提取电镜样品的装置及方法与流程

本公开涉及电镜测试，尤其涉及一种提取电镜样品的装置及方法。

背景技术：

1、在透射电子显微镜(transmission electron microscope，简称tem)的样品的制备过程中，片状的样品需要通过物理方法提取并转移到样品承载件上，例如转移至金属环或者带有碳膜的金属网上，以便于观察。

2、目前，在对样品进行提取与转移的过程中，受到外界环境的影响，样品容易掉落或者不能放到准确的位置。

3、在所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的相关技术的信息。

技术实现思路

1、本公开的实施例提供一种提取电镜样品的装置及方法，在提取样品的过程中，不会受到外界环境的影响，避免发生样品掉落的情况，能够将样品放置准确的位置。

2、本公开实施例提供一种提取电镜样品的装置，包括本体、针管和第一压力调节机构。其中，本体具有第一通道和储液腔，所述第一通道和所述储液腔连通；针管与所述本体密封连接，并与所述储液腔连通；第一压力调节机构具有第一密封活塞，所述第一密封活塞位于所述第一通道中，并与所述第一通道的内壁密封接触，所述第一密封活塞沿着所述第一通道可移动；在所述储液腔中存有液体时，所述第一密封活塞能够沿着所述第一通道推动所述液体在所述针管中流动，并在所述针管的出液口处形成突出于所述出液口的液珠，利用所述液珠吸附所述电镜样品。

3、根据本公开的一些示例性实施例，所述本体还具有第二通道，所述第二通道与所述储液腔连通；所述装置还包括：第二压力调节机构，具有第二密封活塞，所述第二密封活塞位于所述第二通道中，并与所述第二通道的内壁密封接触，所述第二密封活塞沿着所述第二通道可移动。

4、根据本公开的一些示例性实施例，所述第二通道的内径小于所述第一通道的内径。

5、根据本公开的一些示例性实施例，所述第一密封活塞和所述第二密封活塞的材质均为橡胶。

6、根据本公开的一些示例性实施例，所述第一压力调节机构为第一旋压式推进机构，所述第一旋压式推进机构还包括：第一容纳舱，位于所述本体的外侧，所述第一容纳舱的周向内壁具有第一内螺纹；第一旋动结构，设于所述第一容纳舱中，所述第一旋动结构具有第一外螺纹，所述第一外螺纹与所述第一内螺纹配合，使所述第一旋动结构在所述第一容纳舱中旋进与旋出；第一推杆，设于所述第一容纳舱中，所述第一推杆的一端与所述第一旋动结构连接，另一端与所述第一密封活塞连接；在所述第一旋动结构向靠近所述本体的方向旋动时，所述第一推杆的所述另一端在所述第一通道中移动，并同步带动所述第一密封活塞在所述第一通道中密封地移动，以推动所述液体流动。

7、根据本公开的一些示例性实施例，所述第一旋压式推进机构还包括：第一轴承，贯穿所述第一旋动结构的中部，所述第一轴承具有第一外圈和第一内圈，所述第一外圈与所述第一旋动结构配合，所述第一内圈与所述第一推杆的一端配合，使得在所述第一旋动结构旋动时，带动所述第一外圈旋转，所述第一推杆不旋转。

8、根据本公开的一些示例性实施例，所述第一压力调节机构为第一按压式推进机构，所述第一按压式推进机构还包括：第一推杆，其一端与所述第一密封活塞连接，另一端为自由端；在所述第一推杆向靠近所述本体的方向移动时，带动所述第一密封活塞在所述第一通道中密封地移动，以推动所述液体流动。

9、根据本公开的一些示例性实施例，所述第二压力调节机构为第二旋压式推进机构，所述第二旋压式推进机构还包括：第二容纳舱，位于所述本体的外侧，所述第二容纳舱的周向内壁具有第二内螺纹；第二旋动结构，设于所述第二容纳舱中，所述第二旋动结构具有第二外螺纹，所述第二外螺纹与所述第二内螺纹配合，使所述第二旋动结构在所述第二容纳舱中旋进与旋出；第二推杆，设于所述第二容纳舱中，所述第二推杆的一端与所述第二旋动结构连接，另一端与所述第二密封活塞连接；在所述第二旋动结构向靠近所述本体的方向旋动时，所述第二推杆的所述另一端在所述第二通道中移动，并同步带动所述第二密封活塞在所述第二通道中密封地移动，以推动所述液体流动。

10、根据本公开的一些示例性实施例，所述第二外螺纹的螺距为0.4～0.6mm，每一所述螺距对应的步进为8～12μm，使所述液体的最小推进体积为0.8～1.2μm3。

11、根据本公开的一些示例性实施例，所述第二旋压式推进机构还包括：第二轴承，贯穿所述第二旋动结构的中部，所述第二轴承具有第二外圈和第二内圈，所述第二外圈与所述第二旋动结构配合，所述第二内圈与所述第二推杆的一端配合，使得在所述第二旋动结构旋动时，带动所述第二外圈旋转，所述第二推杆不旋转。

12、根据本公开的一些示例性实施例，所述第二压力调节机构为第二按压式推进机构，所述第二按压式推进机构还包括：第二推杆，其一端与所述第二密封活塞连接，另一端为自由端；在所述第二推杆向靠近所述本体的方向移动时，带动所述第二密封活塞在所述第二通道中密封地移动，以推动所述液体流动。

13、根据本公开的一些示例性实施例，所述本体内还具有输液管道，所述输液管道的一端与所述储液腔连通，另一端与所述针管密封地连接，以使所述储液腔中的所述液体输送至所述针管中。

14、根据本公开的一些示例性实施例，所述装置还包括阀门，设于所述输液管道中，以控制所述输液管道的开启与关闭；和/或所述针管的内径自与所述本体连接的一端至所述针管的所述出液口逐渐减小。

15、根据本公开的一些示例性实施例，所述液体为乙醇、丙酮、异丙醇和甲醇中的至少一种。

16、根据本公开的一些示例性实施例，还包括：控制系统，与所述本体电连接，控制所述本体移动。

17、本公开实施例还提供了一种提取电镜样品的方法，包括：提供提取电镜样品的装置，所述装置包括：本体、针管和第一压力调节机构；所述本体具有第一通道和储液腔，所述第一通道和所述储液腔连通；所述针管与所述本体密封连接，并与所述储液腔连通；所述第一压力调节机构具有第一密封活塞，所述第一密封活塞位于所述第一通道中，并与所述第一通道的内壁密封接触，所述第一密封活塞沿着所述第一通道可移动；向所述储液腔中提供液体；控制所述针管移动至靠近所述电镜样品的预定位置处；调节所述第一密封活塞沿着所述第一通道移动，使所述液体在所述针管中流动，并在所述针管的出液口处形成突出于所述出液口的液珠，利用所述液珠吸附所述电镜样品。

18、根据本公开的一些示例性实施例，所述本体还具有第二通道，所述第二通道与所述储液腔连通；所述装置还包括：第二压力调节机构，具有第二密封活塞，所述第二密封活塞位于所述第二通道中，并与所述第二通道的内壁密封接触；所述方法还包括：调节所述第二密封活塞沿着所述第二通道密封地移动，使所述液体继续在所述针管中流动，微调所述液珠的尺寸。

19、根据本公开的一些示例性实施例，在所述出液口处形成的液珠的半径为0.8～1.2μm，突出于所述出液口的液珠的体积为1.5～2.5μm3。

20、由上述技术方案可知，本公开具备以下优点和积极效果中的至少之一：

21、本公开实施例中，第一密封活塞沿着第一通道推动液体在针管中流动，并在针管的出液口处形成突出于出液口的液珠，由于液珠具有微曲液面，在该液面的表面张力下，能够非常稳定地吸附样品，样品不易掉落，并且能将样品放置于准确的位置，不受外界环境的影响，大大提高了观察效率。