晶圆自动测试系统的弹簧针介面的改良结构的制作方法

1.本实用新型系为一种晶圆自动测试系统的弹簧针介面的改良结构，主要系运用弹性套环来固定弹簧针匣，即使弹簧针介面塔的方位朝下，弹簧针匣也不会滑落，而且可以大幅减少使用固定螺丝，以避免螺丝在拆装过程之中有可能产生的微量金属尘，也更容易在窄小的空间中进行系统组装或维修。


背景技术：

2.随着半导体与光电产业技术的不断进步，产品电路中的元件数量越来越多，在半导体或光电产业的元件参数或可靠度的测试分析领域中，必须取得更大量的测试资料来进行更准确的分析，因此需要购置更多自动测试机，以获取足够的测试产能。但是工厂的测试产线或实验室的空间有限，难以持续规划大量的空间来设置自动测试机，因此如何节省空间便是一个重要课题。
3.参阅图25与图26，习用的晶圆自动测试机1通常都必须透过一回旋机构2将一个底部设置有弹簧针介面3的测试头4翻转朝上，这样才容易进行现场维修，然而这种设计会导致原本十分有限的厂房空间还需预留机器设备所需的维修空间，习用设计的另一个常见缺失就是使用大量的螺丝5来固定弹簧针匣6，这会造成维修不方便，且维修人员在拆装螺丝5的过程中，有可能发生螺丝5或手工具不慎滑落，倘若发生这种失误的时候测试头4并没有先进行翻转以远离晶圆自动测试机1的上方，那就可能撞击损伤晶圆自动测试机1的精密零部件，甚至螺丝5有可能在不慎坠落过程中会弹跳钻入晶圆自动测试机1的内部，因而难以寻找或取出，且螺丝5或手工具的磨损都可能造成微量的金属尘，进而引发一些潜在的品质问题，这些都是要尽量设法避免的事情。
4.另外，晶圆自动测试机1在正常运作过程中，经常产生机械振动，且有可能需要经常进行升降温的测试，然而习知技术使用大量的螺丝5固定弹簧针匣6，其螺丝5有可能因为长期承受机械振动或零组件长期反复的热涨冷缩而产生松动脱落的问题。
5.为了能够克服习知结构的缺点，创作人经过积极思考，原型试验及改善，研发出一种晶圆自动测试系统的弹簧针介面的改良结构，可以完全解决或有效改善习用结构的诸多缺失。


技术实现要素：

6.本实用新型的目的在于提供一种晶圆自动测试系统的弹簧针介面的改良结构，其结构简单，操作方便，能克服现有技术的缺陷，固定效果更佳，提高稳固性，还可实现简易快速维修，避免损坏。
7.为实现上述目的，本实用新型公开了一种晶圆自动测试系统的弹簧针介面的改良结构，其特征在于包含：
8.一弹簧针介面塔，该弹簧针介面塔一端的端面贯设有至少一针匣容槽，该针匣容槽的一侧贯设有一套环挡孔；
9.至少一弹簧针匣，该弹簧针匣设于该针匣容槽，该弹簧针匣的一端设有至少一弹簧针，且该弹簧针匣的一侧凸设有一突起结构；
10.至少一弹性套环，该弹性套环套设于该突起结构。
11.其中，该针匣容槽与该套环挡孔彼此相连通。
12.其中，该针匣容槽与该套环挡孔彼此不相连通。
13.其中，该突起结构整体呈l字形，该突起结构的一端设有一凸柱，该凸柱贯设于该套环挡孔，该凸柱凹设有至少一定位槽，该弹性套环套设于该凸柱并限位于该定位槽。
14.其中，该突起结构的外周凹设有一环槽，该弹性套环限位于该环槽。
15.其中，该弹簧针匣的一侧于该突起结构的下方设有一抵顶结构，该抵顶结构容设于该套环挡孔。
16.其中，该弹簧针介面塔的中心开设有一开口，且该弹簧针介面还包含有一防尘盖，该防尘盖固定于该弹簧针介面塔并罩设于该开口，该防尘盖的周围延伸设有一外缘。
17.还公开了一种晶圆自动测试系统的弹簧针介面的改良结构，其特征在于包含：
18.一弹簧针介面塔，该弹簧针介面塔的一端贯设有至少一针匣容槽；
19.至少一弹簧针匣，该弹簧针匣设于该针匣容槽，该弹簧针匣一端的端面设有至少一弹簧针，且该弹簧针匣的两侧分别凹设有一定位槽；
20.至少一弹性套环，该弹性套环套设于该弹簧针匣并限位于该些定位槽。
21.其中，该针匣容槽的一侧贯设有一套环挡孔，该套环挡孔与该针匣容槽相连通，该弹簧针匣的一侧且对应其中一该定位槽下方凸设有一抵顶结构，该抵顶结构容设于该套环挡孔。
22.其中，该弹簧针介面塔的中心开设有一开口，且该弹簧针介面还包含有一防尘盖，该防尘盖固定于该弹簧针介面塔并罩设于该开口，该防尘盖的周围延伸设有一外缘。
23.由上述结构，本实用新型的优点如下：
24.1、不需大量螺丝即可达到该弹簧针匣的固定效果：透过该弹性套环套设于该突起结构或该弹簧针匣上，使该突起结构或该弹簧针匣于套上该弹性套环后的整体尺寸系大于该套环挡孔或该针匣容槽的尺寸，即可由该弹性套环的挡止，使本实用新型不需透过螺丝锁固也能提升该弹簧针匣的固定效果，防止该弹簧针匣因受到地心引力的影响而滑落，若是另外再搭配运用该防尘盖抵顶于该突起结构的底部，还可以更加强化该弹簧针匣设置于该弹簧针介面塔的稳固性。
25.2、快速维修：维修人员只要徒手快速将该弹性套环由该突起结构或该弹簧针匣取出，即可将该弹簧针匣取下，因此本实用新型具有简易快速维修的优点，若以习知方式透过手工具的旋扭来拆装螺丝，不但维修速度较慢，而且有可能因为螺丝或手工具意外滑落而造成精密设备的损坏。
26.3、减少使用手工具与拆装螺丝：本实用新型可以让维修人员大幅减少使用手工具与拆装螺丝，因此可以避免螺丝松脱或螺纹磨损滑牙的困扰，还可避免拆装螺丝的过程中所可能产生的微量金属尘屑，尽可能的降低不必要的品质风险。
27.4、提升空间使用效益：由于该弹簧针匣可由该弹性套环的挡止，以防止该弹簧针匣滑落，因此即使该弹簧针介面的方向并未翻转向上，仍然可以顺利进行维修工作，换言之，本实用新型可以让维修人员在更小的空间内进行机台维修，厂房空间规划就可以不必
预留很大的维修空间，因而能够提升厂房空间的使用效益。
附图说明
28.图1为本实用新型的第一实施例的立体图。
29.图2为本实用新型的第一实施例的分解图。
30.图3为本实用新型的第一实施例的弹簧针介面塔的立体图。
31.图4为本实用新型的第一实施例的弹簧针匣的立体图。
32.图5为本实用新型的第一实施例的弹簧针匣的分解图。
33.图6为本实用新型的第一实施例的局部剖视图。
34.图7为本实用新型的第一实施例的局部剖视图。
35.图8为本实用新型的第一实施例的使用示意图。
36.图9为本实用新型的第二实施例的弹簧针匣的立体图。
37.图10为本实用新型的第二实施例的弹簧针匣的分解图。
38.图11为本实用新型的第二实施例的局部剖视图。
39.图12为本实用新型的第三实施例的立体图。
40.图13为本实用新型的第三实施例的弹簧针匣的立体图。
41.图14为本实用新型的第三实施例的弹簧针匣的分解图。
42.图15为本实用新型的第三实施例的局部剖视图。
43.图16为本实用新型的第四实施例的弹簧针介面塔的立体图。
44.图17为本实用新型的第四实施例的弹簧针匣的立体图。
45.图18为本实用新型的第四实施例的弹簧针匣的分解图。
46.图19为本实用新型的第四实施例的局部剖视图。
47.图20为本实用新型的第四实施例的局部剖视图。
48.图21为本实用新型的第五实施例的弹簧针匣的立体图。
49.图22为本实用新型的第五实施例的弹簧针匣的分解图。
50.图23为本实用新型的第五实施例的局部剖视图。
51.图24为本实用新型的第五实施例的局部剖视图。
52.图25为习用弹簧针介面组设于测试头的示意图。
53.图26为习用弹簧针介面的分解图。
具体实施方式
54.请参阅图1至图5所示，其系揭露有一种晶圆自动测试系统的弹簧针介面的改良结构，其弹簧针介面100系包含有：
55.一弹簧针介面塔10，该弹簧针介面塔10系为铝合金一体成型设置，且整体为方环结构，在本实用新型第一实施例中系以方环结构为例，但并不以此为限，该弹簧针介面塔10周围具有一固定外框11，该弹簧针介面塔10系朝内延伸设有一凹部12，该弹簧针介面塔10的中心开设有一开口13，该弹簧针介面塔10一端的端面系贯设有多个针匣容槽14，各该针匣容槽14的一侧于该凹部12系贯设有一套环挡孔15，该套环挡孔15系与该针匣容槽14彼此相连通。
56.多个弹簧针匣20，各该弹簧针匣20系分别设于各该针匣容槽14，各该弹簧针匣20的一端系设有二连接器21，可供快速更换连接线(图未示)，另端则设有多个弹簧针22，该些弹簧针22可电连接一探针介面卡(图未示)对应的电路接点，以检测位于该探针介面卡下方的一晶圆(图未示)，且各该弹簧针匣20的一侧凸设有一突起结构23，于本实用新型第一实施例中，该突起结构23整体略呈l字形，该突起结构23于靠近该些连接器21的一端系设有一凸柱24，该凸柱24系贯穿设于该套环挡孔15，该凸柱24系凹设有至少一定位槽25，该突起结构23异于该凸柱24的一端系形成一抵顶面26。
57.多个弹性套环30，搭配参阅图6及图7所示，该些弹性套环30的材质系为绝缘特性良好与耐热的硅胶，各该弹性套环30系分别套设于各该弹簧针匣20的该凸柱24，并限位于该定位槽25，其中，该凸柱24于套上该弹性套环30后的整体尺寸系大于该套环挡孔15的尺寸，使该弹性套环30可挡止于该套环挡孔15，如此，由各该弹性套环30的挡止，即可防止该些弹簧针匣20因受到地心引力的影响而滑落。
58.一防尘盖40，该防尘盖40系固定于该弹簧针介面塔10的该凹部12，并罩设于该开口13，该防尘盖40的周围对应该弹簧针介面塔10的该凹部12系延伸设有一外缘41，该外缘41系抵顶于各该突起结构23的该抵顶面26。
59.其中，该防尘盖40的设置系用以遮挡该开口13，避免外界的电磁杂讯或灰尘进入，且该防尘盖40的该外缘41的尺寸及厚度系对应该凹部12的尺寸及深度设置，使该外缘41可轻易定位于该凹部12，并抵顶于该些弹簧针匣20的该些抵顶面26，以提升该些弹簧针匣20的固定效果。
60.在本实用新型第一实施例中，该开口13及该防尘盖40的设置，并非本实用新型的必要条件，且各该针匣容槽14或各该套环挡孔15的形状及排列分布方式也仅供参考示范以方便说明，实际并不以此为限。
61.参阅图8并搭配图2及图5所示，本实用新型系结合于一晶圆自动测试机200，该晶圆自动测试机200的一侧设有一回旋机构201，该回旋机构201枢接有一测试头202，该测试头202装设有该弹簧针介面100，当该弹簧针介面100的该弹簧针匣20欲更换或维修时，透过将该防尘盖40拆下，即可供维修人员轻易地由该开口13徒手进入，直接快速将该弹簧针匣20的该弹性套环30由该突起结构23取出，使该弹性套环30脱离该突起结构23的该定位槽25，即可将该弹簧针匣20取下，使本实用新型具有快速维修的优点，且本实用新型的各该弹簧针匣20可以由各该弹性套环30的挡止，以防止各该弹簧针匣20滑落，因此即使该弹簧针介面100的方向并未翻转向上，仍然可以顺利进行维修工作，换言之，本实用新型的晶圆自动测试系统的弹簧针介面的改良结构可在更小的空间进行机台维修，如此，厂房空间规划就不必预留很大的维修空间，因而能够提升空间使用效益。
62.继续参阅图9至图11所示，其系揭露本实用新型的第二实施例，本实用新型的第二实施例与前述第一实施例不同之处在于，该突起结构23并未设有该凸柱24及该抵顶面26，该突起结构23的截面形状近似椭圆形，该突起结构23的外周凹设有一环槽27，该弹性套环30系套设于该弹簧针匣20的该突起结构23，并限位于该环槽27，其中，该突起结构23于套上该弹性套环30后的整体尺寸系大于该套环挡孔15的尺寸，使得该弹性套环30可挡止于该套环挡孔15，由该弹性套环30的挡止，可防止该弹簧针匣20因受到地心引力的影响而滑落。
63.其中，本实用新型的第二实施例的优点系为可由增加该突起结构23的长度来使用
更大尺寸的该弹性套环30，以避免该弹性套环30的环径太小而造成徒手拆装该弹性套环30的不便，而且在此实施例中，该弹性套环30挡止于该套环挡孔15的受力方向系垂直于该弹性套环30的套设方向，这使得该弹性套环30可以更加稳固的套设于该突起结构23，并限位于该环槽27，即使该弹簧针匣20承受较大的向下外力，也很难导致该弹性套环30自行脱落。
64.再参阅图12至图15所示，其系揭露本实用新型的第三实施例，本实用新型的第三实施例与前述第二实施例不同之处在于，该弹簧针介面塔10整体为圆环结构，在本实施例中系以圆环结构为例，但并不以此为限，于该弹簧针匣20的一侧并于该突起结构23的下方设有一抵顶结构28，该抵顶结构28的截面形状为矩形，该抵顶结构28系容设于该套环挡孔15，该抵顶结构28远离该突起结构23的一端系形成该抵顶面26，该突起结构23于套上该弹性套环30后的整体尺寸系大于该套环挡孔15的尺寸，使该弹性套环30可挡止于该套环挡孔15，由该弹性套环30的挡止，即可防止该弹簧针匣20因受到地心引力的影响而滑落，另一方面，该防尘盖40的该外缘41抵顶于该抵顶结构28的该抵顶面26，这样就能够更加提升该些弹簧针匣20的固定效果。
65.再参阅图16至图20所示，其系揭露本实用新型的第四实施例，本实用新型的第四实施例与前述第一实施例不同之处在于，各该针匣容槽14系与各该套环挡孔15彼此不相连通，该凸柱24于套上该弹性套环30后的整体尺寸系大于该套环挡孔15的尺寸，使该弹性套环30可挡止于该套环挡孔15，由该弹性套环30的挡止，即可防止该弹簧针匣20因受到地心引力的影响而滑落。
66.继续再参阅图21至图24所示，其系揭露本实用新型的第五实施例，本实用新型的第五实施例与前述第三实施例不同之处在于，该弹簧针匣20的一侧并未设有该突起结构23，该弹簧针匣20的两侧系分别凹设有该定位槽25，该抵顶结构28系对应位于其中一该定位槽25下方，该弹性套环30系套设于该弹簧针匣20，且限位于该些定位槽25，其中，该弹簧针匣20于套上该弹性套环30后的整体尺寸系大于该针匣容槽14的尺寸，使该弹性套环30可挡止于该针匣容槽14，由该弹性套环30的挡止，可防止该弹簧针匣20因受到地心引力的影响而滑落，同时该防尘盖40的该外缘41抵顶于该抵顶结构28的该抵顶面26，如此，能够更加提升该些弹簧针匣20的固定效果。