，所述无线数据处理终端设置有包括蓝牙、wifi、zigbee在内的其中一种无线数据传输模块，所述无线数据处理终端可以提供包括蓝牙、wifi、zigbee在内的其中一种无线数据传输方式。
10.进一步的，所述定位柱的内部开设有触发腔，所述触发腔的内壁与检测杆的外侧滑动连接，所述触发腔的内顶壁设置有电触点，所述定位柱使箱体被限位和稳定安装。
11.进一步的，所述检测杆的底端设置有挤压板，所述挤压板的顶部与定位柱的外侧活动连接，所述mcu芯片与力敏电阻之间由数据传输线缆连接，所述检测杆检测箱体是否被稳定安装，所述 mcu芯片可将采集的数据进行数模转换。
12.与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：
13.1、本实用新型通过顶板、挤压板、支撑柱、压力传递板、力敏电阻的使用，对压力进行传导和检测，将力敏电阻置于独立、干燥稳定的环境中，大大减少了外界空气、水分的腐蚀作用，延长压力传感器的使用寿命，通过mcu芯片、无线数据处理终端和数据交流天线的使用，及时快捷的将压力整理数据上传，实现远程无线监测。
14.2、本实用新型通过定位柱和限位柱的使用，便于箱体的快速稳定的安装，通过检测杆、电触点、回位弹簧和警示器的使用，监测箱体是否安装到位，确保箱体得到稳定的固定安装，确保监测到的数值真实有效。
附图说明
15.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
16.图1是本实用新型的正面剖视结构示意图；
17.图2是本实用新型的俯视结构示意图；
18.图3是本实用新型的图1中a部分局部放大结构示意图。
19.图中：1、箱体；2、顶板；3、挤压板；4、支撑柱；5、压力传递板；6、力敏电阻；7、无线数据处理终端；8、警示器；9、数据交流天线；10、定位柱；11、固定板；12、检测杆； 13、限位柱；14、电触点；15、回位弹簧；16、mcu芯片；17、电池。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.如图1-2所示的一种基于无线数据传输的压力传感器，包括箱体1，所述箱体1的内侧活动连接有压力传递板5，所述压力传递板5的顶部固定连接有支撑柱4，所述支撑柱4的顶端设置有顶板2，所述顶板2的顶部设置有挤压板3，所述压力传递板5的底端活动连接有力敏电阻6，所述箱体1的外侧设置有固定板11，所述箱体1的一侧设置有无线数据处理终端7，所述无线数据处理终端7一端的内部设置有mcu芯片16，所述无线数据处理终端7 另一端的内部设置有电池17。
22.在一个优选的实施方式中，所述箱体1的内部开设有密封腔，所述密封腔的内底壁设置有力敏电阻6，所述密封腔的内壁与压力传递板5的外侧活动连接，所述密封腔使压力传递板5和力敏电阻6处在一个密闭的干燥环境中。
23.在一个优选的实施方式中，所述顶板2的外侧设置有密封盖，所述密封盖的内侧与
箱体 1的外侧活动连接，所述密封盖减少灰尘和水分对箱体1顶部的侵蚀。
24.在一个优选的实施方式中，所述挤压板3的顶部设置有摩擦纹路，所述支撑柱4的外侧设置有密封橡胶圈，所述密封橡胶圈的外侧与箱体1的内侧滑动连接，所述摩擦纹路使挤压板3具备一定的摩擦力，防止测量时发生滑脱，所述支撑柱4将压力传递给压力传递板5和力敏电阻6。
25.在一个优选的实施方式中，所述无线数据处理终端7设置有包括蓝牙、wifi、zigbee在内的其中一种无线数据传输模块，所述无线数据处理终端7可以提供包括蓝牙、wifi、zigbee 在内的其中一种无线数据传输方式。
26.具体实施方式为：当压力中介作用在挤压板3处，压力经过挤压板3传递给顶板2，通过顶板2经支撑柱4和压力传递板5，最终将压力传递给力敏电阻6以供检测，其中箱体1 形成稳定的内腔环境，使力敏电阻6可以始终高效正常的运作，通过顶板2、挤压板3、支撑柱4、压力传递板5、力敏电阻6的使用，对压力进行传导和检测，将力敏电阻6置于独立、干燥稳定的环境中，大大减少了外界空气、水分的腐蚀作用，延长压力传感器的使用寿命，通过mcu芯片16、无线数据处理终端7和数据交流天线9的使用，及时快捷的将压力整理数据通过无线传输的方式上传，实现远程无线监测。
27.如图1和图3所示的一种基于无线数据传输的压力传感器，还包括箱体1，所述箱体1 的底部设置有定位柱10和限位柱13，所述定位柱10的内侧滑动连接有检测杆12，所述检测杆12的顶端设置有电触点14和回位弹簧15,所述无线数据处理终端7的顶部设置有警示器8和数据交流天线9。
28.在一个优选的实施方式中，所述定位柱10的内部开设有触发腔，所述触发腔的内壁与检测杆12的外侧滑动连接，所述触发腔的内顶壁设置有电触点14，所述定位柱10使箱体1 被限位和稳定安装。
29.在一个优选的实施方式中，所述检测杆12的底端设置有挤压板，所述挤压板的顶部与定位柱10的外侧活动连接，所述mcu芯片16与力敏电阻6之间由数据传输线缆连接，所述检测杆12 检测箱体1是否被稳定安装，所述mcu芯片16可将采集的数据进行数模转换。
30.具体实施方式为：仅当检测杆12和回位弹簧15处于完全挤压状态，及两组电触点14 均电性连接时，警示器8亮灯标识安装达到要求。通过定位柱10和限位柱13的使用，便于箱体1的快速稳定的安装，通过检测杆12、电触点14、回位弹簧15和警示器8的使用，监测箱体1是否安装到位，确保箱体1得到稳定的固定安装，确保监测到的数值真实有效。
31.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
32.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均
应包含在本实用新型的保护范围之内。