一种离子切割专用样品台的制作方法

1.本实用新型涉及少，扫描电镜样品技术领域，尤其是涉及一种离子切割专用样品台。


背景技术：

2.离子切割是近年来出现的一种先进制样手段，与机械制备截面的方法相比，离子切割不仅切割精度极高，且切割截面还具有无加工残余应力的特点，主要用于为扫描电子显微镜提供高质量的截面样品。而离子切割制备样品的无加工残余应力这一特点，也是其制备的样品在扫描电镜的电子束的作用下，能够展现出具备晶体取向特征的通道衬度以及出更加丰富的样品微观细节。
3.虽然离子切割制样具有独特的优势，但是其在实际制样过程中，依然存在如下的一些问题：
4.1.离子切割仪与扫描电子显微镜属于两种不同的设备，其样品的安装方式不同，目前只能采用直接从离子切割机拆除样品，再将样品安装于扫描电镜样品台上的方法进行转移，这种方法不仅操作复杂，而且极为容易损坏样品截面；
5.2.如果遇到样品切割质量不佳，需要再次进行切割时，需要将样品从扫描电镜的样品台上取下重新安装回离子切割仪，重装时需要再重新调整样品的三维空间状态，不仅操作复杂，费时费力，也进一步增加了样品损坏的概率。


技术实现要素：

6.为了解决上述问题，本实用新型提供一种离子切割专用样品台，使得样品在离子切割仪与扫描电镜之间的转移更为方便。
7.本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案：
8.一种离子切割专用样品台，包括可安装于扫描电镜上的样品台底座，所述样品台底座上可拆卸设置有用于固定样品的样品承片。
9.更进一步地，所述样品台底座包括连接台及至少一个位于连接台顶部的支撑部，所述支撑部上设置有定位螺纹孔及与定位螺孔螺纹连接的紧固件，所述样品承片卡设于坚固件与支撑部之间。
10.更进一步地，所述样品承片下端设置有安装脚，所述样品台底座上设置有供安装脚插入的安装孔。
11.更进一步地，所述安装脚位于样品承片底部，且安装脚设置有2个，2个安装脚之间形成供紧固件穿过的通槽。
12.更进一步地，所述紧固件包括螺杆及位于螺杆端部的螺帽，当螺杆插入定位螺纹孔内时，螺帽与样品承片及安装脚远离支撑部一侧相抵。
13.更进一步地，所述支撑部下端设置有一与样品承片宽度方向平行的凹槽。
14.更进一步地，所述样品台底部设置有m4螺纹孔。
15.更进一步地，所述样品台底部设置有丁脚。
16.本实用新型的有益效果如下：
17.本实用新型提供的离子切割专用样品台，其样品承片与样品台底座之间为可拆卸连接，而样品台底座又能直接与扫描电镜进行连接，在样品通过离子切割仪进行加工后，无需从样品承片上取下样品，直接将样品承片安装到样品台底座上，即可实现样品在离子切割仪与扫描电镜之间的转移，而在样品需要重新切割时，直接将样品承片取下，安装到离子切割仪上即可，既能增加样品强度，保护样品，降低样品受损的概率，又无需在重新进行切割加工时，再次调整样品空间参数，提升了样品加工的便利性。
附图说明
18.图1是样品台第一种实施方式组装结构示意图；
19.图2是样品台第一种实施方式拆分结构示意图；
20.图3是样品台第一种实施方式侧面结构示意图；
21.图4是样品台第一种实施方式正面结构示意图；
22.图5是样品台第二种实施方式组装结构示意图；
23.图6是样品台第二种实施方式拆分结构示意图；
24.附图标记：1-样品台底座，2-样品承片，3-紧固件，4-定位螺纹孔，5-安装脚，6-通槽，7-安装孔，8-凹槽，9-m4螺纹孔，10-支撑部，11-丁脚。
具体实施方式
25.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连通”应做广义理解，例如，可以是固定连通，也可以是可拆卸连通，或一体地连通；可以是机械连通，也可以是电连通；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
26.实施例
27.本实施例提供一种离子切割专用样品台，请参见图1-6所示，包括可安装于扫描电镜上的样品台底座1，所述样品台底座1上可拆卸设置有用于固定样品的样品承片2，样品承片2可以安装于离子切割仪上，通过离子切割仪对样品进行加工。
28.其中样品台底座1可以设置为圆形，以免划伤扫描电镜，同时针对不同类型的扫描电镜，可以选用不同的样品台底座1，例如：
29.针对日立扫描电子显微镜，可以在样品台底座1的底部设置m4螺纹孔9，通过m4螺纹孔9可以直接样品台底座1安装至日立扫描电子显微镜内进行测试，即先将样品按照常规方式通过导电胶等物固定在样品承片2上，通过离子切割仪上的样品夹将样品承片2固定住，例如徕卡离子切割仪，便可以对样品进行加工，样品加工结束后，无需拆卸样品，直接将样品承片2取下，连样品带样品承片2一起固定至样品台底座1上，然后通过样品台底座1即可将样品直接转移至扫描电镜内进行测试，而样品有瑕疵需要重新加工时，直接将样品带样品承片2取下，安装到离子切割仪上进行加工即可，且加工时无需再次调整样品的三维空间状态，使用极为方便；
30.针对欧美系列的扫描电子显微镜，可以在样品台底座1的底部设置丁脚11，通过丁脚11便可以与扫描电镜进行连接，从而对样品进行测试，使用的方法与上述日立扫描电镜的情况基本一致，在此便不再进行赘述。
31.上述两种结构的样品台底座1，基本能适应市场上90％的扫描电镜，适用范围极广。
32.作为样品台底座1与样品承片2之间的一种具体连接方式，所述样品台底座1包括连接台及至少一个位于连接台顶部的支撑部10，支撑部10可以与样品台底座1一体成型，且支撑部10可以设置一个或多个，具体数量可以根据需要储存的样品数量确定，所述支撑部10上设置有定位螺纹孔4及与定位螺孔螺纹连接的紧固件3，所述样品承片2卡设于紧固件3与支撑部10之间，即在样品承片2上开设有供紧固件3穿过的孔或者槽，直接将样品承片2远离样品一侧与支撑部10相贴，然后拧入紧固件3，即可将样品承片2固定在支撑部10上。
33.其中，为了便于样品承片2与样品台底座1进行连接，所述样品承片2下端设置有安装脚5，所述样品台底座1上设置有供安装脚5插入的安装孔7，通过安装孔7对样品台的位置进行限制，使其上的孔或槽与定位螺纹孔4相对，同时增加对样品承片2的固定点位，提升固定效果。具体来说，安装脚5的可以为一个或多个，本实施例选择将安装脚5设置为2个，且使安装脚5位于样品承片2底部，2个安装脚5之间形成供紧固件3穿过的通槽6，通槽6端部可以设置为弧形，也可以使样品承片2整体为矩形设置，在其下端开设一个通槽6，通槽6两侧为安装脚5。
34.作为紧固件3的一种具体实施方式，所述紧固件3包括螺杆及位于螺杆端部的螺帽，当螺杆插入定位螺纹孔4内时，螺帽与样品承片2及安装脚5远离支撑部10一侧相抵，其中螺帽的形状及大小都可以根据样品承片2上通槽6的形状与大小来进行设置，只要能将样品承片2固定在支撑部10上即可，当然为了简化生产，也可以直接使用螺丝作为紧固件3来对样品承片2进行固定，此时要求样品承片2的通槽6宽度不要过大。
35.另外，样品承片2需要固定样品，其上可能会有胶流动至样品承片2与支撑部10之间，使得样品承片2不容易与支撑部10分离，对此，本实施例在支撑部10下端设置有一与样品承片2宽度方向平行的凹槽8，可以为圆弧槽，也可以为其它形状的槽，在取下样品承片2时，可以通过该凹槽8来辅助，从而使得样品承片2更容易与支撑部10脱离。
36.另外，本实用新型所提供的样品台还能与申请人此前申请的一种新型显微分析样品存储盒专利技术配合使用，样品台及其上的样品能通过该存储盒进行整体存储，方便样品进行远程运输及转移，使得样品保存更为方便。
37.以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，本实用新型的专利保护范围以权利要求书为准，凡是运用本实用新型的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本实用新型的保护范围内。