具有分层电极的光电离检测器的制作方法

文档序号:35901608发布日期:2023-10-29 00:57阅读:18来源:国知局

本公开的实施例总体上涉及用于检测挥发性有机化合物(voc)的存在和/或voc的浓度水平的光电离检测器。特别地,本公开的各种实施例提供了用于光电离检测器的示例电极组件,其提供了技术益处和优点。


背景技术:

1、申请人已经发现与气体传感器相关联的许多技术挑战和困难。例如,许多气体传感器受到诸如但不限于低精度和高基线值的技术问题和困难的困扰。


技术实现思路

1、本文描述的各种实施例提供了提供技术进步和改进的各种示例光电离检测器。

2、根据本公开的各种实施例,示例光电离检测器包括绝缘间隔件部件和设置在绝缘间隔件部件的第一表面上的信号收集电极部件,该绝缘间隔件部件包括紫外线辐射屏蔽材料。在一些实施例中,信号收集电极部件包括第一电极层和第二电极层。在一些实施例中,第一电极层设置在绝缘间隔件部件和第二电极层之间。在一些实施例中,与第二电极层相关联的第二层电极宽度小于与第一电极层相关联的第一层电极宽度。

3、在一些实施例中,第一电极层限定多个第一电极层开口。在一些实施例中,第一层电极宽度对应于在多个第一电极层开口中的两个之间的第一电极层的宽度。

4、在一些实施例中,第二电极层限定多个第二电极层开口。在一些实施例中,第二层电极宽度对应于在多个第二电极层开口中的两个之间的第二电极层的宽度。

5、在一些实施例中,示例光电离检测器还包括设置在绝缘间隔件部件的第二表面上的偏置电压电极部件。在一些实施例中,绝缘间隔件部件的第二表面与绝缘间隔件部件的第一表面相对。

6、在一些实施例中,信号收集电极部件被施加信号收集电压。在一些实施例中,偏置电压电极部件被施加偏置电压。在一些实施例中,偏置电压高于信号收集电压。

7、在一些实施例中,绝缘间隔件部件限定多个绝缘间隔件开口。在一些实施例中,第一电极层限定多个第一电极层开口,并且第二电极层限定多个第二电极层开口。

8、在一些实施例中,多个绝缘间隔件开口中的每一个与多个第一电极层开口中的一个对齐,并且多个第一电极层开口中的每一个与多个第二电极层开口中的一个对齐。

9、在一些实施例中,多个绝缘间隔件开口中的每一个比多个第一电极层开口中的一个窄,并且多个第一电极层开口中的每一个比多个第二电极层开口中的一个窄。

10、在一些实施例中,示例光电离检测器还包括紫外光源。在一些实施例中,绝缘间隔件部件定位在紫外光源和信号收集电极部件之间。

11、在一些实施例中,来自紫外光源的紫外光不入射到信号收集电极部件的第一电极层上,并且不入射到信号收集电极部件的第二电极层上。

12、在一些实施例中,信号收集电极部件包括定位在第一电极层和第二电极层之间的至少一个中间电极层。

13、在一些实施例中,该至少一个中间电极层限定多个中间电极层开口,并且与该至少一个中间电极层相关联的中间层电极宽度小于第一层电极宽度且大于第二层电极宽度。

14、在一些实施例中,中间层电极宽度对应于在多个中间电极层开口中的两个之间的该至少一个中间电极层的宽度。

15、在一些实施例中,第一电极层限定多个第一电极层开口,并且第二电极层限定多个第二电极层开口。在一些实施例中,多个第一电极层开口、多个中间电极层开口和多个第二电极层开口彼此对齐。

16、在一些实施例中,多个第一电极层开口中的每一个比多个中间电极层开口中的一个窄,并且多个中间电极层开口中的每一个比多个第二电极层开口中的一个窄。

17、在一些实施例中,信号收集电极部件限定多个信号收集电极开口,并且信号收集电极部件包括在多个信号收集电极开口中的两个之间的三棱柱形电极。在一些实施例中,绝缘间隔件部件限定多个绝缘间隔件开口。在一些实施例中,多个绝缘间隔件开口中的每一个与多个信号收集电极开口中的一个对齐。

18、在下面的详细描述及其附图中,进一步解释了前述说明性
技术实现要素:
以及本公开的其它示例性目的和/或优点,以及实现这些目的和优点的方式。



技术特征:

1.一种光电离检测器,包括:

2.根据权利要求1所述的光电离检测器,其中,所述第一电极层限定多个第一电极层开口,其中,所述第一层电极宽度对应于所述多个第一电极层开口中的两个之间的所述第一电极层的宽度。

3.根据权利要求1所述的光电离检测器,其中,所述第二电极层限定多个第二电极层开口,其中,所述第二层电极宽度对应于所述多个第二电极层开口中的两个之间的所述第二电极层的宽度。

4.根据权利要求1所述的光电离检测器,还包括设置在所述绝缘间隔件部件的第二表面上的偏置电压电极部件,其中,所述绝缘间隔件部件的所述第二表面与所述绝缘间隔件部件的所述第一表面相对。

5.根据权利要求4所述的光电离检测器,其中,所述信号收集电极部件被施加有信号收集电压,其中,所述偏置电压电极部件被施加有偏置电压。

6.根据权利要求5所述的光电离检测器,其中,所述偏置电压高于所述信号收集电压。

7.根据权利要求1所述的光电离检测器,其中,所述绝缘间隔件部件限定多个绝缘间隔件开口,其中,所述第一电极层限定多个第一电极层开口,其中,所述第二电极层限定多个第二电极层开口。

8.根据权利要求7所述的光电离检测器,其中,所述多个绝缘间隔件开口中的每一个与所述多个第一电极层开口中的一个对齐,其中,所述多个第一电极层开口中的每一个与所述多个第二电极层开口中的一个对齐。

9.根据权利要求8所述的光电离检测器,其中,所述多个绝缘间隔件开口中的每一个比所述多个第一电极层开口中的一个窄,其中,所述多个第一电极层开口中的每一个比所述多个第二电极层开口中的一个窄。

10.根据权利要求1所述的光电离检测器,还包括紫外光源,其中,所述绝缘间隔件部件定位在所述紫外光源和所述信号收集电极部件之间。


技术总结
本发明涉及一种具有分层电极的光电离检测器,提供了一种示例光电离检测器。该示例光电离检测器包括绝缘间隔件部件和设置在绝缘间隔件部件的第一表面上的信号收集电极部件。在一些示例中,信号收集电极部件包括第一电极层和第二电极层。

技术研发人员:梁枫,朱浩,唐骏,田仁兵,杨帆,刘沛沛
受保护的技术使用者:霍尼韦尔国际公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/15
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