功率半导体器件测试系统的制作方法

1.本实用新型涉及电子元器件测试技术领域，尤其涉及一种功率半导体器件测试系统。


背景技术：

2.功率半导体测试分析是功率半导体设计、制造、封装的重要核心测试设备，解决国产替代的进程将有利于我国本土功率半导体产业的快速发展，只有功率半导体测试设备生产水平提高了才能和功率半导体厂商相结合推动我国功率半导体产业的快速发展。功率半导体产业的发展需要电子科学与技术相关高校、科研院所提供技术人才，通过不断的进行实验验证，才能设计出稳定的电路系统与功率器件，达到功率半导体器件的技术要求。
3.然而，国外的半导体功率器件测试仪器价格昂贵，采购及维护周期长，国内搭建的测试平台也相对较为陈旧与笨重，测试精度不高。
4.中国专利申请号为：201920273272.7，申请日是:2019年03月05日，公开日是：2019年12月06日，专利名称为：功率半导体器件功率循环测试系统，该发明公开了一种智功率半导体器件功率循环测试系统，设有控制电路及由控制电路控制的稳压电源、制冷装置及被测器件驱动电路；所述稳压电源的输出分别与多个检测支路相接；所述检测支路设有与稳压电源相接的检流电阻，与检测电阻串联有由控制电路控制开断的低阻开关器件，与低阻开关器件并联有分压电阻，所述检流电阻两端与模拟信号选择电路相接，模拟信号选择电路的输出与电压信号采集电路相接；所述电压信号采集电路的输出与控制电路相接；测试时，所述被测器件驱动电路与被测器件栅极相接，所述低阻开关器件与被测器件相串联，所述模拟信号选择电路亦接于被测器件源极与漏极之间。
5.上述专利文献公开了一种功率半导体器件功率循环测试系统，但是该专利系统测试不够准确，功能单一，成本较高，不能满足市场需求。


技术实现要素：

6.有鉴于此，本实用新型在于提供一种智能化程度高，测试精准，结构合理，成本较低，功能多样，可靠性强的一种功率半导体器件测试系统。
7.为了实现本实用新型目的，可以采取以下技术方案：
8.一种功率半导体器件测试系统，包括单路电源输入电路，转换输出多路电源模块，电流采样模块，电流放大模块，ac
‑
dc转换模块，主控 mcu模块，切换模块，电流测试模块，电压测试模块，功率测试模块；
9.所述单路电源输入电路，用于输入电路电源；所述转换输出多路电源模块，用于将单路输入电源转换为多路电源输出；所述电流采样模块，用于采样电流信号；所述电流放大模块，用于对电流信号放大；所述ac
‑
dc 转换模块，用于将模拟信号转换为数字信号；所述主控mcu模块，用于控制分析信号信息；所述切换模块，用于控制切换测试信号；所述电流测试模块，用于测试电流信号；所述电压测试模块，用于测试电压信号；所述功率测试模块，用
于测试功率信号；
10.所述单路电源输入电路将单路电源信号通过转换输出多路电源模块输入至该电流采样模块；所述电流采样模块通过电流放大模块将放大信号输入至该ac
‑
dc转换模块，该ac
‑
dc转换模块将模拟信号转换为数字信号输入至该主控mcu模块；所述主控mcu模块通过切换模块分别控制电流测试模块、电压测试模块、功率测试模块。
11.可选地，所述主控mcu模块为型号lt3599芯片。
12.可选地，所述转换输出多路电源模块包括滤波稳压模块，该滤波稳压模块，用于对多路输出电源信号滤波稳压。
13.可选地，所述电流测试模块包括微电流测试模块和大电流测试模块。
14.可选地，所述电流测试模块包括电流保护电路，该电流保护电路用于保护电流测试模块进行电流测试。
15.可选地，所述电压测试模块包括中低电压测试模块和高电压测试模块。
16.可选地，所述电压测试模块包括电压保护电路，该电压保护电路用于保护电压测试模块进行电压测试。
17.可选地，所述主控mcu模块包括故障告警模块，该故障告警模块用于故障告警。
18.可选地，所述主控mcu模块包括显示模块，该显示模块用于显示测试信息。
19.本实用新型提供的技术方案的有益效果是:1)本实用新型通过输出多路电源模块和主控mcu模块处理分析电路信息，可以准确地测试功率半导体器件的各种电流和各种电压、功率参数，并且控制该系统更加便捷； 2)本实用新型功能多样，保证了测试电流和电压参数的稳定性和可靠性，大大提高了功率半导体器件测试系统的使用寿命；3)本实用新型适用场所广泛，成本较低，结构合理，是现有技术的一次升级改进。
附图说明
20.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对本实用新型实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
21.图1为本实用新型实施例功率半导体器件测试系统的结构示意图；
22.图2为本实用新型实施例功率半导体器件测试系统电流保护电路的结构示意图；
23.图3为本实用新型实施例功率半导体器件测试系统电压保护电路的结构示意图。
具体实施方式
24.下面结合附图及本实用新型的实施例对实用新型作进一步详细的说明。
25.实施例1
26.参看图1，该一种功率半导体器件测试系统，包括单路电源输入电路 1，转换输出多路电源模块2，电流采样模块3，电流放大模块4，ac
‑
dc 转换模块5，主控mcu模块6，切换模块7，电流测试模块8，电压测试模块9，功率测试模块10；
27.所述单路电源输入电路1，用于输入电路电源；所述转换输出多路电源模块2，用于将单路输入电源转换为多路电源输出；所述电流采样模块 3，用于采样电流信号，所述电流放大模块4，用于对电流信号放大，所述 ac
‑
dc转换模块5，用于将模拟信号转换为数字信
号；所述主控mcu模块6，用于控制分析信号信息；所述切换模块7，用于控制切换测试信号；所述电流测试模块8，用于测试电流信号；所述电压测试模块9，用于测试电压信号；所述功率测试模块10，用于测试功率信号；
28.所述单路电源输入电路1将单路电源信号通过转换输出多路电源模块 2输入至该电流采样模块3，所述电流采样模块3通过电流放大模块4将放大信号输入至该ac
‑
dc转换模块5，该ac
‑
dc转换模块5将模拟信号转换为数字信号输入至该主控mcu模块6；所述主控mcu模块6通过切换模块7分别控制电流测试模块8、电压测试模块9、功率测试模块10。
29.优选地，所述主控mcu模块6为型号lt3599芯片。
30.本实施例中，所述单路电源输入电路1将只有一路电源输入，经过该多路电源模块2经内部的整流、滤波、电压转换和稳压处理后，转换输出至电流采样模块3，该电流采样模块3通过电流放大模块4将多路输出放大信号输入至该ac
‑
dc转换模块5，所述ac
‑
dc转换模块5将数字信号输入所述该主控mcu模块6；通过该主控mcu模块6分别控制电流测试模块8、电压测试模块9、功率测试模块10进行测试，这样不仅测试准确率高，而且更加可靠，结构相对来说比价简单，成本也比较低。
31.本实施例中，所述转换输出多路电源模块2包括滤波稳压模块21，该滤波稳压模块21，用于对多路输出电源信号滤波稳压。
32.所述滤波稳压模块21对多路输出电源信号滤波稳压，进一步保证了该多路输出电源信号稳定性，对该主控mcu模块6控制各种测试模准确测试提供了保障。
33.本实施例中，所述电流测试模块8包括微电流测试模块81和大电流测试模块82，通过该微电流测试模块81和大电流测试模块82测试电流参数，这样，得出的电流参数更加准确，稳定，可靠。
34.本实施例，优选地，所述电流测试模块8包括电流保护电路83，该电流保护电路83用于保护电流测试模块8进行电流测试。
35.当然，该电流保护电路83也用于保护该微电流测试模块81和大电流测试模块82进行电流测试。
36.本实施例中，所述电压测试模块9包括中低电压测试模块91和高电压测试模块92。通过该中低电压测试模块91和高电压测试模块92进行电压测试，得到的电压参数更加准确，稳定，可靠。
37.本实施例，优选地，所述电压测试模块9包括电压保护电路93，该电压保护电路93用于保护电压测试模块进行电压测试。
38.所述电压保护电路93也用于保护该中低电压测试模块91和高电压测试模块92进行电压测试。
39.本实施例，优选地，所述主控mcu模块6还包括故障告警模块61，该故障告警模块61用于故障告警。
40.当本系统测试出现故障，该故障告警模块61发出告警信息，提醒工作人员及时处理故障，维护正常测试工作。
41.本实施例，优选地，所述主控mcu模块6包括显示模块62，该显示模块62用于显示测试信息。
42.所述显示模块62通过主控mcu模块6控制可以显示各种测试参数和各种测试信息，
大大方便了测试人员及时了解测试信息。
43.实施例2
44.参看图2，图3，与上述实施例的不同之处在于，所述电流保护电路 83还包括过流保护电路831、过载保护电路832，过热保护电路833；通过该过流保护电路831、过载保护电路832，过热保护电路833对电流测试模块8的保护，使电流测试工作更加稳定可靠。
45.本实施例，优选地，所述电压保护电路93还包括过压保护电路931、过载保护电路932，过热保护电路933；通过该过压保护电路931、过载保护电路932，过热保护电路933对电压测试模块9的保护，使电压测试工作更加稳定可靠。
46.本实用新型通过研究高精度大电流发生技术，实现大量程范围内输出电流的高精度受控输出，并有效解决开关电源对控制电路的各种干扰问题，满足试验对注入电流进行高精度连续调节的要求。
47.在各种电器设备中，电磁干扰的问题普遍存在，并且，在对功率半导体进行高压大电流测试时，主要存在有试验电流的准确控制及功率半导体开关过程中产生的尖峰电压防范问题。试验电流如果过大会导致功率半导体器件损坏，电流不足则达不到测试要求，功率半导体在开断过程中产生的尖峰电压也会使功率半导体器件损坏。
48.因此，通过不断改进技术方案，采用高效率低噪声多级隔离技术，有效减小开关电源对控制电路的电磁干扰，为实现高精度大电流输出创造了条件。利用多模块并联及闭环控制技术实现了大量程范围内输出电流的高精度受控输出，满足试验对注入电流进行高精度连续调节的要求。
49.以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。