一种芯片外观参数测量台仪器的制作方法

文档序号:29116628发布日期:2022-03-02 06:45阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种芯片外观参数测量台仪器,包括光学测量探头(3),其特征在于:所述光学测量探头(3)设置在测量杆(2)的顶部,所述测量杆(2)的下端连接有底座(1),所述底座(1)上分别设置有第一固定卡爪(4)、第二固定卡爪(5)、第一活动卡爪(6)和第二活动卡爪(7),所述第一活动卡爪(6)滑动连接于第一滑杆(12),所述第二活动卡爪(7)滑动连接于第二滑杆(9),所述第一滑杆(12)和第二滑杆(9)分别设置于第一凹槽(11)和第二凹槽(8)内,所述第一滑杆(12)套设有第一弹簧(13),所述第一弹簧(13)一侧连接于第一凹槽(11),所述第一弹簧(13)的另一侧连接于第一活动卡爪(6),所述第二滑杆(9)套设有第二弹簧(10),所述第二弹簧(10)一侧连接于第二凹槽(8),所述第二弹簧(10)的另一侧连接于第二活动卡爪(7),形成弹性滑动结构。2.根据权利要求1所述的一种芯片外观参数测量台仪器,其特征在于:所述第一活动卡爪(6)和第二活动卡爪(7)的顶部分别设置有第一橡胶垫片(22)和第二橡胶垫片(23),所述第一固定卡爪(4)和第二固定卡爪(5)的顶部分别设置有第三橡胶垫片(16)和第四橡胶垫片(17)。3.根据权利要求1所述的一种芯片外观参数测量台仪器,其特征在于:所述底座(1)的一侧设置有活动抽屉(14),所述活动抽屉(14)的内部设置有吹尘机(15)。4.根据权利要求3所述的一种芯片外观参数测量台仪器,其特征在于:所述活动抽屉(14)的两侧分别安装有第一滑轨(18)和第二滑轨(25),所述第一滑轨(18)连接在第一滑轨接槽(24)上,所述第二滑轨(25)连接在第二滑轨接槽(19)上,所述第一滑轨(18)的尺寸和第二滑轨(25)的尺寸分别与第一滑轨接槽(24)尺寸和第二滑轨接槽(19)的尺寸相适配。5.根据权利要求3所述的一种芯片外观参数测量台仪器,其特征在于:所述活动抽屉(14)的底部设置有按压式弹簧卡扣卡脚(20),所述按压式弹簧卡扣卡脚(20)连接有按压式弹簧卡扣卡槽(21),所述按压式弹簧卡扣卡槽(21)安装于底座(1)内部。

技术总结
本实用新型涉及测量仪器技术领域,具体为一种芯片外观参数测量台仪器,包括光学测量探头,所述光学测量探头设置在测量杆的顶部,所述测量杆的下端连接有底座,所述底座上分别设置有第一固定卡爪、第二固定卡爪、第一活动卡爪和第二活动卡爪,所述第一活动卡爪滑动连接于第一滑杆,所述第二活动卡爪滑动连接于第二滑杆,所述第一滑杆和第二滑杆分别设置于第一凹槽和第二凹槽内,所述第一滑杆套设有第一弹簧,所述第一弹簧一侧连接于第一凹槽,所述第一弹簧的另一侧连接于第一活动卡爪,所述第二滑杆套设有第二弹簧,所述第二弹簧一侧连接于第二凹槽,所述第二弹簧的另一侧连接于第二活动卡爪,形成弹性滑动结构,从而能够更好的夹持芯片。持芯片。持芯片。


技术研发人员:刘树森
受保护的技术使用者:天津美盛福机电科技有限公司
技术研发日:2021.09.22
技术公布日:2022/3/1
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