环境检测系统的制作方法

1.本技术涉及环境检测技术领域，具体涉及一种环境检测系统。


背景技术：

2.随着半导体制造工艺的发展，半导体的制造工艺已经进入纳米级，产品对生产环境的洁净度要求也在逐步提高。如果芯片在生产过程中不能按照规定的洁净度要求生产，对其性能会有严重的影响。因此需要实时管控生产环境的洁净度。
3.由于不同工序区间对洁净度等级要求不一致，不同工序区间一般使用隔墙板（partitional wall)分隔开。由于环境复杂，只能依靠人力手持微粒检测仪（particle counter）在各个工序区间进行洁净度检测，然后将收集到的数据人工进行整理，汇总并记录，由此进行每日的管控。
4.然而，依靠人力对生产环境进行管控不仅费时费力，检测结果的准确性也较差。


技术实现要素：

5.本技术提供了一种环境检测系统，可以提高环境检测效率。
6.本技术提供了一种环境检测系统，包括数据采集装置、无线连接装置、中心控制装置和异常警示装置，所述数据采集装置和所述异常警示装置分别通过所述无线连接装置与所述中心控制装置连接，所述数据采集装置用于采集当前的环境数据，并通过所述无线连接装置将所述环境数据发送至所述中心控制装置，所述中心控制装置用于判断所述环境数据是否异常，并在所述环境数据异常时，通过所述无线连接装置发送异常信号至所述异常警示装置，所述异常警示装置用于在接收到所述异常信号时，发出警示信息。
7.在本技术提供的环境检测系统中，所述数据采集装置包括环境数据采集模块、位置信息采集模块和数据封装模块，所述数据封装模块分别与所述环境数据采集模块、所述位置信息采集模块连接，所述环境数据采集模块用于采集当前的环境数据，并将所述环境数据发送至所述数据封装模块，所述位置信息采集模块用于采集当前的位置信息，并将所述位置信息发送至所述数据封装模块，所述数据封装模块用于对所述环境数据和所述位置信息进行封装，并将封装数据发送至所述中心控制装置。
8.在本技术提供的环境检测系统中，所述环境数据采集模块包括微粒检测模组、空气质量检测模组、光照检测模组、风速检测模组、温度传感器和湿度传感器中的至少一个。
9.在本技术提供的环境检测系统中，所述空气质量检测模组包括pm2.5数据检测单元、二氧化碳浓度检测单元、一氧化氮浓度检测单元和污染物气体浓度检测单元中的至少一个。
10.在本技术提供的环境检测系统中，所述光照检测模组包括光照强度检测单元、能见度检测单元和紫外线检测单元中的至少一个。
11.在本技术提供的环境检测系统中，所述风速检测模组包括风速检测单元和/或风向检测单元。
12.在本技术提供的环境检测系统中，所述微粒检测模组包括无人搬运车和微粒检测仪，所述微粒检测仪放置于所述无人搬运车上，所述无人搬运车和所述微粒检测仪分别通过所述无线连接装置与所述中心控制装置连接。
13.在本技术提供的环境检测系统中，所述环境检测系统还包括移动终端，所述移动终端通过所述无线连接装置与所述异常警示装置连接，所述移动终端用于接收所述警示信息，并对所述警示信息进行显示。
14.在本技术提供的环境检测系统中，所述无线连接装置包括无线局域网、wifi和4g/5g信号中的至少一个。
15.在本技术提供的环境检测系统中，所述异常警示装置包括异常发送模块和警示灯。
16.综上，本技术提供的环境检测系统包括数据采集装置、无线连接装置、中心控制装置和异常警示装置，所述数据采集装置和所述异常警示装置分别通过所述无线连接装置与所述中心控制装置连接，所述数据采集装置用于采集当前的环境数据，并通过所述无线连接装置将所述环境数据发送至所述中心控制装置，所述中心控制装置用于判断所述环境数据是否异常，并在所述环境数据异常时，通过所述无线连接装置发送异常信号至所述异常警示装置，所述异常警示装置用于在接收到所述异常信号时，发出警示信息。本方案可以实现环境检测的自动化，从而提高环境检测效率。
附图说明
17.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
18.图1是本技术实施例提供的环境检测系统的结构示意图。
19.图2是本技术实施例提供的环境检测系统的另一结构示意图。
20.图3是本技术实施例提供的用于半导体制造厂区的环境检测系统的结构示意图。
具体实施方式
21.这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本技术相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本技术的一些方面相一致的装置和方法的例子。
22.需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素，此外，本技术不同实施例中具有同样命名的部件、特征、要素可能具有相同含义，也可能具有不同含义，其具体含义需以其在该具体实施例中的解释或者进一步结合该具体实施例中上下文进行确定。
23.应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
24.在后续的描述中，使用用于表示元件的诸如“模块”、“部件”或者“单元”的后缀仅为了有利于本技术的说明，其本身没有特定的意义。因此，“模块”、“部件”或者“单元”可以混合地使用。
25.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多该特征。在本技术实施例的描述中，“多个”、“若干”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
26.需要说明的是，以下各个实施例的描述先后顺序并不构成对具体实施先后顺序的限定。
27.在芯片的生产过程中，由于不同工序区间对洁净度等级要求不一致，不同工序区间一般使用隔墙板分隔开。由于环境复杂，只能依靠人力手持微粒检测仪在各个工序区间进行洁净度检测，然后将收集到的数据人工进行整理，汇总并记录，由此进行每日的管控。然而，依靠人力对生产环境进行管控不仅费时费力，检测结果的稳定性也较差。
28.基于此，本技术提供了一种环境检测系统，如图1所示，该环境检测系统可以包括数据采集装置101、无线连接装置102、中心控制装置103和异常警示装置104（alarm management system，ams）。
29.其中，数据采集装置101和异常警示装置104分别通过无线连接装置102与中心控制装置103连接；数据采集装置101用于采集当前的环境数据，并通过无线连接装置102将环境数据发送至中心控制装置103；中心控制装置103用于判断环境数据是否异常，并在环境数据异常时，通过无线连接装置102发送异常信号至异常警示装置104；异常警示装置104用于在接收到异常信号时，发出警示信息。
30.在一些实施例中，可以如图2所示，数据采集装置101可以包括环境数据采集模块、位置信息采集模块和数据封装模块。数据封装模块分别与环境数据采集模块、位置信息采集模块连接。
31.其中，环境数据采集模块用于采集当前的环境数据，并将环境数据发送至数据封装模块；位置信息采集模块用于采集当前的位置信息，并将位置信息发送至数据封装模块；数据封装模块用于对环境数据和位置信息进行封装，并将封装数据发送至中心控制装置103。
32.在一些实施例中，环境数据采集模块可以包括微粒检测模组、空气质量检测模组、光照检测模组、风速检测模组、温度传感器和湿度传感器中的至少一个。
33.其中，空气质量检测模组包括pm2.5数据检测单元、二氧化碳浓度检测单元、一氧化氮浓度检测单元和污染物气体浓度检测单元中的至少一个。光照检测模组包括光照强度检测单元、能见度检测单元和紫外线检测单元中的至少一个。风速检测模组包括风速检测单元和/或风向检测单元。
34.在具体实施过程中，可以在中心控制装置103中设置待检测数据的阈值，然后中心控制装置103可以将环境数据与该阈值进行比较，从而根据比较结果确定该环境数据是否异常。可以理解的是，该阈值可以包括一个或多个，具体可以根据环境数据采集模块的功能模组确定。比如，当该环境数据采集模块为温度传感器时，该环境数据采集模块用于采集当
前温度值，此时可以在中心控制装置103中设置一温度值为阈值。又比如，当该环境数据采集模块包括温度传感器和湿度传感器时，该环境数据采集模块用于采集当前温度值和湿度值，此时可以分别设置一温度值和一湿度值为阈值。
35.需要说明的是，该环境数据采集模块的功能模组可以根据实际需求进行设定。
36.在一些实施例中，无线连接装置102可以包括无线局域网、wifi和4g/5g信号中的至少一个。
37.如图2所示，该环境检测系统还可以包括移动终端105，移动终端105通过无线连接装置102与异常警示装置104连接，移动终端105用于接收警示信息，并对警示信息进行显示。
38.在具体实施过程中，异常警示装置104可以根据数据采集装置101采集到的位置信息确定该位置信息对应的负责人，从而将警示信息发送至对应负责人的移动终端105。
39.在一些实施例中，异常警示装置104可以包括异常发送模块和警示灯。其中，该异常发送模块可以用于发送警示信息至对应的移动终端105；该警示灯可以用于发出警报声。
40.需要说明的是，该警示信息可以包括环境数据检测结果和检测位置等信息，从而便于负责人可以根据该警示信息对对应位置的环境进行及时处理。在一些实施例中，该警示信息可以为邮件、即时通讯信息和/或人工智能电话（artificial intelligence，ai）等。
41.为了更好地说明上述的环境检测系统，本技术实施例还提供了一种用于半导体制造厂区的环境检测系统。需要说明的是，该实施例对当数据采集装置101为微粒检测模组，无线连接装置102为无线局域网，中心控制装置103为机器人控制装置（mobile robot controller，mrc）时进行具体描述。其中名词的含义与上述环境检测系统中相同，具体实现细节可以参考上述实施例中的说明。
42.如图3所示，该环境检测系统可以包括微粒检测模组、无线局域网、机器人控制装置和异常警示装置。
43.其中，该微粒检测模组可以包括无人搬运车（automated guided vehicle，agv）和微粒检测仪（particle counter），微粒检测仪放置于无人搬运车上，无人搬运车和微粒检测仪分别通过无线局域网与机器人控制装置连接。该微粒检测模组和异常警示装置分别通过无线局域网与机器人控制装置连接。
44.在具体实施过程中，可以设置一个特殊的电子货架（erack）及一个能兼容微粒检测仪的圆晶装取盒子（frame cassette，cst），在无人搬运车搬运cst的过程中，兼容于cst上的微粒检测仪可以实时对当前的微粒参数和位置信息进行检测。当机器人控制装置判断当前的微粒参数异常时，可以通过无线局域网发送异常信号至异常警示装置。异常警示装置可以根据该位置信息确定对应的负责人，从而发送警示信息至对应负责人的移动终端。
45.可以理解的是，在具体实施过程中一般都是预先通过机器人控制装置设置无人搬运车的搬运任务，使得无人搬运车定时定点的搬运cst。在无人搬运车搬运cst的过程中，兼容于cst上的微粒检测仪可以实时对当前的微粒参数进行检测，从而实现半导体制造厂区环境检测的自动化。
46.综上，本技术实施例提供的环境检测系统包括数据采集装置101、无线连接装置102、中心控制装置103和异常警示装置104，数据采集装置101和异常警示装置104分别通过无线连接装置102与中心控制装置103连接，数据采集装置101用于采集当前的环境数据，并
通过无线连接装置102将环境数据发送至中心控制装置103，中心控制装置103用于判断环境数据是否异常，并在环境数据异常时，通过无线连接装置102发送异常信号至异常警示装置104，异常警示装置104用于在接收到异常信号时，发出警示信息。本方案可以实现环境检测的自动化，从而提高环境检测效率。并且，还可以避免人力检测带来的误差，从而提高检测结果的准确性。
47.以上对本技术实施例所提供的环境检测系统进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本技术的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本技术的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本技术的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本技术的限制。