技术特征：
1.一种用于seccm高分辨成像的探针单元，包括单通道的探针，其特征在于，所述探针的开孔直径为50-100nm；所述探针由控制模块对其液滴针尖进行控制；所述控制模块用于在进针过程增设最小化的进针电压校正，在进针过程增设最小化的进针速度校正，在电化学测试过程增设最小化的测试电压校正，以及在抬针过程增设最小化的抬起高度校正。2.根据权利要求1所述的一种用于seccm高分辨成像的探针单元，其特征在于，所述最小化的进针电压校正为：将所述进针的电压值校正为高于阈值电流所需最小电压值0.1-0.4v。3.根据权利要求1所述的一种用于seccm高分辨成像的探针单元，其特征在于，所述最小化的进针速度校正为：将所述进针的速度校正为0.1-0.3μm s-1
。4.根据权利要求1所述的一种用于seccm高分辨成像的探针单元，其特征在于，所述最小化的电化学测试电压校正为：将测试电压校正为高于反应起始电压0.1-0.3v。5.根据权利要求1所述的一种用于seccm高分辨成像的探针单元，其特征在于，所述最小化的抬起高度校正为：将抬起高度校正为2-4倍的所述探针的直径。6.一种用于seccm高分辨成像的控制方法，其跳跃模式循环如下运行过程直至成像完成：(1)进针；(2)电化学测试；(3)抬针；其特征在于，该控制方法对探针的液滴针尖进行控制，所述探针具有单通道，其开孔直径为50-100nm；并且：步骤(1)的进针还包括最小化的进针电压校正；步骤(1)的进针还包括最小化的进针速度校正；步骤(2)的电化学测试还包括最小化的测试电压校正；步骤(3)的抬针还包括最小化的抬起高度校正。7.根据权利要求1所述的一种用于seccm高分辨成像的探针单元，其特征在于，所述最小化的进针电压校正为：将所述进针的电压值校正为高于阈值电流所需最小电压值0.1-0.4v。8.根据权利要求1所述的一种用于seccm高分辨成像的探针单元，其特征在于，所述最小化的进针速度校正为：将所述进针的速度校正为0.1-0.3μm s-1
。9.根据权利要求1所述的一种用于seccm高分辨成像的探针单元，其特征在于，所述最小化的电化学测试电压校正为：将测试电压校正为高于反应起始电压0.1-0.3v。10.根据权利要求1所述的一种用于seccm高分辨成像的探针单元，其特征在于，所述最小化的抬起高度校正为：将抬起高度校正为2-4倍的所述探针的直径。
技术总结
本发明属于电化学技术领域，公开了一种用于SECCM高分辨成像的探针单元和控制方法，探针单元包括单通道的探针，探针的开孔直径为50-100nm；探针由控制模块对其液滴针尖进行控制；控制模块用于进行如下控制方法：在进针过程增设最小化的进针电压校正，在进针过程增设最小化的进针速度校正，在电化学测试过程增设最小化的测试电压校正，以及在抬针过程增设最小化的抬起高度校正。本发明极大的提高了成像过程中的稳定性，为实现高分辨的成像提供了更大的可能性；并且不需要添加额外的硬件设备，避免仪器设备成本的过高增加。测试表明，本发明能够成功得到40-50nm尺寸样品的高分辨形貌图像，已达到国际领先水平。已达到国际领先水平。已达到国际领先水平。
技术研发人员：马雷 刘根 李浩 徐宇晨
受保护的技术使用者：天津大学
技术研发日：2022.03.25
技术公布日：2022/6/28