技术特征：
1.一种压力传感电子皮肤制造工艺，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、准备下层的柔性基底，所述柔性基底采用柔韧性和延展性的缘性材料制成；步骤2、在下层柔性基底上表面通过喷墨打印技术打印电路结构，所述电路结构包括两个电容极板、分别环绕在每个电容极板四周的电感线圈和将两个电感线圈相连的寄生电路；步骤3、将打印好电路结构的柔性基底干燥后备用；步骤4、在干燥后的电路结构及其四周的柔性基底上制备电介质层，得到三层结构；步骤5、在电介质层完全固化之前，将三层结构的柔性基底对折，使得两个电容极板刚好平行相对并与两个电容极板之间的电介质层一起构成电容器，两个电感线圈、寄生电路和折叠后形成的电容器一起构成lc电路，固化后完成压力传感电子皮肤的制造。2.根据权利要求1所述的压力传感电子皮肤制造工艺，其特征在于：步骤1中，所述柔性基底采用聚酰亚胺制成。3.根据权利要求1所述的压力传感电子皮肤制造工艺，其特征在于：步骤2中，所述电路结构为对称电路，使得步骤5中折叠后两电容极板上下正对。4.根据权利要求1所述的压力传感电子皮肤制造工艺，其特征在于：步骤2中，在喷墨打印电路结构之前根据喷墨打印墨水种类对柔性基底上表面进行亲疏水调控处理。5.根据权利要求1所述的压力传感电子皮肤制造工艺，其特征在于：步骤2中，在喷墨打印电路结构之前采用紫外灯照射基底柔性基底一段时间。6.根据权利要求1所述的压力传感电子皮肤制造工艺，其特征在于：步骤3中，打印好电路结构的柔性基底在真空干燥箱中高温干燥固化电路。7.根据权利要求1所述的压力传感电子皮肤制造工艺，其特征在于：打印好电路结构的厚度为微米级。8.根据权利要求1所述的压力传感电子皮肤制造工艺，其特征在于：步骤4中，所述电介质层为采用延展性好、电阻率高、介电常数大的柔性材料制成。9.根据权利要求8所述的压力传感电子皮肤制造工艺，其特征在于：步骤4中，所述电介质层采用聚二甲基硅氧烷，采用喷墨打印技术制备。10.一种压力传感电子皮肤，其特征在于，采用权利要求1-9任意一项所述的制造工艺所制造。
技术总结
本发明公开了一种压力传感电子皮肤及其制造工艺，首先在下层柔性基底上表面通过喷墨打印技术打印电路结构，电路结构包括两个电容极板、分别环绕在每个电容极板四周的电感线圈和将两个电感线圈相连的寄生电路；之后在干燥后的电路结构及其四周的柔性基底上制备电介质层；在电介质层完全固化之前，将三层结构的柔性基底对折，使得两个电容极板刚好平行相对并与两个电容极板之间的电介质层一起构成电容器，两个电感线圈、寄生电路和折叠后形成的电容器一起构成LC电路，固化后完成压力传感电子皮肤的制造。本发明工艺简单，制造成本低廉，制备的压力传感电子皮肤能够实现无源化的柔性压力检测；监测可靠且灵敏度高。监测可靠且灵敏度高。监测可靠且灵敏度高。
技术研发人员：李辉 张云帆 唐舞阳 申胜男
受保护的技术使用者：武汉大学
技术研发日：2022.04.08
技术公布日：2022/8/5