一种集成电路拾取装置及集成电路测试装置的制作方法

1.本实用新型涉及集成电路领域，特别涉及一种集成电路拾取装置及集成电路测试装置。


背景技术：

2.集成电路一般通过光刻机雕刻在晶圆上，晶圆，也叫基片，是指制造半导体晶体管或集成电路的衬底，在集成电路雕刻完毕后，需要对集成电路进行老化和终测，以保证集成电路的后期性能，在上述老化和ft测试中需要用手直接将负载有集成电路的晶圆放置在测试仪的测试筒内并手动盖上测试筒的密封盖进行测试，此过程中不方便负载有集成电路的晶圆的拾取操作且手动控制密封盖的公和比较麻烦，故此，我们提出一种集成电路拾取装置及集成电路测试装置来解决此问题。


技术实现要素：

3.本实用新型的主要目的在于提供一种集成电路拾取装置及集成电路测试装置，可以有效解决背景技术中的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
5.一种集成电路拾取装置及集成电路测试装置，包括测试仪本体，所述测试仪本体上设置有可容纳负载有集成电路的晶圆的测试筒且所述测试筒上盖合有密封盖，所述测试仪本体上且位于测试筒后侧设置有可带动密封板进行盖合的驱动件且所述驱动件上设置有自动触发件，所述测试仪本体上设置有便于对晶圆进行拾取的拾取装置，所述测试仪本体上设有可容纳拾取装置的容纳腔。
6.优选的，所述驱动件包括安装架，所述安装架的内腔转动设置有连接板且所述连接板的远离安装架的一端与密封盖固定连接，所述安装架的侧端上固定有驱动电机且所述驱动电机的输出轴与连接板的侧端固定连接，所述驱动电机与测试仪本体上设有的控制器电性连接。
7.优选的，所述自动触发件包括板体，所述板体的一端固定在安装架上，所述板体远离安装架的一端底部固定有光发射器且所述光发射器的正下方设置有光接收器，所述光接收器位于测试筒的正前方，所述光发射器和光接收器均与测试仪本体上设有的控制器电性连接。
8.优选的，所述拾取装置包括空心管和按压杆，所述空心管的下端固定有吸盘且所述吸盘的内外面上固定有第一弹性密封套，所述按压杆的下端外壁上固定有第二弹性密封套并滑动设置在空心管的内腔，所述空心管的内腔固定有复位弹簧且所述复位弹簧的上端与按压杆的下端固定连接，所述空心管的外壁上呈对称设置有两组手指支撑杆。
9.优选的，所述复位弹簧为金属材料制成，所述复位弹簧的外表面设置有一层镀锌层。
10.优选的,所述按压杆的顶部和两组手指支撑杆的下端上均固定有弹性缓冲垫。
11.与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：
12.1、在测试仪上设置有驱动件、自动触发件和拾取装置，可通过拾取装置便于将负载有集成电路的晶圆放置到测试筒中，通过手部与自动触发件之间的配合，可实现密封盖的自动开合，操作方便简单。
13.2、拾取装置的按压杆的顶部和两组手指支撑杆的下端上均固定有弹性缓冲垫，可缓冲与手指之间的压力作用，提高使用舒适感。
附图说明
14.图1为本实用新型一种集成电路拾取装置及集成电路测试装置的整体结构图；
15.图2为本实用新型一种集成电路拾取装置及集成电路测试装置的拾取装置结构图；
16.图3为本实用新型一种集成电路拾取装置及集成电路测试装置的拾取装置剖面图。
17.图中：1、测试仪本体；2、测试筒；3、密封盖；4、驱动件；41、安装架；42、驱动电机；43、连接板；5、自动触发件；51、板体；52、光发射器； 53、光接收器；6、容纳腔；7、拾取装置；71、空心管；72、吸盘；73、手指支撑杆；74、按压杆；75、复位弹簧；76、第二弹性密封套；77、第一弹性密封套。
具体实施方式
18.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
19.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
20.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
21.如图1-3所示，一种集成电路拾取装置及集成电路测试装置，包括测试仪本体1，测试仪本体1上设置有可容纳负载有集成电路的晶圆的测试筒2且测试筒2上盖合有密封盖3，测试仪本体1上且位于测试筒2后侧设置有可带动密封板3进行盖合的驱动件4且驱动件4上设置有自动触发件5，测试仪本体1上设置有便于对晶圆进行拾取的拾取装置7，测试仪本体1上设有可容纳拾取装置7的容纳腔6。
22.驱动件4包括安装架41，安装架41的内腔转动设置有连接板43且连接板43的远离安装架41的一端与密封盖3固定连接，安装架41的侧端上固定有驱动电机42且驱动电机42的输出轴与连接板43的侧端固定连接，驱动电机42与测试仪本体1上设有的控制器电性连
接，自动触发件5包括板体51，板体51的一端固定在安装架41上，板体51远离安装架41的一端底部固定有光发射器52且光发射器52的正下方设置有光接收器53，光接收器53位于测试筒2的正前方，光发射器52和光接收器53均与测试仪本体1上设有的控制器电性连接，拾取装置7包括空心管71和按压杆74，空心管71的下端固定有吸盘72且吸盘72的内外面上固定有第一弹性密封套77，按压杆74的下端外壁上固定有第二弹性密封套76并滑动设置在空心管71的内腔，空心管71的内腔固定有复位弹簧75且复位弹簧75的上端与按压杆74的下端固定连接，空心管71的外壁上呈对称设置有两组手指支撑杆73，在使用时，可用食指与中指与两组手指支撑板73的下端接触并对空心管71形成夹持状，大拇指放置在按压杆74的上端，按压按压杆74使得复位弹簧75被压缩，将吸盘72的下端与晶圆的上端面形成挤压接触，再松开大拇指，通过复位弹簧 75的弹力作用将使得按压杆74向上运动，从而将晶圆吸起，再使得手指从测试筒2的正前方做靠近测试筒2的运动，通过光发射器52和光接收器53组成光电开关，通过手部对光线的遮挡从而控制器得到感应电流的变化，进而控制驱动电机42工作带动密封盖3进行打开旋转，在晶圆放置在测试筒2中，再按压按压杆74使得晶圆与吸盘72分离，再移出拾取装置7后手部无法对光线形成阻挡，光接收器53接收到光发射器52发出的光线后控制器控制密封盖3对测试筒2进行盖合。
23.复位弹簧75为金属材料制成，复位弹簧75的外表面设置有一层镀锌层，可防止复位弹簧75受到腐蚀，提高其使用寿命。
24.按压杆74的顶部和两组手指支撑杆73的下端上均固定有弹性缓冲垫，可缓冲与手指之间的压力作用，提高使用舒适感。
25.需要说明的是，本实用新型为一种集成电路拾取装置及集成电路测试装置，在使用时，可用食指与中指与两组手指支撑板73的下端接触并对空心管 71形成夹持状，大拇指放置在按压杆74的上端，按压按压杆74使得复位弹簧75被压缩，将吸盘72的下端与晶圆的上端面形成挤压接触，再松开大拇指，通过复位弹簧75的弹力作用将使得按压杆74向上运动，从而将晶圆吸起，再使得手指从测试筒2的正前方做靠近测试筒2的运动，通过光发射器 52和光接收器53组成光电开关，通过手部对光线的遮挡从而控制器得到感应电流的变化，进而控制驱动电机42工作带动密封盖3进行打开旋转，在晶圆放置在测试筒2中，再按压按压杆74使得晶圆与吸盘72分离，再移出拾取装置7后手部无法对光线形成阻挡，光接收器53接收到光发射器52发出的光线后控制器控制密封盖3对测试筒2进行盖合，按压杆74的顶部和两组手指支撑杆73的下端上均固定有弹性缓冲垫，可缓冲与手指之间的压力作用，提高使用舒适感。
26.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。