技术特征：
1.一种检测柔性硅氧烷薄膜厚度的方法，其特征在于，所述柔性硅氧烷薄膜是在柔性基底表面用pecvd方法镀制的硅氧烷薄膜，所述方法包括以下步骤：(1)取样：取柔性基底及其表面镀制的硅氧烷薄膜作为检测样品，所述检测样品由于应力作用使其截面呈圆弧状；(2)检测：将所述检测样品置于低倍光学显微镜的观测台上，测量圆弧弦长l以及弧顶到弦中心的距离d，推导出圆弧的曲率半径r；(3)计算：根据stoney公式，计算得到柔性硅氧烷薄膜厚度h
f
：式中，k0是柔性基底镀膜前的曲率，单位mm-1
；k是柔性基底镀膜后的曲率，等于所述圆弧的曲率半径r的倒数，单位mm-1
；σ是硅氧烷薄膜平均应力，单位mpa/nm；h
f
是柔性硅氧烷薄膜厚度，单位nm；h
s
是柔性基底厚度，单位μm；m
s
是柔性基底弹性模量，单位mpa。2.根据权利要求1所述的检测柔性硅氧烷薄膜厚度的方法，其特征在于，步骤(1)中，所述检测样品的长度为20～40mm，宽度为3～5mm。3.根据权利要求1所述的检测柔性硅氧烷薄膜厚度的方法，其特征在于，步骤(2)中，所述低倍光学显微镜为2～20倍显微镜。4.根据权利要求1所述的检测柔性硅氧烷薄膜厚度的方法，其特征在于，步骤(2)中，按照下式推导出圆弧的曲率半径r：式中，l是圆弧弦长，d是弧顶到弦中心的距离。5.根据权利要求1所述的检测柔性硅氧烷薄膜厚度的方法，其特征在于，步骤(2)中，弧顶到弦中心的距离d的测量方法包括：利用显微镜的测试软件做一条与弦平行且与圆弧相切的直线，该直线与弦的距离即为弧顶到弦中心的距离d。6.根据权利要求1所述的检测柔性硅氧烷薄膜厚度的方法，其特征在于，所述柔性基底选自聚脂薄膜、聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜中的任意一种。7.根据权利要求1所述的检测柔性硅氧烷薄膜厚度的方法，其特征在于，所述柔性基底的厚度为12～125μm。
技术总结
本发明提供一种检测柔性硅氧烷薄膜厚度的方法，涉及薄膜材料检测领域。所述柔性硅氧烷薄膜是在柔性基底表面用PECVD方法镀制的硅氧烷薄膜，所述方法包括以下步骤：取样：取柔性基底及其表面镀制的硅氧烷薄膜作为检测样品，所述检测样品由于应力作用使其截面呈圆弧状；检测：将所述检测样品置于低倍光学显微镜的观测台上，测量圆弧弦长以及弧顶到弦中心的距离，推导出圆弧的曲率半径；计算：根据stoney公式，计算得到柔性硅氧烷薄膜厚度。柔性透明硅氧烷薄膜厚度难以进行测量，基于薄膜存在应力的特点，根据薄膜曲率推导计算薄膜厚度，该方法过程简单，测试仪器要求不高，检测结果准确，适合生产企业对产品进行检验测试使用。适合生产企业对产品进行检验测试使用。适合生产企业对产品进行检验测试使用。
技术研发人员：董茂进 王小军 冯煜东 韩仙虎 蔡宇宏 秦丽丽 王毅 王冠 马凤英
受保护的技术使用者：兰州空间技术物理研究所
技术研发日：2022.04.26
技术公布日：2022/8/5