一种晶圆测试探针的倒角装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆测试探针生产加工技术领域，尤其涉及一种晶圆测试探针的倒角装置。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶。半导体工业对于晶圆表面缺陷检测的要求，一般是要求高效准确，能够捕捉有效缺陷，实现实时检测。较为普遍的表面检测技术之一即是使用探针进行测试。探针在生产加工过程中需要使用倒角装置对其进行加工，通过倒角装置把探针的一端切削打磨成一定斜面的加工，使该端成为尖端，或者是为了去除零件上因机加工产生的毛刺，也为了便于零件装配。
3.但是，传统的倒角装置在对探针进行倒角加工时，多是使用打磨电机驱动的打磨头对探针进行打磨，不便于同时对多根探针进行倒角加工，造成加工效率比较低。
4.因此，有必要提供一种新的晶圆测试探针的倒角装置解决上述技术问题。


技术实现要素：

5.本实用新型解决的技术问题是提供一种可使多根探针整齐排列，以便提高打磨质量，可同时对多个探针进行打磨，并可对探针的打磨斜面的倾斜角度进行调节，且提高对探针的倒角加工效率的晶圆测试探针的倒角装置。
6.为解决上述技术问题，本实用新型提供的晶圆测试探针的倒角装置包括：放置台；立板，所述立板固定安装在所述放置台的顶部；顶板，所述顶板固定安装在所述立板的顶部；限位放置机构，所述限位放置机构设于所述放置台和所述立板上；转动机构，所述转动机构设于所述顶板的底部；下压机构，所述下压机构设于所述转动机构上；打磨机构，所述打磨机构设于所述顶板的下方；调节机构，所述调节机构设于所述打磨机构上。
7.优选的，所述限位放置机构包括有放置座和电动伸缩杆，所述放置座上开设有多个顶部和一侧均为开口的限位槽，所述限位槽与探针相适配，所述电动伸缩杆固定安装在所述立板的一侧，所述电动伸缩杆的输出杆与所述放置座的一侧固定连接，多个所述限位槽等间距设置。
8.优选的，所述放置台的顶部开设有滑槽，所述放置座设于所述滑槽内，所述放置座上的多个限位槽底部内壁最低点的高度低于所述放置台的顶面的高度。
9.优选的，所述转动机构包括有条块、螺杆、减速电机和两个移动块，所述条块固定安装在所述顶板的底部，所述条块的底部开设有安装槽，所述螺杆转动安装在所述安装槽的两侧内壁上，所述减速电机固定安装在所述条块的一侧，所述减速电机的输出轴与所述螺杆的一端固定连接，两个所述移动块对称螺纹套设在所述螺杆上，两个所述移动块均与所述安装槽的两侧内壁滑动连接。
10.优选的，所述下压机构包括有两个升降电机和压板，两个所述升降电机分别固定安装在两个所述移动块的底部，所述压板固定安装在两个所述升降电机的输出杆的底端。
11.优选的，所述打磨机构包括有两个横柱、两个滚筒、四个中轴、打磨带和打磨电机，两个所述滚筒均设于两个所述横柱之间，四个所述中轴分别固定安装在两个所述滚筒的两端，四个所述中轴分别与两个所述横柱转动连接，所述打磨带缠绕在两个所述滚筒上，所述打磨电机固定安装在其中一个所述横柱的一侧，所述打磨电机的输出轴与其中一个所述中轴的一端固定连接。
12.优选的，所述调节机构包括有两个液压缸、安装板，两个安装杆和两个推杆电机，两个所述液压缸均固定安装在所述顶板的底部，所述安装板固定安装在两个所述液压缸的输出杆的底端，两个所述安装杆均固定安装在所述安装板的底部，且两个所述安装杆的底端均与其中一个所述横柱的顶部铰接，两个所述推杆电机均铰接在所述安装板的底部，且两个所述推杆电机的输出杆底端均与另一个所述横柱的顶部铰接。
13.与相关技术相比较，本实用新型提供的晶圆测试探针的倒角装置具有如下有益效果：
14.本实用新型提供一种晶圆测试探针的倒角装置：
15.通过限位放置机构可使多根探针整齐排列，从而提高打磨质量；通过下压机构可压住探针，避免打磨探针时发生移动；通过打磨机构可同时对多个探针进行打磨，并可通过调节机构对探针的打磨斜面的倾斜角度进行调节，通过转动机构可在打磨过程中使探针转动，从而实现对探针一端的整个一圈的打磨，提高了对探针倒角加工的效率。
附图说明
16.图1为本实用新型提供的晶圆测试探针的倒角装置的一种较佳实施例的结构示意图；
17.图2为图1所示的a部分放大示意图；
18.图3为本实用新型中下压机构和转动机构的侧视剖视结构示意图；
19.图4为本实用新型中打磨机构的侧视结构示意图。
20.图中标号：1、放置台；2、立板；3、顶板；4、放置座；5、电动伸缩杆；6、条块；7、螺杆；8、减速电机；9、移动块；10、升降电机；11、压板；12、横柱；13、滚筒；14、中轴；15、打磨带；16、打磨电机；17、液压缸；18、安装板；19、安装杆；20、推杆电机。
具体实施方式
21.下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。
22.请结合参阅图1-4，其中，图1为本实用新型提供的晶圆测试探针的倒角装置的一种较佳实施例的结构示意图；图2为图1所示的a部分放大示意图；图3为本实用新型中下压机构和转动机构的侧视剖视结构示意图；图4为本实用新型中打磨机构的侧视结构示意图。晶圆测试探针的倒角装置包括：放置台1；立板2，所述立板2固定安装在所述放置台1的顶部；顶板3，所述顶板3固定安装在所述立板2的顶部；限位放置机构，所述限位放置机构设于所述放置台1和所述立板2上；转动机构，所述转动机构设于所述顶板3的底部；下压机构，所述下压机构设于所述转动机构上；打磨机构，所述打磨机构设于所述顶板3的下方；调节机
构，所述调节机构设于所述打磨机构上。
23.所述限位放置机构包括有放置座4和电动伸缩杆5，所述放置座4上开设有多个顶部和一侧均为开口的限位槽，所述限位槽与探针相适配，所述电动伸缩杆5固定安装在所述立板2的一侧，所述电动伸缩杆5的输出杆与所述放置座4的一侧固定连接，多个所述限位槽等间距设置，通过限位放置机构可使多根探针整齐排列，从而提高打磨质量。
24.所述放置台1的顶部开设有滑槽，所述放置座4设于所述滑槽内，所述放置座4上的多个限位槽底部内壁最低点的高度低于所述放置台1的顶面的高度，从而使压板11压住探针后，能够方便将放置座4离开探针。
25.所述转动机构包括有条块6、螺杆7、减速电机8和两个移动块9，所述条块6固定安装在所述顶板3的底部，所述条块6的底部开设有安装槽，所述螺杆7转动安装在所述安装槽的两侧内壁上，所述减速电机8固定安装在所述条块6的一侧，所述减速电机8的输出轴与所述螺杆7的一端固定连接，两个所述移动块9对称螺纹套设在所述螺杆7上，两个所述移动块9均与所述安装槽的两侧内壁滑动连接，通过转动机构可在打磨过程中使探针转动，从而实现对探针一端的整个一圈的打磨，提高了对探针倒角加工的效率。
26.所述下压机构包括有两个升降电机10和压板11，两个所述升降电机10分别固定安装在两个所述移动块9的底部，所述压板11固定安装在两个所述升降电机10的输出杆的底端，通过下压机构可压住探针，避免打磨探针时发生移动。
27.所述打磨机构包括有两个横柱12、两个滚筒13、四个中轴14、打磨带15和打磨电机16，两个所述滚筒13均设于两个所述横柱12之间，四个所述中轴14分别固定安装在两个所述滚筒13的两端，四个所述中轴14分别与两个所述横柱12转动连接，所述打磨带15缠绕在两个所述滚筒13上，所述打磨电机16固定安装在其中一个所述横柱12的一侧，所述打磨电机16的输出轴与其中一个所述中轴14的一端固定连接，通过打磨机构可同时对多个探针进行打磨。
28.所述调节机构包括有两个液压缸17、安装板18，两个安装杆19和两个推杆电机20，两个所述液压缸17均固定安装在所述顶板3的底部，所述安装板18固定安装在两个所述液压缸17的输出杆的底端，两个所述安装杆19均固定安装在所述安装板18的底部，且两个所述安装杆19的底端均与其中一个所述横柱12的顶部铰接，两个所述推杆电机20均铰接在所述安装板18的底部，且两个所述推杆电机20的输出杆底端均与另一个所述横柱12的顶部铰接，通过调节机构对探针的打磨斜面的倾斜角度进行调节。
29.本实用新型提供的晶圆测试探针的倒角装置的工作原理如下：使用时，将多根探针放置在放置台1上，并使多根探针的一端分别放置在放置座4上的多个限位槽内，从而可使探针整齐排列；
30.然后，确定两个升降电机10使压板11下降压住所有探针，再启动电动伸缩杆5，使输出杆缩短，带动放置座4脱离探针；
31.接着，启动两个液压缸17使打磨机构下降，并通过启动两个推杆电机20使输出杆伸长，使打磨机构倾斜，从而对探针打磨的倾斜面的倾斜角度进行调节，通过启动打磨电机16带动滚筒13转动，从而使打磨带15转动，打磨带15接触到探针的一端，对所有的探针进行打磨；
32.并且，启动减速电机8带动螺杆7转动，从而使两个移动块9同步移动，进而带动压
板11移动，由于探针为圆柱形，因此压板11移动过程中带动探针，从而使探针的一端的整个一圈都能够被打磨带15打磨到，从而实现对多个探针同时进行打磨。
33.与相关技术相比较，本实用新型提供的晶圆测试探针的倒角装置具有如下有益效果：
34.本实用新型提供一种晶圆测试探针的倒角装置，通过限位放置机构可使多根探针整齐排列，从而提高打磨质量；通过下压机构可压住探针，避免打磨探针时发生移动；通过打磨机构可同时对多个探针进行打磨，并可通过调节机构对探针的打磨斜面的倾斜角度进行调节，通过转动机构可在打磨过程中使探针转动，从而实现对探针一端的整个一圈的打磨，提高了对探针倒角加工的效率。
35.需要说明的是，本实用新型的设备结构和附图主要对本实用新型的原理进行描述，在该设计原理的技术上，装置的动力机构、供电系统及控制系统等的设置并没有完全描述清楚，而在本领域技术人员理解上述实用新型的原理的前提下，可清楚获知其动力机构、供电系统及控制系统的具体；
36.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定；
37.另外在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
38.以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。