用于试片处理及具监控记录功能之半封闭型装置的制作方法

本技术涉及试片处理，具体是用于试片处理及具监控记录功能之半封闭型装置。

背景技术：

1、tem样品制备时，需进行裂片并将其目标区域上保护层(统称tem前处理)。由于tem样品偏小，且不同样品肉眼判断大同小异。在其样品由wafer裂片时处于一个开放空间下进行。样品裂片时手部需施加压力，样品容易有弹飞的风险，进而遗失，从而给人们造成损失。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供用于试片处理及具监控记录功能之半封闭型装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、本实用新型的技术方案是：用于试片处理及具监控记录功能之半封闭型装置，包括柜体，还包括：

3、固定机构，其用于吸附固定tem样品，固定机构位于柜体内部，所述柜体两侧内壁底部均开设有滑动槽，且固定机构包括滑动在两个滑动槽内壁的支撑板，所述支撑板顶部外壁开设有矩形槽，且支撑板内部开设有空腔，支撑板顶部外壁开设有等距离分布的吸附槽，吸附槽底部延伸到空腔内部；

4、ccd摄像机，其通过螺栓固定在柜体顶部内壁，所述柜体底部外壁安装有底座；

5、储存壳体，其通过螺栓固定在柜体一端外壁，所述储存壳体一端内壁顶部安装有抽气泵，且柜体和储存壳体的连接处插接有同一个出气斗，抽气泵输出端安装有出气管，出气管与出气斗一端外壁固定连接，且抽气泵通过连接软管将tem样品进行吸附固定，然后通过出气斗喷出，减少操作时环境的落尘污染tem样品。

6、优选的，所述柜体两侧内壁均安装有照明灯管。

7、优选的，所述柜体另一端外壁顶部安装有plc控制器，且柜体另一端外壁一侧交接有防护门板，plc控制器能够对照明灯管、ccd摄像机和抽气泵的工作进行处理。

8、优选的，所述储存壳体底部外壁安装有连接软管，且连接软管另一端延伸到支撑板内部。

9、优选的，所述储存壳体两侧内壁安装有同一个过滤网板，且储存壳体一端外壁开设有第一开口，第一开口一侧内壁交接有第一门板，过滤网板能够将空气中的灰尘杂质进行过滤，方便接下来的除尘，第一门板打开能够方便将过滤网板过滤的杂质进行收集处理。

10、优选的，所述底座顶部外壁一端开设有第二开口，且第二开口的一端内壁铰接有第二门板，柜体和底座的连接处开设有同一个锥形槽，第二门板顶部外壁一端安装有拉块，方便飞溅的试片掉落到底座内部。

11、本实用新型通过改进在此提供用于试片处理及具监控记录功能之半封闭型装置，与现有技术相比，具有如下改进及优点：

12、其一：本实用新型通过设置有抽气泵，开启抽气泵，通过连接软管将支撑板内部的空腔进行抽负压处理，使得支撑板上的吸附槽来对tem样品进行吸附固定，提高了接下来处理的稳定性，关闭防护门板，工作人员通过钻石笔进行来对tem样品进行切割，由于tem样品处于柜体内部，当切割时导致tem样品飞走时能够进行阻挡，避免tem样品飞到外部，减少了人们的损失；

13、其二：本实用新型设置有ccd摄像机，能够对处理过程进行监控及记录，避免tem样品飞走寻找不到，方便进行寻找，减少工作人员的损失，且抽气泵通过连接软管将tem样品进行吸附固定，然后通过出气斗喷出，减少操作时环境的落尘污染tem样品。

技术特征：

1.用于试片处理及具监控记录功能之半封闭型装置，包括柜体(2)，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的用于试片处理及具监控记录功能之半封闭型装置，其特征在于：所述柜体(2)两侧内壁均安装有照明灯管(3)。

3.根据权利要求1所述的用于试片处理及具监控记录功能之半封闭型装置，其特征在于：所述柜体(2)另一端外壁顶部安装有plc控制器(1)，且柜体(2)另一端外壁一侧交接有防护门板(4)。

4.根据权利要求1所述的用于试片处理及具监控记录功能之半封闭型装置，其特征在于：所述储存壳体(12)底部外壁安装有连接软管(9)，且连接软管(9)另一端延伸到支撑板(7)内部。

5.根据权利要求4所述的用于试片处理及具监控记录功能之半封闭型装置，其特征在于：所述储存壳体(12)两侧内壁安装有同一个过滤网板(15)，且储存壳体(12)一端外壁开设有第一开口，第一开口一侧内壁交接有第一门板(16)。

6.根据权利要求1所述的用于试片处理及具监控记录功能之半封闭型装置，其特征在于：所述底座(6)顶部外壁一端开设有第二开口，且第二开口的一端内壁铰接有第二门板(5)，柜体(2)和底座(6)的连接处开设有同一个锥形槽，第二门板(5)顶部外壁一端安装有拉块(8)。

技术总结
本技术涉及试片处理技术领域，具体是用于试片处理及具监控纪录功能之半封闭型装置，包括柜体，还包括固定机构，其用于吸附固定TEM样品，固定机构位于柜体内部，所述柜体两侧内壁底部均开设有滑动槽，且固定机构包括滑动在两个滑动槽内壁的支撑板，所述支撑板顶部外壁开设有矩形槽，且支撑板内部开设有空腔，支撑板顶部外壁开设有等距离分布的吸附槽，吸附槽底部延伸到空腔内部，本技术设置有CCD摄像机，能够对处理过程进行监控及记录，避免TEM样品飞走寻找不到，方便进行寻找，减少工作人员的损失，且抽气泵通过连接软管将TEM样品进行吸附固定，然后通过出气斗喷出，减少操作时环境的落尘污染TEM样品。

技术研发人员：沈子维,王志坤,李启帆,褚耕颉
受保护的技术使用者：闳康科技（厦门）有限公司
技术研发日：20221031
技术公布日：2024/1/13