技术特征：
1.一种基于皮亚诺曲线的片上光谱仪，其特征在于：其包括光波导，所述光波导包括依次相连的单模输入波导、多模波导和渐变输出波导，所述多模波导的线形为皮亚诺曲线。2.根据权利要求1所述的基于皮亚诺曲线的片上光谱仪，其特征在于：所述单模输入波导为至少两个，至少两个单模输入波导沿多模波导的轴线对称设置。3.根据权利要求1所述的基于皮亚诺曲线的片上光谱仪，其特征在于：所述多模波导包括若干个弯曲部分，所述弯曲部分为45
°
全反射型波导。4.根据权利要求3所述的基于皮亚诺曲线的片上光谱仪，其特征在于：所述多模波导的相邻波导之间的间距至少为100nm。5.根据权利要求4所述的基于皮亚诺曲线的片上光谱仪，其特征在于：所述单模输入波导的宽度为450nm。6.根据权利要求4所述的基于皮亚诺曲线的片上光谱仪，其特征在于：所述多模波导的宽度不小于5μm。7.根据权利要求1~6任意一项所述的基于皮亚诺曲线的片上光谱仪，其特征在于：其采用的芯片平台从上到下依次为顶层硅层、sio2氧化层和si衬底，所述光波导位于顶层硅层。8.根据权利要求7所述的基于皮亚诺曲线的片上光谱仪，其特征在于：所述顶层硅的厚度为220nm。
技术总结
本发明提供了一种基于皮亚诺曲线的片上光谱仪，其包括光波导，所述光波导包括依次相连的单模输入波导、多模波导和渐变输出波导，所述多模波导的线形为皮亚诺曲线。本发明的技术方案通过引入皮亚诺曲线波导作为多模波导的线形，利用分形几何能充满空间的特点，在不增加器件整体尺寸的情况下，提高倏逝耦合给散斑带来的波长特异性，从而提高光谱仪的分辨率，且损耗低；同时基于分形几何的特点，该器件具有器件结构紧凑、尺寸小、可大规模集成等优点。点。点。
技术研发人员：徐科 张子萌
受保护的技术使用者：哈尔滨工业大学（深圳）
技术研发日：2022.04.06
技术公布日：2022/8/5