一种真空高低温半导体器件测试探针台的制作方法

1.本实用新型涉及半导体器件测试设备技术领域，更具体地，涉及一种真空高低温半导体器件测试探针台。


背景技术：

2.半导体器件通常利用不同的半导体材料、采用不同的工艺和几何结构，已研制出种类繁多、功能用途各异的多种晶体二极，晶体二极管的频率覆盖范围可从低频、高频、微波、毫米波、红外和光波，三端器件一般是有源器件，典型代表是各种晶体管，而半导体器件检测时需要用到探针台，而探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
3.但是现有的真空高低温半导体器件测试探针台，在一般采用平放半导体器件，而这种放置方式，导致测试人员需要一直勾着头观察半导体器件，对测试人员的颈部造成劳损，影响身体健康，而且传统的探针多数使固定在机器上，测试人员无法直接接触半导体器件，导致测试人员需要间接性的操作探针，导致探针灵活性较差，不利于使用探针，影响测试。
4.因此，如何提供一种可有效调整半导体位于测试台上的位置以及便于手持探针的半导体测试装置成为本领域亟需解决的技术难题。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的是提供一种真空高低温半导体器件测试探针台，可有效调整半导体位于测试台上的位置以及便于手持探针，从而保障测试人员的身体健康及利于测试人员操作。
6.根据本实用新型的一方面，提供了一种真空高低温半导体器件测试探针台，包括操作台，所述操作台上设有真空玻璃罩，所述真空玻璃罩的侧壁上开设有圆孔，所述圆孔的位置处密封连接有隔温手套；所述真空玻璃罩的顶部设有将其密封的安装顶板，所述安装顶板的中间部位设有放入孔，所述放入孔内活动连接有密封盖；
7.所述安装顶板的内壁设有电热管和探针杆，所述电热管用于对所述真空玻璃罩升温，所述探针杆上设有用于测试半导体的探针；所述安装顶板的上表面还设有真空阀和连接管，所述真空阀用于对所述真空玻璃罩做真空处理，所述连接管用于连接制冷设备，且所述连接管上设有与外界隔绝的旋盖；
8.所述操作台上还设有固定柱，所述固定柱位于所述真空玻璃罩内，所述固定柱内滑动连接有调节柱，所述调节柱上转动连接有放置板，所述放置板用于放置半导体。
9.可选地，根据本实用新型的真空高低温半导体器件测试探针台，所述密封盖的内侧设有照明灯、外侧设有抓取把手。
10.可选地，根据本实用新型的真空高低温半导体器件测试探针台，所述照明灯的数
量为若干个，若干个照明灯呈环形阵列的形式分布在所述密封盖的内壁。
11.可选地，根据本实用新型的真空高低温半导体器件测试探针台，所述调节柱的上表面边缘处设有合页，所述放置板与所述调节柱通过合页转动连接。
12.可选地，根据本实用新型的真空高低温半导体器件测试探针台，所述放置板的中间部位开设有放置槽，所述放置槽的内部设有防滑垫。
13.可选地，根据本实用新型的真空高低温半导体器件测试探针台，所述调节柱的侧壁上设有调节槽，所述调节槽用于手持所述调节柱并调节所述调节柱的高度。
14.可选地，根据本实用新型的真空高低温半导体器件测试探针台，所述安装顶板的内部设有固定夹，所述探针杆能够稳定地夹持在所述固定夹上。
15.可选地，根据本实用新型的真空高低温半导体器件测试探针台，所述探针杆远离所述的探针的一端还设有连接线，所述连接线的另一端与所述固定夹连接。
16.可选地，根据本实用新型的真空高低温半导体器件测试探针台，所述操作台的底部设有保护垫，所述保护垫的材质为橡胶。
17.可选地，根据本实用新型的真空高低温半导体器件测试探针台，所述真空玻璃罩的内壁上还设有温度计。
18.本实用新型提供了一种真空高低温半导体器件测试探针台，具备以下有益效果：
19.1、该真空高低温半导体器件测试探针台，通过真空玻璃罩的设置，既方便操作人员查看半导体器件，又可以起到保温隔热的作用，方便对半导体器件进行测试，通过电热管和真空阀的设置，可以使该装置内部达到真空和高温的测试空间，再通过连接管连接制冷设备来实现低温，使该装置可以对半导体器件进行真空高低温测试；
20.2、通过固定柱、调节柱和放置板的设置，可以调节半导体器件位置，使操作人员不需要弯腰勾着头观察半导体器件，对其进行测试防止其颈部劳损，影响身体健康；
21.3、通过固定夹的设置，可以方便固定探针杆，通过隔温手套的设置，使操作人员直接使用双手拿取探针给半导体器件进行测试，可以提高该装置的灵活性，方便操作人员操作。
22.通过以下参照附图对本实用新型的示例性实施例的详细描述，本实用新型的其它特征及其优点将会变得清楚。
附图说明
23.被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本实用新型的实施例，并且连同其说明一起用于解释本实用新型的原理。
24.图1为本实用新型所公开的真空高低温半导体器件测试探针台的结构示意图；
25.图2为图1中a处的放大结构示意图；
26.图3为本实用新型所公开的真空高低温半导体器件测试探针台的剖面示意图；
27.图4为图3中b处的放大结构示意图；
28.图5为本实用新型所公开的调节柱结构示意图。
29.附图标记说明：1-操作台；2-真空玻璃罩；3-安装顶板；4-电热管；5-真空阀；6-连接管；7-密封盖；8-照明灯；9-固定柱；10-调节柱；11-放置板；12-固定夹；13-探针杆；14-探针；15-隔温手套；16-温度计；17-放入孔。
具体实施方式
30.现在将参照附图来详细描述本实用新型的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。
31.以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。
32.对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。
33.在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。
34.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
35.根据图1至图5所示，本实用新型提供了一种真空高低温半导体器件测试探针台，包括操作台1，操作台1上设有真空玻璃罩2，真空玻璃罩2的侧壁上开设有圆孔，圆孔的位置处密封连接有隔温手套15；真空玻璃罩2的顶部设有将其密封的安装顶板3，安装顶板3的中间部位设有放入孔17，放入孔17内活动连接有密封盖7。在实施时，通过真空玻璃罩2的设置，既方便操作人员查看半导体器件，又可以起到保温隔热的作用，方便对半导体器件进行测试；另外，通过隔温手套15的设置，使操作人员直接使用双手拿取探针14给半导体器件进行测试，可以提高该装置的灵活性，方便操作人员操作。
36.安装顶板3的内壁设有电热管4和探针杆13，电热管4用于对真空玻璃罩2升温，探针杆13上设有用于测试半导体的探针14；安装顶板3的上表面还设有真空阀5和连接管6，真空阀5用于对真空玻璃罩2做真空处理，连接管6用于连接制冷设备，且连接管6上设有与外界隔绝的旋盖。在实施时，通过电热管4和真空阀5的设置，可以使该装置内部达到真空和高温的测试空间，再通过连接管6连接制冷设备来实现低温，使该装置可以对半导体器件进行真空高低温测试。
37.操作台1上还设有固定柱9，固定柱9位于真空玻璃罩2内，固定柱9内滑动连接有调节柱10，调节柱10上转动连接有放置板11，放置板11用于放置半导体。在实施时，通过固定柱9、调节柱10和放置板11的设置，可以调节半导体器件位置，使操作人员不需要弯腰勾着头观察半导体器件，对其进行测试防止其颈部劳损，影响身体健康。
38.进一步的，密封盖7的内侧设有照明灯8、外侧设有抓取把手。在实施时，通过照明灯8的设置，可以对半导体器件进行光照，可以使操作人员看清半导体器件，抓取把手则有利于开启密封盖7，并将半导体放入至放置板11上。
39.再进一步的，照明灯8的数量为若干个，若干个照明灯8呈环形阵列的形式分布在密封盖7的内壁，保证照明灯8对真空玻璃罩2内的照明效果。
40.进一步的，调节柱10的上表面边缘处设有合页，放置板11与调节柱10通过合页转动连接。
41.进一步的，放置板11的中间部位开设有放置槽，放置槽的内部设有防滑垫。将半导体放置在放置槽内，再加上防滑垫的作用，可以防止半导体在放置板11倾斜时滑动或者掉落。
42.进一步的，调节柱10的侧壁上设有调节槽，调节槽用于手持调节柱10并调节调节柱10的高度。
43.进一步的，安装顶板3的内部设有固定夹12，探针杆13能够稳定地夹持在固定夹12上。通过固定夹12的设置，可以方便固定探针杆13，便于在不使用探针14时，将其及时放置。
44.再进一步的，探针杆13远离的探针14的一端还设有连接线，连接线的另一端与固定夹12连接。避免探针杆13从固定夹12上掉落而与操作台1产生碰撞，从而造成探针14损坏的情况发出。
45.进一步的，操作台1的底部设有保护垫，保护垫的材质为橡胶。保证操作台1的减震效果，避免在测试时，误碰操作台1而引起操作晃动。
46.进一步的，真空玻璃罩2的内壁上还设有温度计16。通过温度计16的设置，可以对该装置内部温度进行测量，使操作人员准确地了解温度，提高测试的准确性。
47.本实用新型中，该装置的工作步骤如下：
48.1、打开密封盖7，将半导体器件从放入孔17放置在放置板11上的放置槽内，关闭密封盖7，使测试人员的双手从圆孔插入隔温手套15内，使测试人员隔着隔温手套15拿取固定夹12上的探针杆13，对半导体器件进行测试；
49.2、测试时，可以通过调节柱10升降调节半导体器件的高度，再调整放置板11的角度，使测试人员可以坐直身体查看半导体器件，来方便测试人员测试，还可以打开密封盖7底部的照明灯8，来更加清楚地查看半导体器件；
50.3、当需要对半导体器件进行高温测试，使电热管4通电，使其产生热量，来进行高温测试，而当需要低温时，可以使连接管6连接制冷设备，使其将冷气输入该装置内部，对半导体器件进行底温测试，而进行高低温测试时，测试人员可以通过温度计16对该装置内部温度进行测量，使其准确地了解温度，提高测试的准确性；
51.4、而需要真空时，可以使用真空泵与该装置的真空阀5连接，将真空玻璃罩2内的空气抽取完，来实现真空，进行真空测试，隔温手套15会隔绝温度，使测试人员正常进行操作。
52.虽然已经通过例子对本实用新型的一些特定实施例进行了详细说明，但是本领域的技术人员应该理解，以上例子仅是为了进行说明，而不是为了限制本实用新型的范围。本领域的技术人员应该理解，可在不脱离本实用新型的范围和精神的情况下，对以上实施例进行修改。本实用新型的范围由所附权利要求来限定。