多通道MEMS开关寿命测试系统的制作方法

多通道mems开关寿命测试系统
技术领域
1.本实用新型属于射频mems开关测试领域，具体涉及到一套高度集成的射频收发以及高频电压驱动测试系统。


背景技术：

2.mems开关的寿命是开关的主要指标，对开关寿命的测试是产品研制的重要过程。在对mems开关寿命测试的过程中，一方面需要在短时间内对开关进行高频的驱动，另一方面需要不断的检测射频信号通过开关后的状态。当测试通道增多时，高频驱动电源也相应增加，同时射频链路和检测模块也相应增多。因此，传统的测试方法中集成度不高，测试仪器数量多，体积大，测试繁琐，操作复杂，很大程度上限制了测试的灵活性和高效性。为了解决这些问题，本实用新型采取了将高频驱动和射频检测功能集成在一起的设计方案。


技术实现要素：

3.本实用新型提供一种多通道mems开关寿命测试系统，用以解决目前mems开关测试中存在着的测试系统繁杂，集成度不高，操作复杂，单一开关测试等问题。
4.为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：
5.一种多通道mems开关寿命测试系统，包括主控板、脉冲电源模块、射频模块和多路射频检测模块；
6.主控板分别与脉冲电源模块、检波器和射频模块相连；用于接收上位机的控制信号，输出电源控制信号设置脉冲电源模块的驱动电源参数，包括电压、电流和脉冲频率，输出射频控制信号设置射频模块的射频参数，包括射频频率、功率和通断；还用于接收射频检测模块的检波电压，计算检测结果；
7.脉冲电源模块分别与主控板、射频检测模块和射频模块相连；用于接收主控板的电源控制信号，并输入系统电源转化成测试需要的高频脉冲电信号和直流电信号，为整个系统供电；
8.射频检测模块分别与主控板和脉冲电源模块；用于接收通过mems开关之后的射频信号，产生检波电压输出给主控板；
9.射频模块分别与脉冲电源模块和主控板相连；用于根据主控板的射频控制信号产生射频信号，并进行分路和功率调整，输出至mems开关。
10.其中，射频模块包括射频源和射频分路模块；
11.射频源和射频分路模块均与主控板和脉冲电源模块相连；射频源用于根据主控板的射频控制信号产生射频信号，输出至射频分路模块；射频分路模块用于根据主控板的射频控制信号对射频信号进行分路和功率调整，输出至mems开关。
12.本实用新型提供的技术方案，至少具有如下技术效果或优点：
13.与传统方案相比本实用新型的技术方案将多个脉冲电源模块、射频检测模块，进行集成，形成一个多通道的mems开关测试系统。可以实现mems开关测试系统的一体化和高
度集成化。多通道脉冲驱动与信号检测给测试系统设计带来极大的灵活性和可扩展性，可以根据实际需要调整测试系统规模，满足系统通路、效率和通用性要求。
14.本实用新型可以广泛应用于mems开关测试领域，具有非常广泛的应用价值和适用性技术效果。
附图说明
15.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
16.图1本实用新型实施例提供的原理框图。
17.图2本实用新型实施例提供的mems开关测试系统中测试机箱的爆炸分解图。
18.图3本实用新型实施例提供的mems开关测试系统中测试机箱的组装结构图。
19.图中：1、测试机箱；101、前面板；102、上盖板；103、后面板；104、框架；2、主控板；3、脉冲电源模块；4、射频检测模块；5、射频模块；501、射频源；502、射频分路模块。
具体实施方式
20.为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
21.参照图1，一种多通道mems开关寿命测试系统，包括主控板、脉冲电源模块、射频模块和多路射频检测模块；
22.主控板分别与脉冲电源模块、检波器和射频模块相连；用于接收上位机的控制信号，输出电源控制信号设置脉冲电源模块的驱动电源参数，包括电压、电流和脉冲频率，输出射频控制信号设置射频模块的射频参数，包括射频频率、功率和通断；还用于接收射频检测模块的检波电压，计算检测结果；
23.脉冲电源模块分别与主控板、射频检测模块和射频模块相连；用于接收主控板的电源控制信号，并输入系统电源转化成测试需要的高频脉冲电信号和直流电信号，为整个系统供电；
24.射频检测模块分别与主控板和脉冲电源模块；用于接收通过mems开关之后的射频信号，产生检波电压输出给主控板；
25.射频模块分别与脉冲电源模块和主控板相连；用于根据主控板的射频控制信号产生射频信号，并进行分路和功率调整，输出至mems开关。
26.其中，射频模块包括射频源和射频分路模块；
27.射频源和射频分路模块均与主控板和脉冲电源模块相连；射频源用于根据主控板的射频控制信号产生射频信号，输出至射频分路模块；射频分路模块用于根据主控板的射频控制信号对射频信号进行分路和功率调整，输出至mems开关。
28.参照图2及图3，本实用新型实施例提供的多通道mems开关测试机箱进行说明。所述多通道mems开关测试机箱，包括机箱外壳1、主控板2、脉冲电源模块3、射频检测模块4和
射频模块5；
29.机箱外壳1包括前面板101、上机盖102、后面板103和机箱框架104；前面板101与脉冲电源模块3电气连接，输出四路高频电源用于被测开关驱动供电；前面板101与射频检测模块4结构连接，用于输入通过mems开关之后的射频信号；前面板101与射频模块5结构连接，将四路射频信号输出出来用于测试mems开关；
30.主控板2与后面板103电气连接，用于传输控制信号和测试数据，上位机可以通过串口通信实现射频信号的设置，驱动电源的设置和检波信号的检测；主控板2与脉冲电源模块3电气连接，用以设置电源模块电压、电流和脉冲频率等驱动电源参数；主控板2与射频检测模块4电气连接，用以实现检波信号的采集；主控板2与射频模块5电气连接，用以设置射频频率、功率和通断等射频参数。
31.脉冲电源模块3与后面板103电气连接，用于输入系统电源，220v市电通过电源模块转化成测试需要的高频脉冲电信号和直流电信号供整个系统使用。
32.射频检测模块4与脉冲电源模块3电气连接，用于为射频检测模块4提供工作电源；
33.射频模块5包括射频源501和射频分路模块502，射频源501可以产生宽带射频信号用于开关测试，射频分路模块502将射频源501产生的信号分成四路同时可以设置信号功率并输出，用以测试mems开关。
34.本实用新型实现原理为：
35.本实用新型将脉冲电源模块、多路射频模块和多路射频检测模块都集成在一起，提供了一种多通道mems开关寿命测试系统。
36.上述射频模块，用以替代传统测试系统中信号源或者信号发生器等射频仪器发出射频信号，再通过第二级的分路可以实现多通道信号输出。信号输出之后，通过被测mems开关后再进入上述射频检测模块检测射频信号的状态。与此同时，高频脉冲电源模块给开关提供驱动信号使开关高速通断，使得上述射频检测模块不断的检测到通过开关之后的高频射频信号。在整个过程中，主控板提供射频模块的设置、脉冲电源模块的设置以及射频检测信号的采集与传输。