高可靠性光波长测量系统的制作方法

1.本实用新型涉及一种高可靠性光波长测量系统，属于光波长检测技术领域。


背景技术：

2.现有的光波长干涉标准具由于受限于横向尺寸、线阵光电探测器的像元数量、信号噪音和计算精度等因素影响，采用一个干涉标准具较难在宽光谱范围（几百纳米）实现pm级和更高的测量精度。为了解决宽测量范围和高测量精度之间的矛盾，研发检测光谱范围宽且测量精度高的光波长测量系统对光领域的发展是至关重要的。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是提供一种高可靠性光波长测量系统，此高可靠性光波长测量系统在不增加光路尺寸的同时，检测的光谱范围宽且测量精度高，达到了pm级测量精度，也降低了成本，同时避免了检测精度的漂移，提高了检测精度的一致性和可靠性。
4.为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种高可靠性光波长测量系统，包括：位于壳体内的光输入端口、遮光罩、光束准直器、第一平板玻璃、第二平板玻璃、至少2个柱透镜和至少2个线性光电探测器，所述第一平板玻璃与第二平板玻璃之间设置有一中央具有镂空区且带有楔角的隔离框，从而形成一密封腔，所述第一平板玻璃的前表面与第二平板玻璃的后表面相向设置；
5.所述第一平板玻璃的前表面一侧设置有至少一个厚度且位于密封腔内的小平板玻璃，前表面另一侧具有一第一反射层，所述小平板玻璃的厚度小于隔离框的厚度，所述第二平板玻璃的后表面具有第二反射层，所述小平板玻璃与第二平板玻璃相向的表面具有第三反射层，所述遮光罩设置于光束准直器与第一平板玻璃之间或者第二平板玻璃与至少2个线性光电探测器之间，所述壳体上安装有温控部件。
6.上述技术方案中进一步改进的方案如下：
7.1、上述方案中，所述小平板玻璃的数目为2个，其中一个小平板玻璃的厚度大于另一个小平板玻璃的厚度。
8.2、上述方案中，所述温控部件的数目至少2个，分别安装于所述壳体的上部和下部。
9.3、上述方案中，所述温控部件为半导体温控部件或者加热薄膜。
10.4、上述方案中，所述线性光电探测器为线性扫描图像器件。
11.5、上述方案中，所述壳体表面包覆有一隔热层。
12.由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
13.本实用新型高可靠性光波长测量系统，其在第一平板玻璃与第二平板玻璃之间设置有一中央具有镂空区且带有楔角的隔离框，从而形成一密封腔，在第一平板玻璃的前表面一侧设置有至少一个厚度且位于密封腔内的小平板玻璃，前表面另一侧具有一第一反射层，小平板玻璃的厚度小于隔离框的厚度，第二平板玻璃的后表面具有第二反射层，在小平
板玻璃与第二平板玻璃相向的表面具有第三反射层，该巧妙的结构设计在不增加光路尺寸的同时，检测的光谱范围宽且测量精度高，达到了pm级测量精度，也降低了成本；还有在壳体外部安装有温控部件，避免了检测精度的漂移，提高了检测精度的一致性和可靠性。
附图说明
14.附图1为本实用新型高可靠性光波长测量系统的结构示意图；
15.附图2为本实用新型高可靠性光波长测量系统的光路示意图；
16.附图3为本实用新型光波长测量系统实施例1的分解结构示意图；
17.附图4为本实用新型光波长测量系统实施例2的分解结构示意图。
18.以上附图中：1、光输入端口；2、遮光罩；3、光束准直器；4、第一平板玻璃；5、第二平板玻璃；6、柱透镜；7、线性光电探测器；8、隔离框；9、小平板玻璃；101、第一反射层；102、第二反射层；103、第三反射层；11、壳体；12、温控部件；13、隔热层。
具体实施方式
19.在本专利的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利的具体含义。
20.实施例1：一种高可靠性光波长测量系统，包括：位于壳体11内的光输入端口1、遮光罩2、光束准直器3、第一平板玻璃4、第二平板玻璃5、2个柱透镜6和2个线性光电探测器7，所述第一平板玻璃4与第二平板玻璃5之间设置有一中央具有镂空区且带有楔角的隔离框8，从而形成一密封腔，所述第一平板玻璃4的前表面与第二平板玻璃5的后表面相向设置；
21.所述第一平板玻璃4的前表面一侧设置有一个厚度且位于密封腔内的小平板玻璃9，前表面另一侧具有一第一反射层101，所述小平板玻璃9的厚度小于隔离框8的厚度，所述第二平板玻璃5的后表面具有第二反射层102，所述小平板玻璃9与第二平板玻璃5相向的表面具有第三反射层103，所述遮光罩2设置于光束准直器3与第一平板玻璃4之间或者第二平板玻璃5与至少2个线性光电探测器7之间，所述壳体11上安装有温控部件12。
22.上述温控部件12为半导体温控部件，上述温控部件12的数目为2个，分别安装于所述壳体11的上部和下部。
23.上述壳体11表面包覆有一隔热层13。
24.实施例2：一种高可靠性光波长测量系统，包括：位于壳体11内的光输入端口1、遮光罩2、光束准直器3、第一平板玻璃4、第二平板玻璃5、2个柱透镜6和2个线性光电探测器7，所述第一平板玻璃4与第二平板玻璃5之间设置有一中央具有镂空区且带有楔角的隔离框8，从而形成一密封腔，所述第一平板玻璃4的前表面与第二平板玻璃5的后表面相向设置；
25.所述第一平板玻璃4的前表面一侧设置有两个厚度且位于密封腔内的小平板玻璃9，前表面另一侧具有一第一反射层101，所述小平板玻璃9的厚度小于隔离框8的厚度，其中一个小平板玻璃9的厚度大于另一个小平板玻璃9的厚度，所述第二平板玻璃5的后表面具有第二反射层102，所述小平板玻璃9与第二平板玻璃5相向的表面具有第三反射层103，所述遮光罩2设置于光束准直器3与第一平板玻璃4之间或者第二平板玻璃5与至少2个线性光电探测器7之间，所述壳体11上安装有温控部件12。
26.上述温控部件12为加热薄膜，上述温控部件12的数目为2个，分别安装于所述壳体11的上部和下部。
27.采用上述高可靠性光波长测量系统时，其在第一平板玻璃与第二平板玻璃之间设置有一中央具有镂空区且带有楔角的隔离框，从而形成一密封腔，在第一平板玻璃的前表面一侧设置有至少一个厚度且位于密封腔内的小平板玻璃，前表面另一侧具有一第一反射层，小平板玻璃的厚度小于隔离框的厚度，第二平板玻璃的后表面具有第二反射层，在小平板玻璃与第二平板玻璃相向的表面具有第三反射层，该巧妙的结构设计在不增加光路尺寸的同时，检测的光谱范围宽且测量精度高，达到了pm级测量精度，也降低了成本；还有在壳体上部和下部安装有温控部件，避免了检测精度的漂移，提高了检测精度的一致性和可靠性。
28.上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。